一種基于Ｒａｄｏｎ變換的精密工作臺(tái)微位移和轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量方法
2009-06-23 07:07:16姜歌東陶濤梅雪松袁淵浩
西安交通大學(xué)學(xué)報(bào) 2009年5期
姜歌東 陶 濤 梅雪松 袁淵浩
精密工作臺(tái)被廣泛地應(yīng)用于光刻機(jī)、掃描顯微鏡、微操作機(jī)械手等高精密設(shè)備中，是保證高精密設(shè)備運(yùn)動(dòng)精度的關(guān)鍵部件，如何實(shí)現(xiàn)精密工作臺(tái)的多自由度運(yùn)動(dòng)和定位精度測(cè)量，是長期以來人們一直關(guān)心的問題，目前，常用的測(cè)量方法是激光法。
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