高科技的搖籃

半導(dǎo)體光電子技術(shù)與系統(tǒng)研究所創(chuàng)建于80年代初，1993年獲得“微電子學(xué)與固體電子 學(xué) ”博士學(xué)位授予權(quán)?，F(xiàn)有教職員工16人，其中教授、博士生導(dǎo)師5名，副教授5名，具有博士 學(xué)位教師6人，至今已培養(yǎng)了博士生20余人，碩士生60余人，2000年以來，共被學(xué)校推薦參 評全國優(yōu)秀博士學(xué)位論文3人，并已有1人獲得該獎。

研究所先后承擔(dān)國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展規(guī)劃(973)項目課題3項，“863”高科技項目5項 ，國家自然科學(xué)基金項目15項(其中重點項目一項)等。在高速光調(diào)制器、光功分器、光開關(guān) 等研究方面處于國內(nèi)先進(jìn)水平，特別在砷化鎵集成光學(xué)方面；獲發(fā)明專利6項，擁有完整的 光波導(dǎo)器件設(shè)計軟件和工藝實驗平臺。在MEMS研究方面，先后研制成60Mpa大量程壓力傳感 器、微壓傳感器、諧振器等微機械器件，在微陀螺和微加速度傳感器研究方面形成了特色。 在國內(nèi)較早開展公斤量級微小衛(wèi)星及其通信系統(tǒng)的研究工作，建立了完整的射頻通信設(shè)計、 測試平臺。

該研究所主要對以下領(lǐng)域進(jìn)行研究：

1.集成光學(xué)：基于GaAs等多種材料的光波導(dǎo)器件——光開關(guān)、調(diào)制器、功分器、密集 波分復(fù)用器等集成光學(xué)理論與器件；2.光電子技術(shù)與系統(tǒng)應(yīng)用：光電檢測、傳感技術(shù)和光 電子技術(shù)應(yīng)用，以及光通信系統(tǒng)應(yīng)用和開發(fā)；3.微/納電子機械技術(shù)(MEMS/NEMS)與傳感器 電子學(xué)：微機械工藝、微機械傳感器、新型半導(dǎo)體器件，以及傳感器處理電路的集成化、模 塊化技術(shù)；4.射頻集成通信系統(tǒng)：衛(wèi)星通信、無線局域網(wǎng)等射頻通信系統(tǒng)，射頻系統(tǒng)的微 型化、模塊化及單片微波集成電路(MMIC)。