荷蘭光刻機巨頭聯(lián)合創(chuàng)始人維姆·特魯斯特去世

6月11日，據(jù)報道，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）在社交平臺發(fā)文，悼念其創(chuàng)始人之一維姆·特魯斯特的離世。

據(jù)介紹，特魯斯特于1925年在荷蘭海牙出生，他在阿斯麥的創(chuàng)立、崛起與創(chuàng)新過程中都起到了舉足輕重的作用。上世紀70年代末和80年代初，半導(dǎo)體制造技術(shù)的規(guī)模和復(fù)雜性的快速增長，推動了這一行業(yè)價值鏈的分工，專業(yè)設(shè)備供應(yīng)商對于開發(fā)復(fù)雜的光刻系統(tǒng)變得尤為重要。在此背景下，飛利浦開始研發(fā)自己的晶圓步進機，用于對硅晶圓進行圖案化。

特魯斯特正是飛利浦晶圓步進機的開發(fā)人員，也是在飛利浦管理團隊會議上唯一一個表示對光刻機研究有興趣的人。1984年，飛利浦和ASM成立合資企業(yè)阿斯麥。1987年，當時搖搖欲墜的阿斯麥群龍無首，剛從飛利浦退休兩年的特魯斯特決定出任阿斯麥的首席執(zhí)行官他帶領(lǐng)ASML度過了1988年的危機，直至1990年再次退休。