激光熔覆CoCrFeNiSix高熵合金涂層的組織與性能

田志剛 李新梅 秦忠 楊現(xiàn)臣 劉偉斌 張培軍

摘要： 為了探究Si元素含量對(duì)CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金涂層的組織與性能的影響，采用激光熔覆技術(shù)制備高熵合金涂層，通過X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、能譜儀、顯微硬度儀、摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)、電化學(xué)工作站等表征了涂層的物相組成、微觀組織以及元素分布、硬度值、耐磨性能和耐腐蝕性能。研究表明，隨著Si元素的含量增加，合金物相由單相面心立方結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)槊嫘牧⒎浇Y(jié)構(gòu)、Si元素化合物（σ）相結(jié)構(gòu)，最后形成面心立方結(jié)構(gòu)、體心立方結(jié)構(gòu)和σ相混合結(jié)構(gòu)。涂層的組織主要由柱狀晶轉(zhuǎn)變成樹枝晶，最后形成胞狀晶；同時(shí)，涂層的硬度不斷提高，當(dāng)Si含量為1.5時(shí)，涂層的平均硬度值達(dá)到最高，為619.04 HV0.2，約為基體的2.67倍。涂層的磨損量、摩擦系數(shù)隨著Si含量的增加而減少，耐磨性能顯著提高。涂層在3.5%NaCl溶液中腐蝕性能隨著Si含量的增加先增加后降低，當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，涂層的耐腐蝕性能最優(yōu)。

關(guān)鍵詞： 激光熔覆; 高熵合金涂層; 耐磨性能; 耐腐蝕性能

中圖分類號(hào)： TG 401

Microstructure and properties of CoCrFeNiSix high-entropy alloy coating by laser cladding

Tian Zhigang， Li Xinmei， Qin Zhong， Yang Xianchen， Liu Weibin， Zhang Peijun

（Xinjiang University， Urumqi 830017， China）

Abstract： In order to investigate the effect of Si content on the microstructure and properties of CoCrFeNiSix （x=0.5， 1.0， 1.5） high-entropy alloy coating， the high-entropy alloy coating was prepared by laser cladding technology. The phase composition， microstructure， element distribution， hardness value， wear resistance and corrosion properties of the coating were characterized by X-ray diffraction， scanning electron microscopy （SEM）， energy dispersive spectroscopy， microhardness tester， friction and wear tester， and electrochemical workstation. The results show that with the increase of Si content， the alloy phase changes from single-phase face-centered cubic structure to face-centered cubic structure， silicon compound （σ） phase structure， and finally form face-centered cubic structure， body-centered cubic structure and σ mixed structure. The microstructure of the coating mainly changes from columnar crystals to dendritic crystals and finally to cellular crystals. At the same time， the hardness of the coating also increases. When the Si content is 1.5， the average hardness of the coating reaches 619.04 HV0.2， which is about 2.67 times that of the substrate. The wear amount and friction coefficient of the coating decreased with the increase of Si content， and the wear resistance of the coating increased significantly. In 3.5%NaCl solution， the corrosion performance of the coating increases first and then decreases with the increase of Si content. When Si content is 1.0， the corrosion performance of the coating is optimal.

Key words： ?laser cladding; high-entropy alloy coating; wear resistance; corrosion resistance

0 前言

近年來，高熵合金設(shè)計(jì)方法作為一種新型材料設(shè)計(jì)方法打破了基于單一主成分的傳統(tǒng)合金設(shè)計(jì)模式，通過增加主成分（至少五元）和混合熵來設(shè)計(jì)合金成分。根據(jù)定義，高熵合金通常包含多個(gè)相同或接近相同摩爾比的主元素[1]。高熵合金受到高熵效應(yīng)的影響，傾向于生成簡單的固溶體，如延展性較好的面心立方（Face centered cubic，F(xiàn)CC）結(jié)構(gòu)、強(qiáng)度較高的體心立方（Body centered cube，BCC）結(jié)構(gòu)、密排六方 （Hexagonal close-packed，HCP）結(jié)構(gòu)，而不是由金屬間化合物組成的復(fù)雜多相結(jié)構(gòu)[2-4]。到目前為止，一些報(bào)道的高熵合金系統(tǒng)具有優(yōu)于傳統(tǒng)合金的獨(dú)特性能，包括高強(qiáng)度、高硬度、優(yōu)異的高溫性能、良好的抗疲勞性能、耐腐蝕性能、抗氧化和耐磨性[5-7]。高熵合金具有以上優(yōu)異的性能與其強(qiáng)化機(jī)制也有必然的聯(lián)系，其中主要有固溶強(qiáng)化、位錯(cuò)強(qiáng)化、晶界強(qiáng)化和沉淀強(qiáng)化等[8-9]。

高熵合金過去的主要研究工作主要集中在Al，Co，F(xiàn)e，Ni，Cr，Mn，Cu等過渡金屬元素的調(diào)控對(duì)提高高熵合金性能的作用[10-12]。然而，Si，B，C，N，S等非金屬元素的摻入對(duì)其微觀結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能的影響很少被涉及，在過渡金屬基FCC高熵合金中加入Si等非金屬元素，有利于促進(jìn)BCC/有序BCC（B2）相的生成并誘導(dǎo)納米顆粒沉淀的析出，同時(shí)可以細(xì)化晶粒，從而提高其力學(xué)性能。Ma等人[13]采用激光熔覆方法在Cr-Mo-V鋼表面制備了含Si和不含Si的CoCr2FeNb0.5Ni高熵合金涂層，研究了合金涂層800 ℃下在N2-44CO2-6H2O氣體中的氧化行為，含Si和不含Si涂層均由FCC和Laves相組成，但Si原子添加可以減小晶面間距而提高相穩(wěn)定性，提高了（Cr， Si）Ox非晶態(tài)氧化層的抗高溫氧化性，防止了氧向內(nèi)擴(kuò)散。 Chandrakar等人[14]采用放電等離子燒結(jié)工藝研究了高熵合金AlCoCrCuFeNiSix （x=0，0.9）相的形成，其相結(jié)構(gòu)主要由BCC相和少量FCC相組成。隨著Si元素的加入，BCC結(jié)構(gòu)相的X射線衍射（X-ray diffraction，XRD）峰值強(qiáng)度比FCC結(jié)構(gòu)相更強(qiáng)，AlCoCrCuFeNi高熵合金體系中未發(fā)現(xiàn)金屬間化合物。然而，Si的加入進(jìn)一步導(dǎo)致σ相的演化。

為了探究不同Si元素含量對(duì)CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金涂層的組織與性能的影響。因此，采用激光熔覆技術(shù)在40Cr鋼表面制備CoCrFeNiSix高熵合金涂層，通過添加非金屬元素Si，進(jìn)一步討論不同非金屬元素Si元素含量的變化對(duì)合金的物相、組織、力學(xué)、磨損、電化學(xué)耐腐蝕性能影響。

1 試驗(yàn)方法

試驗(yàn)基材選用40Cr鋼，尺寸規(guī)格為150 mm×60 mm×8 mm，試驗(yàn)前將試樣表面進(jìn)行打磨除去表面氧化物，并用酒精進(jìn)行擦拭。粉末采用純度為99%的Co，Cr，F(xiàn)e，Ni，Si單質(zhì)粉末，按照摩爾比1∶1∶1∶1∶x（x=0.5，1.0，1.5）進(jìn)行配比。 采用KQM-ZB型行星球磨機(jī)進(jìn)行混粉，然后將混好粉末與粘結(jié)劑聚乙烯醇（質(zhì)量分?jǐn)?shù)3%）混合攪拌均勻，預(yù)置在基材上，采用YLS-2000型光纖激光器進(jìn)行試驗(yàn)。 為了保證熔覆涂層質(zhì)量，熔覆過程采用氬氣作為保護(hù)氣體，送粉方式為預(yù)置粉末，工藝參數(shù)如表1所示。

試樣選取熔覆完的單道涂層和多道搭接涂層，用電火花線切割加工單道試樣尺寸為8 mm×8 mm×8 mm，搭接試樣尺寸為31 mm×8 mm×8 mm，然后對(duì)試樣進(jìn)行研磨并拋光。采用D8-Advance型XRD檢測(cè)合金的物相結(jié)構(gòu)，靶材為銅靶，掃描角度范圍為20°～100°。腐蝕液選取王水（濃鹽酸∶濃硝酸=3∶1），試樣腐蝕完用酒精擦拭表面，目的除去表面雜質(zhì)，用4XB型倒置金相顯微鏡和SUPRA 55VP 型場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡觀察合金的顯微組織。采用能譜儀（Energy dispersive spectrometer，EDS）分析合金顯微組織的元素分布。 采用HXD-1000TB 型顯微硬度儀測(cè)試涂層橫截面硬度，施加載荷為2 N，加載時(shí)間15 s，測(cè)試從涂層開始到基體結(jié)束，為了減少誤差，每個(gè)樣品測(cè)試3次，取平均值作為最終顯微硬度。采用M-2000型摩擦磨損機(jī)進(jìn)行磨損試驗(yàn)，試驗(yàn)環(huán)境為室溫干摩擦，對(duì)磨材料45鋼，施加載荷為100 N，磨損時(shí)間為30 min，轉(zhuǎn)速為180 r/min。 采用VMP-300電化學(xué)工作站測(cè)試涂層在3.5%NaCl溶液中的耐腐蝕性能，測(cè)試電壓范圍為-2～2 V。

2 試驗(yàn)結(jié)果與分析

2.1 宏觀形貌

圖1 為CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金涂層的單道截面圖。從圖1可以看出，添加Si含量較少時(shí)，單道涂層成形較差，熔池窄且較深，涂層與基體沒有結(jié)合良好，隨著Si元素含量的增加，熔池深度變淺，寬度變寬，稀釋率先降低后增加，涂層的成形較好，涂層與基體結(jié)合也越來越良好，涂層上表面表現(xiàn)較平滑。表明Si元素的添加能夠改善涂層的成形能力，其原因與Si元素能夠改善涂層熔池的流動(dòng)性有關(guān)。另外，潤濕角作為評(píng)價(jià)熔覆層成形質(zhì)量的指標(biāo)之一[15]，其表示為熔覆層和基體之間夾角θ，當(dāng)潤濕角角度小于90°時(shí)，說明涂層與基體之間的潤濕性良好[16-17]。從圖1可知，當(dāng)x=0.5，1.0，1.5時(shí)，潤濕角分別為50°，48.5°，31°，隨著Si元素含量增多，涂層與基體的潤濕角隨之減小且均小于90°，表明涂層的潤濕性良好。

2.2 物相分析

圖2為CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金XRD圖譜。合金涂層的物相主要由FCC，BCC固溶體相和拓?fù)涿芘畔唳覙?gòu)成.當(dāng)Si含量為0.5時(shí)，合金涂層由單一FCC相結(jié)構(gòu)組成；Si含量為1.0時(shí)，合金涂層物相由FCC相和σ相組成；當(dāng)Si含量為1.5時(shí)，合金涂層在FCC和σ相雙相基礎(chǔ)上生成BCC相。σ相衍射峰出現(xiàn)在衍射角45°～50°之間，空間群p42/mnm結(jié)構(gòu)，主要由Si元素與其它4種元素構(gòu)成的金屬化合物組成。隨著Si元素含量的增多，F(xiàn)CC衍射峰值強(qiáng)度依次減弱，BCC衍射峰值強(qiáng)度增強(qiáng)，同時(shí)，拓?fù)涿芘畔唳蚁喑霈F(xiàn)且數(shù)量增加。由此表明，Si元素可以促進(jìn)合金B(yǎng)CC相的生成，隨著添加含量的增多，拓?fù)涿芘畔囿w積分?jǐn)?shù)也增多，σ相衍射峰出現(xiàn)并增多。這是由于Si元素原子半徑相對(duì)其它原子半徑較小，致使主元中產(chǎn)生較大原子半徑差異，引起晶格畸變，而過高的晶格畸變使得單相固溶體穩(wěn)定性消失，造成第二相σ析出，如圖3所示。另外，Tsai等人[18]研究發(fā)現(xiàn)，σ相的形成與價(jià)電子濃度有關(guān)，價(jià)電子濃度（VEC）處于6.88～7.84時(shí)，合金通常能夠形成σ相。通過式（1）計(jì)算得到合金涂層的價(jià)電子濃度值如表2所示，發(fā)現(xiàn)得出試驗(yàn)數(shù)據(jù)除x為0.5外，其它兩組與理論計(jì)算基本符合。

式中：Ci為i元素的摩爾分?jǐn)?shù)；（VEC）i為合金中第i個(gè)主元的價(jià)電子濃度。

從圖2b看出，F(xiàn)CC相主峰向右偏移，主要原因是Si原子半徑較小，較小的原子Si元素能夠在晶體結(jié)構(gòu)中置換其它元素，引起晶格常數(shù)減少，根據(jù)布拉格定律，高熵合金涂層的FCC衍射峰主峰向右偏移。

2.3 顯微組織

圖4 為CoCrFeNiSix（x=0.5， 1.0， 1.5）高熵合金的組織形貌。從圖4可以看出，不同Si元素含量下涂層的顯微組織主要以柱狀晶、樹枝晶和胞狀晶為主，圖中灰黑色A區(qū)域?yàn)橹^(qū)域，灰白色B區(qū)域?yàn)橹чg區(qū)域.結(jié)合表3中EDS分析，當(dāng)Si含量0.5時(shí)，涂層顯微組織由柱狀晶正向樹枝晶轉(zhuǎn)化，處于柱狀晶向樹枝晶過渡生長階段，枝晶主要富集Co，F(xiàn)e元素，枝晶間區(qū)域主要分布Cr，Ni，F(xiàn)e元素，其中FCC相主要由[Fe，Ni]固溶體組成，如圖4a和圖4b所示。當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，涂層組織仍然以樹枝晶為主，樹枝晶完全成形，枝干長粗，出現(xiàn)二次枝干，枝晶間區(qū)域變成亮白色，主要富含F(xiàn)e，Ni，Si元素，Si元素與其它元素組成的化合物σ相和[Fe，Ni]固溶體相FCC分布在枝晶間區(qū)域，枝晶區(qū)域?yàn)榛液谏?，主要富含F(xiàn)e，Co，Cr元素，如圖4c和圖4d所示。當(dāng)Si含量為1.5時(shí)，涂層主要以胞狀晶組織為主，枝晶間區(qū)域主要由Cr，Ni，F(xiàn)e，Si元素，其中Ni，F(xiàn)e元素構(gòu)成[Fe，Ni]結(jié)構(gòu)固溶體FCC相， Fe，Cr元素構(gòu)成的BCC固溶體相，枝晶區(qū)域主要富含F(xiàn)e，Si元素，大量Si與其它元素能夠生成化合物σ相富集在枝晶區(qū)域如圖4e～圖4f所示。3種含量組織中，發(fā)現(xiàn)大量Fe元素富集在涂層組織的各區(qū)域，這是由于在激光熔覆過程中高能量激光使基體中Fe元素大量析出。隨著Si含量的增加，容易造成Si元素偏析，如圖5所示。當(dāng)Si元素含量為1時(shí)，大量Si元素在枝晶區(qū)域偏析，這主要?dú)w結(jié)于Si元素與其它元素之間的混合焓較負(fù)如圖3所示，說明Si與這些元素的親和力較低，Si原子容易被這些原子排斥，析出有序相，隨著Si含量的增多，在凝固過程中存在較多未溶于固溶體的Si原子，導(dǎo)致析出第二相σ相增多[19]。

2.4 顯微硬度

圖6為CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金涂層的顯微硬度。從圖6可以看出，合金涂層的顯微硬度隨著Si含量增加而增加，當(dāng)Si含量為0.5時(shí)，合金涂層平均顯微硬度值為245.07 HV0.2；當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，合金涂層平均顯微硬度值為527.06 HV0.2；當(dāng)Si含量為1.5時(shí)，合金涂層平均顯微硬度值達(dá)到最大值（619.04 HV0.2），約為基體平均顯微硬度的2.67倍。涂層的硬度值隨著Si元素的添加也在逐步增加，主要?dú)w因于固溶強(qiáng)化、組織轉(zhuǎn)變和沉淀強(qiáng)化。固溶強(qiáng)化即Si元素添加到涂層中，引起晶格畸變，產(chǎn)生局部應(yīng)力場(chǎng)，阻礙位錯(cuò)運(yùn)動(dòng)，從而提高合金的硬度。組織轉(zhuǎn)變即隨著Si含量的增加合金組織由柱狀晶轉(zhuǎn)變?yōu)闃渲ё詈笮纬砂麪罹АＡ硗?，析出的Si元素化合物σ相強(qiáng)化即沉淀強(qiáng)化，當(dāng)Si含量為0.5時(shí)，合金的物相結(jié)構(gòu)只有FCC結(jié)構(gòu)，F(xiàn)CC相結(jié)構(gòu)合金延展性較好，但其強(qiáng)度較低；當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，合金涂層中有析出Si與其它元素組成的金屬化合物相（σ相），第二相σ富集在枝晶區(qū)域內(nèi)；當(dāng)Si含量為1.5時(shí)，合金涂層Si元素的添加，促進(jìn)BCC合成，BCC相強(qiáng)度比FCC相高，同時(shí)，σ相數(shù)量增多且分布在枝晶和枝晶間區(qū)域內(nèi)，可以發(fā)現(xiàn)隨著Si含量增加，析出Si元素化合物σ相且分布逐漸較為均勻，提升了強(qiáng)化沉淀效果[20-21]。綜上所述，高熵合金涂層硬度隨Si含量的增多而增加。

2.5 摩擦磨損性能

圖7為基體和CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5） 高熵合金涂層磨損量與摩擦系數(shù)。從圖7可知，基體的磨損前后磨損量為85.68 mg，摩擦系數(shù)為0.6，磨損量最大，摩擦系數(shù)最大，基體耐磨性最差。當(dāng)Si含量為0.5，1.0，1.5時(shí)，涂層表面磨損前后損失的質(zhì)量分別為14.9，13.84，7.64 mg，摩擦系數(shù)分別為0.50，0.48，0.42。高熵合金涂層遠(yuǎn)比基體耐磨性能優(yōu)異，且隨著Si含量添加，涂層的磨損量、摩擦系數(shù)減小，耐磨性能提高。根據(jù)圖8可知，CoCrFeNiSix涂層磨損量與硬度關(guān)系成反比，滿足Achard 經(jīng)典理論。Si元素的添加使合金體系的發(fā)生晶格畸變，促進(jìn)合金相使FCC相向BCC相轉(zhuǎn)變。Si的加入能夠生成金屬化合物σ相，從而提高合金硬度。晶格畸變對(duì)位錯(cuò)的運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生阻礙，提高合金的硬度，從而提高合金能磨性能。

圖9為CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金磨損三維輪廓。從圖9可以看出，基體磨損三維中，磨痕寬度較寬，深度最深，磨損面積較大，隨著Si元素的添加，磨痕的寬度和深度減少，磨痕面積減少，說明Si元素能夠提高涂層的耐磨性能。

圖10為CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金磨損形貌圖及局部放大圖。從圖10a和圖10b可以看出，基體的磨損形貌較為嚴(yán)重，表面犁溝數(shù)量較多，犁溝較深，圖中分層現(xiàn)象比較嚴(yán)重。從圖10c和圖10d可以看出，當(dāng)Si含量為0.5時(shí)，涂層的磨損表面犁溝比較深且寬，涂層表面局部區(qū)域涂層脫落，伴有少量裂紋，存在大量磨屑和部分凹坑，磨損機(jī)制主要以磨粒磨損為主，主要原因是涂層與摩擦副接觸磨損時(shí)，涂層硬度低，涂層中被磨損掉落的顆粒被摩擦副劃過所形成犁溝。從圖10e和圖10f可以看出，當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，涂層的磨損表面凹凸不平，存在大量的分層現(xiàn)象，分層形成大量的凹坑，選取局部區(qū)域進(jìn)一步放大，一部分表面光滑，犁溝較淺，另一部分表面凹坑變小，分層嚴(yán)重，

表明涂層磨損機(jī)制主要由磨粒磨損，并伴有黏著磨損存在。從圖10g和圖10h可以看出，當(dāng)Si含量為1.5時(shí)，涂層的磨損表面整體比較光滑，涂層表面存在少量裂紋，存在部分分層現(xiàn)象，黏著層較少，磨損機(jī)制主要是黏著磨損。結(jié)合表4對(duì)高熵合金涂層不同Si含量磨損形貌的分層區(qū)域G，H，J進(jìn)行EDS分析，發(fā)現(xiàn)隨著添加Si含量的增多，涂層中Fe元素富集較多，氧元素含量最多，且依次呈增長趨勢(shì)，Co，Cr，Ni其它元素分布較為均勻，說明在磨損過程中，除了上述的磨損機(jī)制之外，3種不同Si含量涂層在磨損過程中均存在著氧化磨損。原因是試樣與對(duì)磨副接觸時(shí)，隨著磨損時(shí)間的增加，摩擦產(chǎn)生熱導(dǎo)致涂層表面被氧化，O元素較多，說明氧化層越厚，較厚的氧化層對(duì)涂層有保護(hù)和潤滑作用，而且避免涂層材料表面與摩擦副表面直接接觸，可以減少摩擦副和涂層表面之間的材料磨損[22-23]，從而提高合金涂層的耐磨性能。

2.6 電化學(xué)腐蝕性能

圖11為基體和CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金涂層在質(zhì)量分?jǐn)?shù)3.5%NaCl溶液中的動(dòng)電位極化曲線。通過塔菲爾外推法在極化曲線中獲取電化學(xué)腐蝕參數(shù)，其中腐蝕電位（Ecorr）決定材料是否有腐蝕的趨勢(shì)，腐蝕電流密度（Icorr）與材料腐蝕速率呈正相關(guān)[24-25]。從表5可以看出，隨著Si含量的添加，腐蝕電位先增加后降低，腐蝕電流密度先降低再升高，說明涂層的腐蝕速率先降低最后增大，同時(shí)，發(fā)現(xiàn)不同Si含量涂層的腐蝕性能優(yōu)于基體。當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，自腐蝕電流密度最小，最小值為1.39×10-2A/cm2，自腐蝕電位最大，最大值為-955.391 mV。說明涂層的腐蝕性能最優(yōu)。同時(shí)，當(dāng)Si含量達(dá)到0.5，1.0時(shí)，涂層在腐蝕過程中出現(xiàn)兩次鈍化現(xiàn)象，產(chǎn)生鈍化膜，主要由腐蝕產(chǎn)物組成，鈍化膜進(jìn)一步阻礙涂層在陽極中的腐蝕速率。

圖12為基體和CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金涂層的Nyquist圖、Bode圖與擬合等效電路圖。圖12a為高熵合金涂層的Nquist圖，其均未能呈現(xiàn)未完成的電容電弧，表示為非均勻表面上的電荷轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，其中電容電弧的曲率反映材料的抗腐蝕能力，大的電容電弧半徑代表更好的腐蝕性，涂層的腐蝕性能從高到低依次為CoCrFeNiSi1.0，CoCrFeNiSi0.5，CoCrFeNiSi1.5和基體。圖12b為高熵合金涂層的Bode圖，其中相位角的峰值可以解釋涂層表面的粗糙度及其對(duì)腐蝕性能的影響[26]。隨著Si含量的增加，涂層的阻抗模量和相位角峰值先增加后降低。這與極化曲線，阻抗弧半徑變化趨勢(shì)相一致；當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，涂層的阻抗模量和相位角高于基體和其它兩種含量，說明涂層Si含量為1.0時(shí)，涂層在NaCl溶液中的耐腐蝕性能最好。選擇如圖12c所示的電路圖，圖中Rs代表溶液電阻，Rf代表鈍化膜電阻，Rct表示電荷轉(zhuǎn)移電阻，CPE1和CPE2（恒相元件CPE）分別代表薄膜和雙電荷層的電容，Rct阻值越大，電荷轉(zhuǎn)移就越困難，涂層的腐蝕性能就越好。如表6所示，當(dāng)Si含量為0.5，1.0，1.5時(shí)，Rct分別3 962，4 905，3 835 Ω；當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，涂層電阻最大，其耐腐蝕性能最優(yōu)。

圖13為不同Si含量對(duì)CoCrFeNi高熵合金涂層在3.5%NaCl溶液中的電化學(xué)腐蝕形貌。從圖13可以看出，基體相對(duì)涂層腐蝕較為嚴(yán)重，但由于其Cr含量較高，腐蝕過程容易形成鈍化膜，對(duì)基體有一定的保護(hù)作用。當(dāng)Si含量為0.5時(shí)，涂層表面呈現(xiàn)局部腐蝕；從局部腐蝕放大圖可以看出，腐蝕沿涂層晶粒向內(nèi)部開始，這種腐蝕機(jī)制屬于晶間腐蝕。另外，在涂層表面存在個(gè)別的微小腐蝕小孔，直徑較小，這種腐蝕機(jī)制為點(diǎn)蝕。當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，腐蝕表面整體較為光滑，存在少量局部腐蝕。通過放大觀察發(fā)現(xiàn)，腐蝕情況較輕，腐蝕從沿晶粒邊界向晶粒內(nèi)部開始，晶界未能腐蝕，同時(shí)，存在一些點(diǎn)蝕坑。當(dāng)Si含量為1.5時(shí)，腐蝕情況比較嚴(yán)重，枝晶區(qū)域完全被腐蝕。根據(jù)貧化理論和顯微組織分析，涂層在晶界處Si元素富集組成，造成晶界和晶粒之間電化學(xué)性質(zhì)不均勻，形成晶間腐蝕。通過對(duì)比不同Si含量的腐蝕形貌圖發(fā)現(xiàn)，隨著Si元素添加，一定量的Si元素對(duì)涂層有保護(hù)作用，當(dāng)含量超過1.0時(shí)，涂層腐蝕表面較為嚴(yán)重，耐腐蝕性能降低。

3 結(jié)論

（1）通過激光熔覆技術(shù)制備了CoCrFeNiSix（x=0.5，1.0，1.5）高熵合金涂層，涂層的物相由初始的單一FCC結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)镕CC，σ相結(jié)構(gòu)，最后轉(zhuǎn)變成為FCC，σ和BCC相。

（2）涂層的顯微組織主要由柱狀樹枝晶、樹枝晶和胞狀晶組成，組織分布均勻，其中，Ni，F(xiàn)e元素構(gòu)成[Fe，Ni]結(jié)構(gòu)的FCC固溶體相，F(xiàn)e，Cr元素構(gòu)成[Fe，Cr]結(jié)構(gòu)的BCC固溶體相。

（3）隨著Si含量的增加，涂層的顯微硬度增加，當(dāng)Si含量為1.5時(shí)，涂層的平均顯微硬度值為619.04 HV0.2，約為基體的2.67倍。涂層的磨損量、磨擦系數(shù)隨著Si含量增加而減少，耐磨性能顯著提高。

（4）涂層在3.5%NaCl溶液中的耐腐蝕性能隨著Si含量的增加先增加后降低，當(dāng)Si含量為1.0時(shí)，涂層的自腐蝕電流密度最小，阻抗弧半徑、電荷轉(zhuǎn)移電阻值最大，頻率與相位角較高，涂層的耐腐蝕性能最優(yōu)。

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