付 路 閻照文 劉玉竹 蘇麗軒
(北京航空航天大學電子信息工程學院 北京 100191)
電子信息類產(chǎn)品廣泛存在于人類點點滴滴的生活中,成為人們生活中不可或缺的組成部分[1]。集成電路作為電子信息類產(chǎn)品的基本單元,隨著其向小體積、高密度、高開關(guān)速度等方向的快速發(fā)展,其在電子信息類產(chǎn)品的組成中發(fā)揮著越來越重要的作用,同時帶來的電磁兼容性問題也越來越突出。其中,靜電放電對電子產(chǎn)品的危害是很大的,它能在瞬間達到幾千伏,對集成電路來說有時候是毀滅性的。因此,集成電路靜電放電防護研究越來越備受關(guān)注[2,3]。
靜電放電是指帶電體周圍的場強超過周圍介質(zhì)的絕緣擊穿場強時,因介質(zhì)電離而使帶電體上的靜電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。靜電放電過程往往會產(chǎn)生瞬時脈沖大電流,其強度可達到幾十安培甚至上百安培,屬于瞬態(tài)干擾類型。集成電路靜電放電研究由來已久[4,5],目前在測試、建模等方面均已形成了很多標準[6,7]。同時,在建模、測試、防護等方面的研究[3–5,8,9]層出不窮,不斷推進集成電路靜電放電防護工作的進展。根據(jù)靜電放電產(chǎn)生的方式、上升時間、衰減時間以及峰值電流等因素,將其主要劃分為幾種放電模式:人體模型、機器模型、人體金屬模型、組件充電模型、家具模型等,以上模型能夠確定失效等級。
另外,隨著集成電路工藝水平的不斷提升,集成度、小型化、高速度以及應(yīng)用場景的電磁環(huán)境復雜性逐漸提升,集成電路更易受到靜電放電干擾的影響,從而使得研究者也不斷面臨新的挑戰(zhàn)。
但是研究靜電放電還需要細節(jié),傳輸線脈沖(Transmission Line Pulse, TLP)測試模型和技術(shù)因其可靠、可重復、過程參數(shù)能夠被觀察和記錄等特點,被器件級靜電放電特性研究廣泛采用。TLP是研究靜電放電防護公認的有效手段[7,10]。隨著TLP測試技術(shù)的不斷提升,應(yīng)用TLP解決靜電放電問題的研究[11,12]不斷涌現(xiàn)。其中,研究者在證明靜電放電測試方法和傳輸線脈沖測試方法結(jié)果之間的等效性或相關(guān)性方面有較多研究[13–15]。應(yīng)用TLP技術(shù)在集成電路靜電放電防護方面也有不少感興趣的研究者[2]?;趥鬏斁€脈沖測試的各種仿真模型也已經(jīng)被提出并不斷改進。其中,分段線性模型由Ralph Santoro[16]于1995年首次提出,并由Austermann等人[17]作為4種仿真模型之一進行了更為詳細的介紹,但是他們所描述的分段線性模型不夠完善,有一定的改進空間。
瞬態(tài)電壓抑制(Transient Voltage Suppression,TVS)二極管是集成電路在進行靜電放電防護時,最常采用的防護器件之一。TVS二極管作為防護器件使用時,通常采用兩個方式應(yīng)用到集成電路:一是片外防護,也就是將TVS二極管應(yīng)用到芯片引腳回路遠端;二是片內(nèi)防護,也就是將TVS二極管直接集成在芯片內(nèi)部。經(jīng)過研究者的不斷努力,TVS二極管在性能的設(shè)計和提高方面不斷進步[18,19]。并且,更多的研究致力于應(yīng)用TVS二極管進行集成電路片上或者片外的防護工作上,如芯片應(yīng)對瞬態(tài)干擾的防護器件建模仿真[20,21]以及防護效果研究[22–25]等。
黃薇等人[20]對該器件在高電壓大電流下的反向工作特性建模,在Matlab中利用所建模型仿真,來預測TVS二極管瞬態(tài)電壓抑制時的電特性。周月賓等人[21]通過PSCAD/EMTDC自身提供的二極管,復合等值模型,有效解決了換流器閉鎖、解鎖行為的精確模擬問題。張楊等人[26]提出了TVS沖擊電壓模型,研究了抑制沖擊電壓措施,有效解決了TVS本身的寄生參數(shù)對ESD防護特性的影響?,F(xiàn)有研究多為針對防護器件本身的建模仿真和性能提高的研究。Maghlakelidze等人[24]使用TLP測試手段研究了瞬態(tài)電壓抑制器件對集成電路的防護效果。Zeng等人[25]證明了使用基于瞬態(tài)電壓抑制器(TVS)二極管的電路在高功率微波(HPM)脈沖下的保護效果。同樣是通過測試手段實現(xiàn)防護效果研究。陳強等人[27]依據(jù)IEC61000-4-2 ESD應(yīng)力作用下完成了一款開關(guān)芯片防護電路的仿真。由此可見,當前在芯片防護效果研究方面,大多使用實測手段對防護效果開展驗證,目前尚未發(fā)現(xiàn)應(yīng)用仿真方法實現(xiàn)基于TLP的集成電路防護研究以及相關(guān)的仿真模型。
綜上所述,國內(nèi)外針對瞬態(tài)干擾的測試多以ESD等級測試為主,來判斷器件是否能承受該級別的干擾,各等級之間的差異很大,缺乏對器件損毀的精確判據(jù)。而且,當前針對防護器件的選型和使用主要根據(jù)數(shù)據(jù)手冊和工程經(jīng)驗,缺乏對基于器件實測數(shù)據(jù)的精準把握和精確的防護方法,容易出現(xiàn)過保護或欠保護現(xiàn)象。
因此,本文通過芯片在TLP應(yīng)力作用下的伏安特性數(shù)據(jù),構(gòu)建了基于實測TLP數(shù)據(jù)的瞬態(tài)干擾模型,并建立了TVS防護器件的等效電路模型,提出了芯片的協(xié)同防護設(shè)計方法。本文精確地獲取了器件的損毀閾值,實現(xiàn)了基于實測數(shù)據(jù)的精確協(xié)同防護設(shè)計。
基于TLP測試芯片的分段線性建模是以對芯片的TLP測試獲得的I-V數(shù)據(jù)為基礎(chǔ),對其進行近似線性分段后,進行模型的建立。根據(jù)分段線性建模方法,近似線性的線段一方面可以通過觀察其線性程度,另一方面也可以通過觀察I-V曲線的數(shù)據(jù)判斷其線性程度來進行近似線性線段的選取。選取的每一個線段都需要具備近似線性的特點,從仿真成本的角度考慮近似線性線段的數(shù)量越少成本越低,但是從仿真精度的角度考慮近似線性線段的數(shù)量越多精度越高,因此結(jié)合自身對成本和精度的要求來選擇合適的近似線性線段來進行仿真。
本文利用TLP自動測試系統(tǒng),對型號為CD4001BE的芯片上的“B-Vss”回路也就是“輸入到地”回路進行了TLP應(yīng)力下的測試,獲得了瞬態(tài)電壓、瞬態(tài)電流、直流下的漏電流等數(shù)據(jù)。測試中所使用的傳輸線脈沖,其脈寬Pw=50 ns、上升沿和下降沿Tr=Tf=1 ns。其電壓幅值自0.5 V開始,在0.5~445 V范圍內(nèi)逐漸增大,每一個TLP電壓幅值都開展一次T L P 應(yīng)力測試。T L P 自動測試系統(tǒng)向芯片CD4001BE“輸入到地”回路自動發(fā)送一組脈沖串,同時監(jiān)測瞬態(tài)電壓、瞬態(tài)電流和漏電流等數(shù)據(jù)。當TLP電壓幅值達到445 V時,所監(jiān)測芯片CD4001BE“輸入到地”引腳回路上的漏電流曲線出現(xiàn)的明顯變化,證明芯片損毀,TLP測試停止,系統(tǒng)自動記錄TLP脈沖應(yīng)力下的相關(guān)參數(shù)。
本文還利用TLP自動測試系統(tǒng),對型號為SN74LS04D的芯片的“A-GND”也是“輸入到地”回路在100 ns脈沖寬度的TLP干擾下進行測試,并獲得了該回路的I-V曲線數(shù)據(jù)。
本文為了嘗試構(gòu)建分段線性模型,選取芯片CD4001BE“輸入到地”回路在50 ns脈寬TLP作用下的I-V曲線,是芯片各回路在受到TLP干擾作用下比較典型的I-V曲線的形狀。認真觀察CD4001BE的“輸入到地”回路通過在50 ns傳輸線脈沖干擾下獲取的I-V曲線走勢,選取7條(k1~k7)近似線性的線段作為構(gòu)建I-V曲線模型的原始數(shù)據(jù),并且這樣能夠滿足本文嘗試構(gòu)建分段線性模型方法的目的,如圖1所示。這7條近似線性線段共有8個拐點(P1~P8)也如圖1所示。
圖1 芯片CD4001BE“輸入到地”回路在50 ns脈寬TLP作用下的I-V曲線
在芯片CD4001BE“輸入到地”回路在50 ns脈寬TLP作用下的I-V曲線,選取的8個拐點所對應(yīng)的每一組瞬態(tài)電壓和瞬態(tài)電流值如表1所示。所對應(yīng)的電阻值是根據(jù)分段線性建模原理,利用每一組數(shù)據(jù)所對應(yīng)的線段斜率進行計算得出的。
表1 模型中的參數(shù)
根據(jù)上述數(shù)據(jù),構(gòu)建了芯片CD4001BE“輸入到地”回路在50 ns脈寬TLP作用下的I-V曲線的分段線性仿真模型,如圖2所示,其中直流電流源為瞬態(tài)電流值,二端口網(wǎng)絡(luò)為具有正阻二極管特性或者負阻二極管特性的網(wǎng)絡(luò),電阻值就是對應(yīng)表1中的參數(shù)。
圖2 芯片CD4001B上“輸入到地”回路基于TLP測試的實際仿真模型
根據(jù)基于TLP測試的實際仿真模型進行仿真得到的仿真結(jié)果(紅線)與TLP實際測試的結(jié)果(藍線)進行比對,如圖3所示,可以看出兩條曲線基本吻合,說明該模型能夠有效地模擬TLP測試得到的I-V曲線。
圖3 芯片CD4001BE的I-V曲線仿真和測試數(shù)據(jù)擬合
如果想要在更多細節(jié)上實現(xiàn)更好的吻合,提高擬合度,可增加更多級的電路進行模型的完善。
本文還選取了反相器芯片SN74LS04D的“1A_GND”“輸入到地”回路在100ns脈沖寬度的TLP干擾下的I-V特性曲線,這是一種形狀相對比較復雜的I-V曲線類型,來進一步驗證模型的可行性。依據(jù)芯片CD4001BE上“輸入到地”回路在50 ns脈沖寬度的TLP干擾下的上述建模方法,構(gòu)建了反相器芯片SN74LS04D的“A_GND”也是“輸入到地”回路在100 ns脈沖寬度的TLP干擾下的I-V特性仿真模型。
如圖4所示兩個結(jié)果可以看出,基于器件分段線性建模仿真方法,構(gòu)建反相器芯片SN74LS04D的“輸入到地”回路在100 ns脈沖寬度的TLP干擾下的模型仿真以后,仿真與實測數(shù)據(jù)擬合效果很好,說明該方法具有很強的通用性,可用于后續(xù)的協(xié)同防護仿真設(shè)計中。
圖4 芯片SN74LS04D“輸入到地”回路仿真與實測對比
本節(jié)的模型主要以文獻[28]中的穩(wěn)壓二級管的等效電路(如圖5所示)為基礎(chǔ),并對其進行改進來開展本研究中TVS管的建模方法研究。
圖5 穩(wěn)壓二極管等效電路
TVS二極管在防護時一般是與被保護器件并聯(lián)連接,這樣當TVS二極管的兩端受到反向瞬態(tài)高能量沖擊時,能在極快(納秒量級)的時間內(nèi)將兩端的電壓鉗制在一個預定范圍,能夠有效地保護集成電路中的精密器件,使其免遭損壞,其伏安特性主要包括正向偏置區(qū)、反向電流區(qū)、擊穿后偏置區(qū)和電流限制區(qū)等4個區(qū)域。
結(jié)合TVS二極管的等效電路,依據(jù)數(shù)據(jù)手冊中TVS二極管的伏安特性,本節(jié)構(gòu)建了TVS二極管SMDJ13A的仿真電路模型,如圖6所示。
圖6 TVS二極管SMDJ13A的仿真模型
通過TVS二極管SMDJ13A的等效電路仿真得到的I-V曲線與基于TLP方法的實測數(shù)據(jù)比對如圖7所示,可以看出兩者有較好的擬合。
圖7 TVS二極管SMDJ13A I-V曲線仿真與實測比對
依據(jù)TVS二極管等效電路,本節(jié)還構(gòu)建了TVS二極管SMDJ40A的仿真電路模型。
通過TVS二極管SMDJ40A的等效電路仿真得到的I-V曲線與基于TLP方法的實測數(shù)據(jù)的比對如圖8所示,可以看出兩者有較好的擬合。
圖8 TVS二極管SMDJ40A I-V曲線仿真與實測比對
擊穿電壓參數(shù)是二極管器件I-V曲線中關(guān)鍵的拐點。器件SMDJ13A及SMDJ40A的DATASHEET中的數(shù)據(jù)、建模仿真結(jié)果以及測試結(jié)果I-V曲線中關(guān)鍵拐點參數(shù)擊穿電壓如表2所示。
表2 TVS 二極管擊穿電壓參數(shù)對比(V)
從上述數(shù)據(jù)可以看出:防護器件TVS二極管SMDJ13A的擊穿電壓參數(shù),實測和仿真結(jié)果相似,并且均略高于數(shù)據(jù)手冊中的擊穿電壓范圍;而防護器件SMDJ40A的實測和仿真的擊穿電壓值相似,且屬于數(shù)據(jù)手冊中擊穿電壓范圍。由此可見,本文的實測結(jié)果、建模仿真結(jié)果與數(shù)據(jù)手冊中的擊穿電壓參數(shù)略有差異,但基本相符,具備以此為基礎(chǔ)繼續(xù)后續(xù)研究的條件。
最大鉗位電壓參數(shù)是TVS二極管在防護設(shè)計中判斷防護能力的重要參數(shù)。器件SMDJ13A及SMDJ40A的DATASHEET中的數(shù)據(jù)、建模仿真結(jié)果以及測試結(jié)果I-V曲線中最大電壓參數(shù)如表3所示。
表3 TVS 二極管最大鉗位電壓參數(shù)對比(V)
用戶在使用數(shù)據(jù)手冊給出的最大鉗位電壓值時,為了避免出現(xiàn)器件損壞或者降級風險,要考慮一定裕度。本文中的實測和仿真中的限制電壓值均小于最大鉗位電壓值,這樣的偏差不影響對其被保護電路可承受的瞬態(tài)安全電壓的判斷,因此對于芯片選型和防護設(shè)計均不會出現(xiàn)風險性影響。
為了模擬芯片在TVS二極管防護下應(yīng)對靜電放電干擾的情況,本文提出了基于分段線性模型的芯片協(xié)同防護設(shè)計方法。本文所提出的芯片協(xié)同防護設(shè)計方法就是將第2節(jié)和第3節(jié)所提出的兩種類型的模型進行聯(lián)合,模擬芯片在特定TVS二極管防護下的防護特性,這一方法預期可以有效地降低設(shè)計的時間和成本,提高防護設(shè)計方案的有效性。
應(yīng)用上述的芯片協(xié)同防護設(shè)計方法,本節(jié)以芯片CD4001BE“輸入到地”回路為例,構(gòu)建了芯片CD4001BE“輸入到地”回路在50 ns脈寬TLP作用下在TVS二極管防護下的協(xié)同防護設(shè)計模型,如圖9所示。
圖9 芯片CD4001BE“輸入到地”回路在SMDJ13A的防護下其協(xié)同防護仿真模型圖
芯片CD4001BE的協(xié)同防護設(shè)計模型包括芯片本身在50 ns脈寬TLP干擾下的模型和TVS二極管等效電路模型。
經(jīng)過多輪不同參數(shù)TVS二極管的迭代仿真,以及初步分析,選取鉗位電壓為13 V、型號為SMDJ13A的TVS二極管對CD4001BE的“B-Vss”回路進行防護,如圖10。
通過進一步驗證,所選取的TVS二極管在瞬態(tài)電壓為16.8 V時開啟防護,此時對CD4001BE的BVss回路在一定干擾范圍內(nèi)起到了防護的作用,將瞬態(tài)電壓限制在17 V左右。當瞬態(tài)電壓為16.8 V、瞬態(tài)電流為1.78 A的開啟點之前,TVS二極管處于反向漏電區(qū),芯片處于正常狀態(tài)。當瞬態(tài)電壓為16.8 V、瞬態(tài)電流為1.78 A之后直至瞬態(tài)電壓為17.1 V、瞬態(tài)電流為11 A,TVS二極管處于擊穿后偏置區(qū),吸收了大電流,使電壓穩(wěn)定,因受到TVS二極管的防護,此時芯片仍處于正常狀態(tài)。
應(yīng)用上述的芯片協(xié)同防護設(shè)計方法,本節(jié)以芯片SN74LS04D“輸入到地”回路為例,構(gòu)建了芯片SN74LS04D“輸入到地”回路在100 ns脈寬TLP作用下的協(xié)同防護設(shè)計模型。
芯片SN74LS04D的協(xié)同防護設(shè)計模型包括芯片本身在100 ns脈寬TLP干擾下的模型和TVS二極管等效電路模型。
經(jīng)過多輪不同參數(shù)TVS二極管的迭代仿真,以及初步分析,選取鉗位電壓為40 V、型號為SMDJ40A的TVS二極管對SN74LS04D的“A-GND”回路進行防護。
如圖11所示,芯片SN74LS04D“輸入到地”回路在SMDJ40A防護下的協(xié)同防護仿真與實測的I-V曲線結(jié)果中,在瞬態(tài)電壓為20 V左右之前產(chǎn)生了一定的偏差,之后差異逐漸減小并趨于吻合。由于芯片模型和TVS模型中均有電流源,導致它們在級聯(lián)之后相互影響,出現(xiàn)了一定的差異。而這一差異不影響對TVS防護效果的判斷。
圖11 芯片SN74LS04D“輸入到地”回路在SMDJ40A防護下的協(xié)同防護仿真與實測的I-V曲線對比
TVS二極管的數(shù)據(jù)手冊提供的參數(shù)值雖然具有參考性,但是也存在一定的偏差,而TVS二極管的正確選型對于芯片的防護是一個非常關(guān)鍵的因素。因此,通過協(xié)同防護設(shè)計方法具有必要性,它可以實現(xiàn)先行應(yīng)用仿真的方法進行摸底提出選型建議,再進行實際測試驗證,從而節(jié)約了設(shè)計時間和成本,進一步提高了防護的有效性。
本文通過I-V特性曲線數(shù)據(jù),構(gòu)建了芯片“B-Vss”回路在TLP應(yīng)力下的I-V特性模型。本文還基于數(shù)據(jù)手冊數(shù)據(jù)構(gòu)建了TVS二極管等效電路模型。同時,本文基于上述兩個模型,提出了芯片的協(xié)同防護仿真設(shè)計建模方法,從而能夠預先了解TVS防護方案的有效性,對TVS二極管的正確選型提供有效的幫助,降低了設(shè)計時間和解決成本。
致謝感謝ESDEMC公司在TLP測試過程中提供的幫助。