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      改進(jìn)型3IDT-LCR結(jié)構(gòu)的低損耗小矩形系數(shù)SAW濾波器

      2023-07-18 10:55:38陳華志羅文汀馬晉毅陳彥光董加和
      壓電與聲光 2023年3期
      關(guān)鍵詞:低損耗諧振器頻響

      陳華志,羅文汀,馬晉毅,陳彥光,伍 平,董加和

      (中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所,重慶 400060)

      0 引言

      三換能器縱向耦合諧振結(jié)構(gòu)(3IDT-LCR)的聲表面波(SAW)濾波器具有插入損耗低、帶外抑制高、尺寸小、易裝配和二次集成等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于軍民電子系統(tǒng)的信道化接收組件[1-2]。隨著接收組件的信道數(shù)量增加,信道頻段劃分更加密集,所以需要將配套的SAW濾波器通帶做得更陡直,以滿足相鄰密集頻段信號(hào)的提取需要[3]。通過(guò)矩形系數(shù)來(lái)描述SAW濾波器的通帶陡直程度,通常被定義為濾波器-40 dB帶寬與-3 dB帶寬(或-1 dB帶寬)的比值[4]。濾波器矩形系數(shù)越小,則器件通帶越陡直。

      本文針對(duì)信道化接收組件對(duì)SAW濾波器-40 dB帶寬與-3 dB帶寬矩形系數(shù)≤1.4的指標(biāo)要求,在傳統(tǒng)3IDT-LCR結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,通過(guò)理論仿真研究分析了反射柵及叉指換能器(IDT)指條多周期加權(quán)、在IDT間引入內(nèi)反射柵和在聲通道間引入諧振器等結(jié)構(gòu)改進(jìn)設(shè)計(jì)帶來(lái)的指標(biāo)改善效果,最終研制出具備低損耗、小矩形系數(shù)的SAW濾波器。

      1 傳統(tǒng)3IDT-LCR結(jié)構(gòu)

      傳統(tǒng)3IDT-LCR聲通道結(jié)構(gòu)如圖1所示。它由端面2個(gè)反射柵和中間3個(gè)IDT組成。各IDT和反射柵區(qū)域內(nèi)部的指條周期單一,聲通道整體結(jié)構(gòu)中心對(duì)稱。兩邊IDT與相鄰的反射柵各組成一個(gè)單相單向換能器(SPUDT),使產(chǎn)生的表面波能量向通道中心傳播。通過(guò)調(diào)節(jié)兩端SPUDT的距離、反射柵和IDT內(nèi)部的指條周期、數(shù)量,可在一定頻段內(nèi)實(shí)現(xiàn)平坦的通帶和低插入損耗。

      圖1 傳統(tǒng)3IDT-LCR聲通道結(jié)構(gòu)

      為實(shí)現(xiàn)高的帶外抑制,SAW濾波器通常將上述兩個(gè)3IDT-LCR聲通道在無(wú)聲場(chǎng)耦合的情況下進(jìn)行電聯(lián)接,形成的拓?fù)潆娐啡鐖D2所示。

      圖2 傳統(tǒng)雙通道3IDT-LCR結(jié)構(gòu)SAW濾波器拓?fù)潆娐?/p>

      圖3為對(duì)傳統(tǒng)雙通道3IDT-LCR結(jié)構(gòu)的SAW濾波器典型頻響曲線。由圖可見(jiàn),電極反射導(dǎo)致頻率漂移,使通帶中心頻率低于IDT布喇格頻率,而在更高頻率時(shí),IDT為保持其響應(yīng),導(dǎo)致濾波器通帶高端出現(xiàn)“駝峰”,濾波器40/3矩形系數(shù)為3.87。

      圖3 傳統(tǒng)雙通道3IDT-LCR結(jié)構(gòu)SAW濾波器典型頻率響應(yīng)

      2 改進(jìn)型3IDT-LCR結(jié)構(gòu)

      為實(shí)現(xiàn)SAW濾波器具有小矩形系數(shù),本文從以下方面對(duì)傳統(tǒng)3IDT-LCR結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)。

      2.1 反射柵及IDT指條多周期加權(quán)

      傳統(tǒng)縱向耦合聲通道設(shè)計(jì)在反射柵及IDT內(nèi)部指條周期單一,為使通帶在較寬頻率范圍內(nèi)獲得低的插入損耗,相鄰IDT及反射柵之間的指條周期跨度較大,引起通帶高端出現(xiàn)“駝峰”。本文首先對(duì)聲通道內(nèi)各反射柵及各IDT進(jìn)行多周期加權(quán)設(shè)計(jì),將各反射柵和IDT內(nèi)部分為ni(i=1~5)個(gè)漸變指條周期區(qū)域,如圖4所示,以減小相鄰IDT及反射柵之間的指條周期跨度,抑制通帶高端“駝峰”。

      圖4 指條多周期加權(quán)結(jié)構(gòu)3IDT-LCR聲通道

      圖5為利用指條多周期加權(quán)設(shè)計(jì)對(duì)傳統(tǒng)3IDT-LCR聲通道結(jié)構(gòu)改進(jìn)前后的仿真對(duì)比。由圖可見(jiàn),濾波器通帶高端“駝峰”得到有效抑制,40/3矩形系數(shù)下降到2.03。

      圖5 指條多周期加權(quán)與傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的濾波器頻響仿真對(duì)比

      2.2 IDT間引入內(nèi)反射柵設(shè)計(jì)

      盡管指條多周期加權(quán)能有效抑制“駝峰”,但圖5中濾波器高端過(guò)渡帶下降趨勢(shì)明顯比低端過(guò)渡帶緩慢,此問(wèn)題可通過(guò)在左、右IDT與中心IDT之間加入內(nèi)反射柵進(jìn)行改善,如圖6所示。

      圖6 含內(nèi)反射柵的多周期加權(quán)結(jié)構(gòu)3IDT-LCR聲通道

      圖7為兩端各引入9根內(nèi)反射柵前后的多周期加權(quán)3IDT-LCR聲通道結(jié)構(gòu)仿真對(duì)比。由圖可見(jiàn),在引入內(nèi)反射柵后,器件高端過(guò)渡帶下降趨勢(shì)更迅速,濾波器40/3矩形系數(shù)下降到1.48。

      圖7 引入內(nèi)反射柵前后的濾波器頻響仿真對(duì)比

      2.3 聲通道間引入諧振器設(shè)計(jì)

      通過(guò)采用上述聲通道改進(jìn)結(jié)構(gòu)后,器件的高端過(guò)渡帶下半部分仍存在明顯拖尾,導(dǎo)致矩形系數(shù)偏大。針對(duì)信道化組件40/3矩形系數(shù)≤1.4的指標(biāo)要求,為進(jìn)一步降低器件矩形系數(shù),本文在濾波器拓?fù)潆娐返膬蓚€(gè)聲通道間串聯(lián)一個(gè)諧振器,如圖8所示,利用諧振器的導(dǎo)納特性使高端過(guò)渡帶更陡直。

      圖8 雙聲通道間引入諧振器的拓?fù)潆娐方Y(jié)構(gòu)

      圖9為引入諧振器前后的器件通帶頻響特性仿真對(duì)比。由圖可見(jiàn),引入諧振器后的器件高端過(guò)渡帶下端拖尾得到有效改善,40/3矩形系數(shù)達(dá)到1.34。

      圖9 引入諧振器前后的濾波器頻響仿真對(duì)比

      3 器件研制

      本文采用上述改進(jìn)型3IDT-LCR結(jié)構(gòu)研制了一款標(biāo)稱頻率為253.75 MHz的低損耗、小矩形系數(shù)SAW濾波器。濾波器芯片采用42°Y-XLiTaO3壓電基片、Ti-Cu-Ti-Al復(fù)合膜IDT電極,芯片封裝于SMD0505表貼金屬陶瓷管殼中。

      圖10為研制的SAW濾波器頻響特性仿真與實(shí)測(cè)對(duì)比。由圖可見(jiàn),仿真與實(shí)測(cè)結(jié)果具有較好的吻合性。圖11為器件的實(shí)測(cè)頻率響應(yīng)曲線。器件實(shí)測(cè)插入損耗為1.05 dB,低端帶外抑制近80 dB,高端帶外抑制近65 dB,-1 dB帶寬10.5 2MHz,-3 dB帶寬12.54 MHz,-40 dB帶寬16.68 MHz,矩形系數(shù)1.33,達(dá)到信道化接收組件應(yīng)用的性能要求。

      圖10 研制的SAW濾波器仿真與實(shí)測(cè)對(duì)比

      圖11 研制的SAW濾波器實(shí)測(cè)頻率響應(yīng)

      4 結(jié)束語(yǔ)

      本文通過(guò)反射柵及IDT指條多周期加權(quán)、在IDT間引入內(nèi)反射柵、在聲通道間引入諧振器,對(duì)傳統(tǒng)雙聲通道3IDT-LCR低損耗SAW濾波器結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),研制出一款低損耗、小矩形系數(shù)SAW濾波器。改進(jìn)型3IDT-LCR結(jié)構(gòu)可推廣應(yīng)用于其他不同壓電基片材料的低損耗、小矩形系數(shù)濾波器設(shè)計(jì)中。

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