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    緩存區(qū)工位和調(diào)度系統(tǒng)在CMP設(shè)備中的應(yīng)用

    2022-12-30 12:12:06田洪濤王嘉琪劉志偉吳燕林
    電子工業(yè)專用設(shè)備 2022年5期
    關(guān)鍵詞:晶圓研磨機械手

    田洪濤,王嘉琪,劉志偉,吳燕林

    (中國電子科技集團公司第四十五研究所,北京 100176)

    半導(dǎo)體專用設(shè)備主要用于晶體硅、脆硬材料的大批量自動生產(chǎn),半導(dǎo)體專用設(shè)備是工藝性極強的設(shè)備,在CMP設(shè)備中,晶圓先要經(jīng)過研磨工藝單元,然后進入清洗工藝單元,經(jīng)過數(shù)次加工和傳遞后回到卡盒。

    在研磨工藝單元中最多可同時加工4個晶圓,晶圓加工完畢后,需要立即被傳入清洗工藝單元,否則晶圓有長時間未被藥液浸泡而受損的風(fēng)險。

    在清洗工藝單元中,各個工藝工位中晶圓能夠得到藥液的浸泡,是安全的。用來傳遞清洗工藝單元的機械手不具備浸泡晶圓的功能,所以晶圓長時間停留在機械手上也會有受損的風(fēng)險。

    在正常加工過程中,各個工藝單元能夠保證晶圓的安全,但在有模塊出現(xiàn)故障導(dǎo)致無法完成正常傳片流程時,未能保持濕潤狀態(tài)的晶圓將會有長時間暴露在空氣中而受損的風(fēng)險。緩存區(qū)工位可以起到暫存晶圓的作用,將有風(fēng)險的晶圓收納到緩存區(qū)進行浸泡保護。各模組的分布示意如圖1所示。

    圖1 模組流程圖

    1 緩存區(qū)設(shè)計

    緩存區(qū)采用水箱設(shè)計,能夠使晶圓始終浸泡在藥液中保證晶圓的安全。箱體有進液口和排液口,可用來控制緩存區(qū)的液位高低。箱體上方有溢水口,可針對某些特殊工藝實現(xiàn)緩存區(qū)液體不斷循環(huán)的功能。清洗模組的機械手可以到達緩存區(qū),并可在緩存區(qū)進行取放晶圓的操作[1]。

    緩存區(qū)有5個工位,啟用后會一直進行液位控制,使緩存區(qū)中的液位處于保護晶圓的最佳狀態(tài),可以作為臨時存放晶圓的安全工位。緩存區(qū)使用過程中,如果有晶圓需要進入緩存區(qū),會按照從1到5的順序接收晶圓,系統(tǒng)會記錄每一個晶圓先前的加工順序和位置。待機臺故障修復(fù)后,再由緩存區(qū)將晶圓傳輸?shù)较乱粋€工藝工位,進行正常的順序加工。不僅可以保護機臺內(nèi)部晶圓的安全,還可以第一時間恢復(fù)機臺的傳片流程。

    2 緩存區(qū)工作方式

    緩存區(qū)工作啟用分4種情況。

    (1)研磨區(qū)晶圓長時間無法進入清洗區(qū)時啟用緩存區(qū)

    晶圓在研磨區(qū)加工完畢后,需要立即被傳入清洗工藝單元,否則晶圓有長時間未被藥液浸泡而受損的風(fēng)險。該方法會提供一個超時設(shè)定供用戶選擇,當清洗1號工位的晶圓加工完畢后調(diào)度系統(tǒng)便會開始計時,如果該晶圓在清洗1號工位等待被傳輸?shù)?號工位的時間超過設(shè)定值后,機械手會將晶圓從1號工位中取出,放入緩存區(qū)工位,這樣清洗區(qū)域會騰出一個位置供研磨區(qū)的晶圓進入,該種情況最多支持4片晶圓進入緩存區(qū),最大限度保證研磨區(qū)晶圓的安全[2]。

    待后續(xù)工位正常傳片后,機械手再從緩存區(qū)工位將晶圓取出,放入清洗2號工位,依次加工,如圖2所示。

    圖2 超時啟用緩存區(qū)

    (2)清洗區(qū)域有故障時啟用緩存區(qū)

    當清洗區(qū)域工位出現(xiàn)故障,造成傳片流程受阻,此時系統(tǒng)會檢測清洗1號工位是否存在晶圓,如果存在晶圓,則不受用戶設(shè)定時間限制,直接將晶圓傳輸?shù)骄彺鎱^(qū),第一時間為研磨區(qū)的晶圓提供位置,此種情況緩存區(qū)最多支持4片晶圓的放入,保證了研磨區(qū)中所有晶圓的安全。

    待后續(xù)工位解除故障后,機械手再從緩存區(qū)工位將晶圓取出,將緩存區(qū)的晶圓逐一放入清洗2號工位進行加工,如圖3所示。

    圖3 故障啟用緩存區(qū)

    (3)機械手中的晶圓待放入工位有故障時啟用緩存區(qū)

    為了提高整體傳片效率,晶圓在清洗區(qū)域傳遞時,機械手會提前將晶圓從前一個工位中取出,等候在下一個工位上方。如果待放入工位出現(xiàn)故障,導(dǎo)致該晶圓無法正常放入下一個工位,機械手會第一時間將晶圓傳輸?shù)骄彺鎱^(qū),并且系統(tǒng)會記錄該晶圓當前的加工位置。

    待故障修復(fù)后,被傳輸?shù)骄彺鎱^(qū)的晶圓會根據(jù)先前記錄的位置,自動傳輸?shù)较乱粋€工藝工位中進行順序加工,如圖4所示。

    圖4 待放入工位有故障時啟用緩存區(qū)

    (4)外部故障觸發(fā)后啟用緩存區(qū)

    當機臺有外部故障觸發(fā),如:機臺卡盒端的傳輸裝置出現(xiàn)故障,或者操作人員人為的下線某一個模塊,導(dǎo)致機臺內(nèi)部的晶圓也無法被傳回卡盒,此時調(diào)度系統(tǒng)會收到故障消息,清洗1號工位的晶圓將不受時間限制,直接被機械手傳輸?shù)骄彺鎱^(qū),給研磨區(qū)的晶圓讓出位置,最大限度保護所有晶圓的安全。

    待故障修復(fù)后,機械手再從緩存區(qū)工位將晶圓取出,放入清洗2號工位,依次加工,如圖5所示。

    圖5 外部故障啟用緩存區(qū)

    3 進階功能

    為了適用不同的工藝需求,調(diào)度系統(tǒng)還提供了優(yōu)先關(guān)系的功能。用戶可選擇優(yōu)先傳輸緩存區(qū)或優(yōu)先常規(guī)流程兩種方式。當緩存區(qū)和清洗1號工位同時有晶圓待取出,此時系統(tǒng)會根據(jù)用戶事先設(shè)定的優(yōu)先關(guān)系進行調(diào)度。

    如果用戶選擇優(yōu)先緩存區(qū),則此時緩存區(qū)中的晶圓會先被取出進行順序依次加工。清洗1號工位的晶圓需等待2號工位空閑后才會被傳輸?shù)?號工位。

    如果用戶選擇優(yōu)先常規(guī)流程,此時系統(tǒng)會優(yōu)先將清洗1號工位晶圓挪至2號工位進行加工。待2號工位空閑后,緩存區(qū)的晶圓才會被挪至2號工位進行后續(xù)的加工。

    4 結(jié)束語

    通過采用該緩存區(qū)以及合理設(shè)計緩存區(qū)的調(diào)度方法,可以最大限度的解決CMP設(shè)備傳片流程異常時機臺內(nèi)部晶圓的安全問題,保證了晶圓的良品率[3]。同時系統(tǒng)會計算晶圓的加工位置,為快速恢復(fù)常規(guī)流程提供了保障。

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