• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    碳化硅晶體電化學(xué)機(jī)械拋光工藝研究

    2022-08-17 09:44:10吳潤澤安志博金洙吉
    金剛石與磨料磨具工程 2022年4期

    王 磊,吳潤澤,牛 林,安志博,金洙吉

    (大連理工大學(xué), 精密與特種加工教育部重點實驗室, 遼寧 大連 116024)

    第三代半導(dǎo)體材料碳化硅,因其禁帶寬度大、熱導(dǎo)率高、飽和電子遷移率高等諸多優(yōu)點,是高頻、高溫、高效大功率電子元器件的理想材料[1]。但是在SiC BJT、SiC MOSFET等電子器件方面的應(yīng)用上,對碳化硅晶體襯底材料的加工質(zhì)量提出了嚴(yán)格的要求,需要加工出原子級平坦且無損傷的SiC表面[2]。由于碳化硅晶體本身具有高硬度與高穩(wěn)定性的特性,對其拋光困難較大,尤其是材料去除率(material removal rate,MRR)極低,亟須高效拋光碳化硅晶體的方法。

    目前,化學(xué)機(jī)械拋光(chemical mechanical polishing,CMP)廣泛應(yīng)用于碳化硅的拋光加工中,國內(nèi)外學(xué)者從氧化劑、磨粒、催化劑等多角度對碳化硅的CMP做了系統(tǒng)的研究。CHEN等[3-4]使用膠體SiO2為磨粒,研究了不同氧化劑對6H–SiC化學(xué)機(jī)械拋光的影響。采用高錳酸鉀拋光液拋光時,其最大材料去除率為 185 nm/h,Ra為0.25 nm,并研究了基于光助芬頓反應(yīng)對碳化硅晶體CMP工藝的優(yōu)化,通過提高氧化速率和平衡拋光去除速率來提高材料去除率和表面質(zhì)量,得到的材料去除率為92 nm/h,Ra為 0.158 nm。ZHOU等[5]使用Fe納米粒子和Pt/C納米粒子作為催化劑進(jìn)行碳化硅晶體拋光,得到了無表面損傷超光滑的表面,表面粗糙度Ra為0.05 nm。LEE等[6]使用金剛石與膠體二氧化硅混合磨粒對碳化硅晶體進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光,混合磨粒能提高材料去除速率至546.0 nm/h。綜上,使用CMP對碳化硅進(jìn)行拋光,能夠得到優(yōu)異的表面質(zhì)量,但拋光效率極低,材料去除率均在1 μm/h以下。

    近年來,國內(nèi)外有很多學(xué)者提出了使用電化學(xué)機(jī)械拋光(electrochemical mechanical polishing,ECMP)的方法來提高碳化硅的拋光效率。YANG等[7-9]使用CeO2磨粒通過電化學(xué)改性表面后進(jìn)行電化學(xué)機(jī)械拋光,材料去除率dMRR能達(dá)到3.62 μm/h,表面質(zhì)量RMS為0.23 nm。DENG等[10]研究發(fā)現(xiàn),電化學(xué)改性后的陽極氧化大大降低了4H–SiC的表面硬度;使用CeO2磨料拋光,在pH為9.24、CeO2質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2.5%的拋光條件下拋光碳化硅30 min,其表面光滑、無劃痕,粗糙度RMS達(dá)到0.23 nm。與CMP相比,目前ECMP拋光效率有所提高,但仍處于較低水平。

    因此,為進(jìn)一步提高碳化硅晶體ECMP效率而開展試驗研究。其中,電解質(zhì)影響電化學(xué)反應(yīng)中陽極氧化的速率,陽極氧化和拋光之間的平衡是提高拋光效率和碳化硅晶體拋光后表面質(zhì)量的關(guān)鍵。首先,研究碳化硅晶體在NaOH、NaNO3、H3PO43種不同電解液中的氧化效果,并探究電解液濃度對氧化過程的影響;隨后,在氧化鋁磨粒中增加小粒徑金剛石磨粒,對碳化硅進(jìn)行電化學(xué)機(jī)械拋光工藝優(yōu)化試驗;最后,采用優(yōu)選的工藝參數(shù),通過粗、精拋光工藝實現(xiàn)碳化硅晶體高效率、高質(zhì)量拋光。

    1 試驗條件

    1.1 試驗材料與設(shè)備

    試驗用碳化硅晶體是北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司生產(chǎn)的50.8 mm的n–type 4H–SiC,并將其切成1 cm2正方形片?;瘜W(xué)試劑為天津市科密歐化學(xué)試劑有限公司生產(chǎn)的NaOH、NaNO3、H3PO4溶液。拋光試驗使用鄭州中南杰特超硬材料有限公司生產(chǎn)的金剛石拋光粉,浙江義烏理協(xié)儀器設(shè)備有限公司生產(chǎn)的氧化鋁拋光粉;選用聚氨酯材質(zhì)的拋光墊,并在其表面劃槽打孔。

    試驗使用的電化學(xué)工作站是普林斯頓PARSTAT 3000A,測試池為天津艾達(dá)恒晟科技發(fā)展有限公司的F30型平板電解腐蝕池。拋光過程使用的是沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的UNIPOL–1200S型拋光機(jī)和自制的拋光盤及附件,電化學(xué)機(jī)械拋光裝置如圖1所示。

    圖1 電化學(xué)機(jī)械拋光裝置Fig.1 Electrochemical mechanical polishing device

    1.2 試驗方法

    為保證樣件在電化學(xué)氧化初始階段陽極表面狀態(tài)相同,且排除表面原始氧化層和污染等對試驗的干擾,試驗前使用 6.50,2.60,1.60 μm的金剛石砂紙進(jìn)行研磨,再使用0.05 μm金剛石拋光液和絲絨拋光布對其拋光,然后使用去離子水超聲清洗10 min,再用無水乙醇超聲清洗10 min后,使用無紡布擦干表面待用。

    碳化硅晶體的電化學(xué)氧化試驗采用三電極系統(tǒng),SiC晶片作為工作陽極,對電極為鉑片,參比電極為3.5 mol/L KCL Ag/AgCl(室溫下,標(biāo)準(zhǔn)電極電勢為+0.204 6 V),分別對NaOH、NaNO3、H3PO43種電解質(zhì)溶液進(jìn)行電化學(xué)氧化效果測試。試驗中由電化學(xué)工作站提供6 V恒電位,改性時間為 600 s,選擇出合適的電解質(zhì)。為確定合理電解質(zhì)濃度,使用選出的電解質(zhì)分別配制 0.2,0.4,0.6,0.8 mol/L 4種不同濃度的電解液,測試其動電位極化曲線,測試掃描電壓范圍為-2~+6 V,掃描速率為0.5 mV/s。

    與CMP類似,ECMP是利用電化學(xué)改性作用在碳化硅表面生成硬度低于基體的氧化層,使得氧化鋁等低于碳化硅基體硬度的磨料能夠?qū)崿F(xiàn)對碳化硅表面的拋光。電化學(xué)氧化碳化硅晶體的反應(yīng)方程式如式(1)和式(2)[11]。

    酸性、中性電解液中陽極反應(yīng):

    堿性電解液中陽極反應(yīng):

    LEE等[6]的研究顯示,在碳化硅CMP過程中,增加硬度高于碳化硅基體的金剛石磨粒,可以起到應(yīng)力源的作用,促進(jìn)碳化硅表面氧化改性層的產(chǎn)生。其中,金剛石莫氏硬度為10 HM,碳化硅莫氏硬度為9.5 HM,氧化鋁莫氏硬度為9 HM,氧化硅的莫氏硬度為7 HM。因此,本研究采用金剛石–氧化鋁混合磨粒,拋光液中金剛石與氧化鋁磨粒的質(zhì)量分?jǐn)?shù)各占4%。圖2所示為混合磨粒作用下的碳化硅晶體電化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)理。

    圖2 混合磨粒拋光SiC示意圖Fig.2 Mechanism of polishing silicon carbide with mixed abrasive particles

    拋光液流速為150 mL/h,電解液選用0.6 mol/L的NaNO3溶液。采用4因素4水平正交試驗的方法探究電壓、載荷、轉(zhuǎn)速、磨粒粒徑對拋光后的表面粗糙度Sa和材料去除率dMRR的影響。其中,4組組合磨料分別是金剛石粒徑和氧化鋁粒徑分別為0.25 μm和0.50 μm的Ⅰ、1.00 μm和1.50 μm的Ⅱ、1.50 μm和2.50 μm的Ⅲ、5.00 μm和7.00 μm的Ⅳ。SiC表面粗糙度使用3D表面光學(xué)輪廓儀(zygo NewView 9000)檢測。為檢測材料去除率,需在拋光前使用聚焦離子束(FIB,Helios G4 UX)在工件表面刻蝕方形孔槽,使用3D表面光學(xué)輪廓儀測量拋光前后孔槽深度變化得出材料去除率。正交試驗參數(shù)表如表1,正交試驗設(shè)計表如表2。

    表1 正交試驗參數(shù)表Tab.1 Orthogonal experiment parameter table

    表2 正交試驗設(shè)計表Tab.2 Orthogonal experiment design table

    2 試驗結(jié)果與分析

    2.1 表面氧化程度與電解質(zhì)選擇

    使用3種不同的電解液開展碳化硅的電化學(xué)氧化試驗。氧化前后的表面形貌與元素百分比如圖3所示。與未氧化碳化硅晶體表面形貌相比:在NaOH電解液中,有零星小范圍區(qū)域發(fā)生氧化(圖中深色區(qū)域);使用NaNO3電解液和H3PO4電解液氧化后,表面各處均發(fā)生氧化,整個表面由于被氧化物覆蓋后導(dǎo)電性變?nèi)醭尸F(xiàn)較深顏色。結(jié)合X射線能譜儀(EDS)分析,碳化硅在NaOH電解液中氧化后,其表面含氧量升高為28.32%,但遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于使用NaNO3電解液和H3PO4電解液后的含氧量51.62%和51.14%,進(jìn)一步說明了使用NaNO3和H3PO4電解液氧化效果優(yōu)于NaOH電解液。

    圖3 不同電解液中陽極氧化后的碳化硅表面形貌與元素成分Fig.3 Surface morphology and elemental composition of silicon carbide after anodization in different electrolytes

    對碳化硅晶體電化學(xué)氧化前后的表面做XPS譜圖檢測(Si 2p),分析氧化前后的成分變化,其結(jié)果如圖4所示。從圖4中可以看出:氧化前工件表面的化學(xué)鍵僅有Si-C鍵(圖4a),證明前處理工藝已完全去除表面可能存在的原始氧化層和污染物等。Si-C鍵穩(wěn)定性高,使表面具有較高硬度。經(jīng)過電化學(xué)氧化后,Si-C鍵可氧化為Si-O鍵,使得碳化硅表面硬度變軟[12]。通過分峰擬合,可以得到在NaOH電解液中,表面只有部分的Si-C鍵轉(zhuǎn)化為Si-O鍵,仍有大量Si-C鍵未被氧化(圖4b),氧化效果不佳。因此,NaOH不適宜作為電化學(xué)機(jī)械拋光的電解液使用。而在NaNO3和H3PO4電解液中,表面已檢測不出Si-C鍵(圖4c、圖4d),證明表面的碳化硅幾乎全部轉(zhuǎn)化為硅氧化合物,這2種電解液都能獲得理想氧化效果??紤]到拋光過程需要使用到氧化鋁磨粒,H3PO4可能與氧化鋁反應(yīng)導(dǎo)致磨粒失效[13],所以最終選擇NaNO3作為電化學(xué)機(jī)械拋光過程的電解質(zhì)。

    圖4 不同電解液氧化后SiC的XPS分析Fig.4 XPS analysis of SiC modified with different electrolytes

    使用不同濃度的NaNO3電解液進(jìn)行動電位極化,其極化曲線如圖5所示。從圖5中可以看出:碳化硅在0.6 mol/L的NaNO3電解液中的開路電位明顯低于其他3種濃度的。開路電位低,碳化硅在電解液中的活潑程度高,極化曲線表明碳化硅在0.6 mol/L的NaNO3電解液中更容易氧化[14]。在高電位下,0.6 mol/L的NaNO3對應(yīng)極化曲線的電流密度J也最大。根據(jù)法拉第定律,電流密度與陽極氧化反應(yīng)的速率正相關(guān)[15],所以選擇0.6 mol/L的NaNO3作為拋光過程中的電解液,用于碳化硅的氧化以加快拋光速率。

    圖5 碳化硅在不同濃度NaNO3電解液中的極化曲線Fig.5 Polarization curves of silicon carbide in different concentrations of NaNO3 electrolyte

    2.2 碳化硅電化學(xué)機(jī)械拋光工藝

    通過正交試驗結(jié)果的方差分析,得出電壓、載荷、轉(zhuǎn)速、磨粒粒徑對材料去除率和表面粗糙度的影響占比,如圖6所示。從圖6可以看出:對拋光過程材料去除率影響最大的因素是磨粒粒徑(64.09%),其次是轉(zhuǎn)速(15.01%)和載荷(12.90%),電壓影響最?。?.00%);對拋光后的表面粗糙度影響最大的因素是磨粒粒徑(58.37%),其次是電壓(18.03%)和轉(zhuǎn)速(15.28%),載荷的影響最?。?.32%)。

    圖6 各因素對材料去除率與表面粗糙度的影響占比Fig.6 Influence ratio of each factor on the material removal rate and surface roughness

    粗拋階段在提高材料去除率的前提下,如果能兼顧表面質(zhì)量則可為后續(xù)精密拋光工序節(jié)約時間成本。因此,采用綜合評分法對正交試驗的材料去除率和表面粗糙度2個指標(biāo)進(jìn)行分析,綜合評分結(jié)果如表3所示。2個試驗指標(biāo)的滿分都按100分計:材料去除率dMRR為1.000 μm/h以下計0分,19.000 μm/h以上計100分;表面粗糙度Sa為0.500 nm以下計100分,4.000 nm以上計0分;中間結(jié)果評分按差值計算。

    表3 綜合評分結(jié)果Tab.3 Comprehensive scoring results

    采用線性加權(quán)法將2個試驗指標(biāo)的得分Y1,Y2綜合為Y,令

    其中:α1和α2分別為Y1,Y2的加權(quán)系數(shù),且α1,α2∈[0,1],α1+α2= 1。

    粗拋階段側(cè)重于材料去除率,α1取0.8,α2取0.2。表4為粗拋階段極差分析結(jié)果,由綜合評分情況和表4知:最優(yōu)試驗參數(shù)組合是電壓為10 V、載荷為30 N、轉(zhuǎn)速為40 r/min、 金剛石粒徑為5 μm、氧化鋁粒徑為7 μm。使用此參數(shù)進(jìn)行電化學(xué)機(jī)械粗拋光試驗,拋光時間為20 min,試驗前后碳化硅表面形貌變化見圖7。

    表4 粗拋階段極差分析結(jié)果Tab.4 Range analysis results during rough polishing

    圖7 碳化硅晶體表面電化學(xué)機(jī)械粗拋光結(jié)果Fig.7 Electrochemical mechanical rough polishing result of SiC surface

    通過方形孔槽深度的變化計算材料去除率dMRR=ΔL/t= 20.259 μm/h,與現(xiàn)有報道的拋光方法相比,其材料去除率有顯著提高,碳化硅表面由研磨工藝引入的裂紋等脆性損傷被快速去除,粗拋光后表面僅存在較淺劃痕和少量凹坑,表面粗糙度Sa由84.364 nm下降至1.977 nm。

    精拋階段不以提高材料去除率為優(yōu)選參數(shù)的目標(biāo),僅以提高表面質(zhì)量為目標(biāo)進(jìn)行參數(shù)優(yōu)選,α1取0.1,α2取0.9,表5為精拋階段極差分析結(jié)果。根據(jù)綜合評分及表5知:最優(yōu)試驗參數(shù)組合是電壓為5 V、載荷為30 N、轉(zhuǎn)速為50 r/min、1.0 μm的金剛石和1.5 μm的氧化鋁混合磨粒。使用此最優(yōu)試驗參數(shù)組合對粗拋后的碳化硅晶體進(jìn)行電化學(xué)機(jī)械精密拋光30 min后,得到碳化硅晶體表面輪廓,見圖8。由圖8知:粗拋光后剩余的劃痕和凹坑被去除,表面粗糙度為Sa= 0.408 nm。

    表5 精拋階段極差分析結(jié)果Tab.5 Range analysis results during precision polishing

    圖8 碳化硅晶體表面電化學(xué)機(jī)械精拋光結(jié)果Fig.8 Electrochemical mechanical precision finishing result of SiC surface

    3 結(jié)論

    通過氧化效果的比較試驗選擇了適用于碳化硅晶體電化學(xué)機(jī)械拋光的電解液成分為NaNO3,濃度為0.6 mol/L。通過工藝試驗優(yōu)選了使用金剛石–氧化鋁混合磨粒電化學(xué)機(jī)械拋光工藝參數(shù),最后經(jīng)過粗、精2步拋光工藝,實現(xiàn)了碳化硅高效率高質(zhì)量拋光。結(jié)果如下:

    (1)使用0.6 mol/L的NaNO3電解液,可以獲得較高的氧化效果。

    (2)粗拋階段采用電壓為10 V、載荷為30 N、轉(zhuǎn)速為40 r/min、 金剛石粒徑為5.0 μm、氧化鋁粒徑為7.0 μm的工藝參數(shù)可以獲得20.259 μm/h的材料去除率,同時表面粗糙度Sa由84.364 nm下降至1.977 nm。

    (3)精拋階段采用電壓為5 V、載荷為30 N、轉(zhuǎn)速為50 r/min、金剛石粒徑為1.0 μm、氧化鋁粒徑為1.5 μm的工藝參數(shù)可以在拋光30 min獲得表面粗糙度Sa為0.408 nm的光滑表面。

    免费在线观看完整版高清| 日韩av在线免费看完整版不卡| 欧美bdsm另类| 一级毛片 在线播放| av一本久久久久| 热re99久久国产66热| 热99国产精品久久久久久7| 亚洲精品中文字幕在线视频| 欧美成人精品欧美一级黄| 啦啦啦啦在线视频资源| 91成人精品电影| 国产在视频线精品| 国产精品久久久久久av不卡| www日本在线高清视频| 91精品国产国语对白视频| 黄色视频在线播放观看不卡| 内地一区二区视频在线| 久久久久精品人妻al黑| 只有这里有精品99| 各种免费的搞黄视频| 天堂8中文在线网| 欧美人与性动交α欧美软件 | 91午夜精品亚洲一区二区三区| 99热国产这里只有精品6| 精品一区二区免费观看| 午夜免费鲁丝| 狂野欧美激情性bbbbbb| 久久久a久久爽久久v久久| 久久精品国产亚洲av涩爱| 日本-黄色视频高清免费观看| 日本av免费视频播放| 亚洲一级一片aⅴ在线观看| 日本av手机在线免费观看| 亚洲国产色片| 国产成人精品一,二区| 日本黄色日本黄色录像| 男女边摸边吃奶| 99热网站在线观看| 99热国产这里只有精品6| 亚洲精品国产色婷婷电影| 日韩欧美精品免费久久| 99热这里只有是精品在线观看| videos熟女内射| 国产探花极品一区二区| 日韩av在线免费看完整版不卡| 菩萨蛮人人尽说江南好唐韦庄| 免费av中文字幕在线| 最后的刺客免费高清国语| 国产69精品久久久久777片| 三上悠亚av全集在线观看| 97在线人人人人妻| 热99久久久久精品小说推荐| 免费av不卡在线播放| 大香蕉久久成人网| 日本猛色少妇xxxxx猛交久久| 久久综合国产亚洲精品| videossex国产| 99热这里只有是精品在线观看| 精品一区二区三卡| 两个人免费观看高清视频| 赤兔流量卡办理| 成人午夜精彩视频在线观看| 久久精品国产亚洲av涩爱| 亚洲,欧美,日韩| 国产av一区二区精品久久| 巨乳人妻的诱惑在线观看| 国产xxxxx性猛交| h视频一区二区三区| 欧美97在线视频| 欧美成人午夜免费资源| 老熟女久久久| 国产高清三级在线| 在线观看一区二区三区激情| 成年动漫av网址| 亚洲精华国产精华液的使用体验| 18+在线观看网站| 插逼视频在线观看| 精品一区二区免费观看| 久久精品久久精品一区二区三区| 丰满饥渴人妻一区二区三| 久久国产精品男人的天堂亚洲 | 久久免费观看电影| 国产欧美日韩综合在线一区二区| 国产亚洲最大av| 亚洲四区av| 极品少妇高潮喷水抽搐| 中文字幕另类日韩欧美亚洲嫩草| av福利片在线| 午夜福利视频精品| 国产爽快片一区二区三区| 18禁国产床啪视频网站| 最近最新中文字幕大全免费视频 | 插逼视频在线观看| 久久99一区二区三区| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 大香蕉久久成人网| 国产黄频视频在线观看| 日本与韩国留学比较| 久久精品国产自在天天线| 亚洲国产av新网站| 五月玫瑰六月丁香| 日韩av免费高清视频| 黑人欧美特级aaaaaa片| 日韩制服骚丝袜av| 国产成人免费观看mmmm| 国产男女内射视频| 最近中文字幕高清免费大全6| 天堂中文最新版在线下载| 国产视频首页在线观看| 天堂8中文在线网| 免费av中文字幕在线| 精品久久久精品久久久| 巨乳人妻的诱惑在线观看| 色婷婷久久久亚洲欧美| 黄网站色视频无遮挡免费观看| 亚洲国产毛片av蜜桃av| 另类亚洲欧美激情| 天天操日日干夜夜撸| 一区二区av电影网| 亚洲情色 制服丝袜| 黄色毛片三级朝国网站| 亚洲av在线观看美女高潮| 亚洲成av片中文字幕在线观看 | 狂野欧美激情性bbbbbb| 免费看av在线观看网站| av在线老鸭窝| 黄色一级大片看看| 国产精品无大码| 欧美人与性动交α欧美精品济南到 | 三级国产精品片| 亚洲欧美色中文字幕在线| 免费av不卡在线播放| 两性夫妻黄色片 | 18禁在线无遮挡免费观看视频| 亚洲国产精品国产精品| 国产伦理片在线播放av一区| 中文字幕另类日韩欧美亚洲嫩草| 免费高清在线观看视频在线观看| 777米奇影视久久| 国产精品熟女久久久久浪| 免费黄网站久久成人精品| 久久婷婷青草| 亚洲中文av在线| 最新的欧美精品一区二区| 极品人妻少妇av视频| 天堂8中文在线网| 日韩 亚洲 欧美在线| 精品亚洲成国产av| 亚洲性久久影院| 在线天堂中文资源库| 亚洲国产av新网站| 国产成人a∨麻豆精品| 国产无遮挡羞羞视频在线观看| 亚洲国产毛片av蜜桃av| 国产成人一区二区在线| 99国产综合亚洲精品| 在线看a的网站| 国产麻豆69| 91在线精品国自产拍蜜月| 国产精品99久久99久久久不卡 | 男女边吃奶边做爰视频| 午夜老司机福利剧场| 女的被弄到高潮叫床怎么办| 国产精品人妻久久久久久| 久久久久久久久久久久大奶| 我的女老师完整版在线观看| videossex国产| 中文字幕制服av| 亚洲精华国产精华液的使用体验| 成人亚洲欧美一区二区av| 亚洲av欧美aⅴ国产| 亚洲少妇的诱惑av| 男人舔女人的私密视频| 亚洲丝袜综合中文字幕| 欧美最新免费一区二区三区| 国产精品一国产av| www.熟女人妻精品国产 | 亚洲第一av免费看| 成年人免费黄色播放视频| 亚洲精品自拍成人| 日韩中文字幕视频在线看片| 美女福利国产在线| 晚上一个人看的免费电影| 熟女av电影| 欧美亚洲 丝袜 人妻 在线| 国产激情久久老熟女| 春色校园在线视频观看| 国产在线一区二区三区精| 看免费成人av毛片| 中文欧美无线码| 亚洲国产精品一区三区| 侵犯人妻中文字幕一二三四区| 成年女人在线观看亚洲视频| 大陆偷拍与自拍| 国产国拍精品亚洲av在线观看| 蜜桃国产av成人99| 纵有疾风起免费观看全集完整版| 日韩成人av中文字幕在线观看| 免费黄网站久久成人精品| 满18在线观看网站| 91精品国产国语对白视频| 国产淫语在线视频| 99热网站在线观看| 女人被躁到高潮嗷嗷叫费观| 亚洲第一区二区三区不卡| 一级毛片电影观看| 高清毛片免费看| 在线天堂最新版资源| 日日撸夜夜添| 国产精品嫩草影院av在线观看| 亚洲国产看品久久| 高清黄色对白视频在线免费看| 亚洲av.av天堂| 啦啦啦中文免费视频观看日本| av女优亚洲男人天堂| 免费黄网站久久成人精品| 岛国毛片在线播放| 日本色播在线视频| 久久影院123| 亚洲精品日本国产第一区| 丝瓜视频免费看黄片| 在线精品无人区一区二区三| 国产一区二区三区av在线| 亚洲欧洲精品一区二区精品久久久 | 国产乱来视频区| 国产成人午夜福利电影在线观看| 免费高清在线观看视频在线观看| 久久综合国产亚洲精品| 成人午夜精彩视频在线观看| 亚洲精品色激情综合| 亚洲精品456在线播放app| 男女免费视频国产| 精品久久久精品久久久| 女性生殖器流出的白浆| 人人妻人人添人人爽欧美一区卜| 成年女人在线观看亚洲视频| 日韩大片免费观看网站| 国产精品久久久久久精品电影小说| 久久久国产欧美日韩av| 亚洲美女视频黄频| 欧美丝袜亚洲另类| 大话2 男鬼变身卡| 午夜老司机福利剧场| 亚洲av在线观看美女高潮| 狠狠婷婷综合久久久久久88av| 久久影院123| a级毛色黄片| 精品人妻熟女毛片av久久网站| 国产欧美另类精品又又久久亚洲欧美| 老熟女久久久| 中文字幕人妻熟女乱码| a 毛片基地| 色94色欧美一区二区| 国产男女内射视频| 久久久精品区二区三区| 不卡视频在线观看欧美| 大码成人一级视频| 国产成人aa在线观看| www.av在线官网国产| av又黄又爽大尺度在线免费看| 国产精品久久久久久精品电影小说| 国产xxxxx性猛交| 国产黄频视频在线观看| av卡一久久| 亚洲欧美色中文字幕在线| 在现免费观看毛片| 国产深夜福利视频在线观看| 十八禁网站网址无遮挡| 欧美日韩精品成人综合77777| 咕卡用的链子| 男人添女人高潮全过程视频| 亚洲精品aⅴ在线观看| 伦理电影免费视频| 亚洲四区av| 人妻 亚洲 视频| 国产精品偷伦视频观看了| 校园人妻丝袜中文字幕| 欧美 日韩 精品 国产| 亚洲av电影在线进入| 在线观看三级黄色| 亚洲精品成人av观看孕妇| 人人妻人人爽人人添夜夜欢视频| 五月伊人婷婷丁香| 精品少妇内射三级| 国产高清三级在线| 亚洲欧美精品自产自拍| 欧美精品国产亚洲| 国产黄色视频一区二区在线观看| 国产不卡av网站在线观看| 成人手机av| 看免费av毛片| 性色av一级| 免费看光身美女| 色婷婷av一区二区三区视频| 久久国内精品自在自线图片| 国产成人精品一,二区| a级毛片在线看网站| 人人妻人人添人人爽欧美一区卜| 久久久久久久大尺度免费视频| 国产熟女欧美一区二区| 久久久久久伊人网av| 亚洲欧美中文字幕日韩二区| 亚洲丝袜综合中文字幕| 日韩av在线免费看完整版不卡| 天堂8中文在线网| 国产精品久久久久久精品古装| 国产精品国产av在线观看| 91aial.com中文字幕在线观看| 中文天堂在线官网| 国产精品一区二区在线不卡| 美女视频免费永久观看网站| 久久久久久久久久久免费av| 七月丁香在线播放| 国内精品宾馆在线| 久久久欧美国产精品| 一区在线观看完整版| 王馨瑶露胸无遮挡在线观看| 国产又爽黄色视频| 免费观看在线日韩| 国产视频首页在线观看| 韩国高清视频一区二区三区| av有码第一页| 18禁裸乳无遮挡动漫免费视频| 午夜福利视频精品| 成人影院久久| 久久人人爽人人片av| 18禁国产床啪视频网站| 91aial.com中文字幕在线观看| 成人漫画全彩无遮挡| 午夜福利视频在线观看免费| av在线观看视频网站免费| 在线观看免费高清a一片| 久久毛片免费看一区二区三区| 人人妻人人澡人人看| 夜夜骑夜夜射夜夜干| 99国产精品免费福利视频| 69精品国产乱码久久久| av国产久精品久网站免费入址| 国产免费又黄又爽又色| 熟女电影av网| 国产白丝娇喘喷水9色精品| av免费在线看不卡| 99久国产av精品国产电影| 日韩 亚洲 欧美在线| 黄色 视频免费看| av女优亚洲男人天堂| 亚洲国产精品一区三区| av在线观看视频网站免费| 久久毛片免费看一区二区三区| 久热久热在线精品观看| 2021少妇久久久久久久久久久| 久久久久国产精品人妻一区二区| 午夜免费观看性视频| 只有这里有精品99| 一二三四中文在线观看免费高清| 丝袜喷水一区| 日产精品乱码卡一卡2卡三| 日日摸夜夜添夜夜爱| 国产精品麻豆人妻色哟哟久久| 91午夜精品亚洲一区二区三区| 校园人妻丝袜中文字幕| 精品亚洲成a人片在线观看| 纵有疾风起免费观看全集完整版| 免费大片18禁| 久久久a久久爽久久v久久| 蜜臀久久99精品久久宅男| 91精品国产国语对白视频| 亚洲国产看品久久| 美女脱内裤让男人舔精品视频| 一级毛片电影观看| 久久久久久人妻| 日本免费在线观看一区| 亚洲av电影在线观看一区二区三区| 久久久久久人妻| 男女下面插进去视频免费观看 | 99热全是精品| 免费大片黄手机在线观看| 久久久久视频综合| 秋霞在线观看毛片| 90打野战视频偷拍视频| 一级毛片 在线播放| 国产日韩欧美视频二区| 少妇高潮的动态图| 久久精品久久久久久噜噜老黄| 人妻少妇偷人精品九色| 亚洲在久久综合| 国产一区二区在线观看日韩| 亚洲高清免费不卡视频| 午夜视频国产福利| 亚洲欧洲国产日韩| 少妇人妻精品综合一区二区| 日韩熟女老妇一区二区性免费视频| 国产国拍精品亚洲av在线观看| 国产无遮挡羞羞视频在线观看| 插逼视频在线观看| av天堂久久9| av黄色大香蕉| 男女啪啪激烈高潮av片| 国产1区2区3区精品| 成人综合一区亚洲| 免费观看a级毛片全部| 亚洲欧美中文字幕日韩二区| 国产成人精品在线电影| 一级毛片电影观看| 亚洲美女搞黄在线观看| 这个男人来自地球电影免费观看 | 日本-黄色视频高清免费观看| 亚洲色图综合在线观看| 男人添女人高潮全过程视频| 哪个播放器可以免费观看大片| 国内精品宾馆在线| 熟女av电影| xxx大片免费视频| 丝袜在线中文字幕| 在线看a的网站| 亚洲精品av麻豆狂野| 久久久精品免费免费高清| 久久精品久久久久久噜噜老黄| 国产 精品1| 久久国产精品大桥未久av| 欧美性感艳星| 久久久国产欧美日韩av| 日本色播在线视频| 午夜激情av网站| 久久久久国产网址| 亚洲欧洲日产国产| 精品亚洲成a人片在线观看| 免费观看a级毛片全部| 久久青草综合色| 少妇精品久久久久久久| 99香蕉大伊视频| 色婷婷久久久亚洲欧美| 色94色欧美一区二区| 青春草亚洲视频在线观看| 欧美精品高潮呻吟av久久| 国产极品天堂在线| 国产在视频线精品| 人妻一区二区av| 各种免费的搞黄视频| 在线观看www视频免费| 熟女电影av网| 免费大片18禁| 日韩一区二区视频免费看| 色婷婷av一区二区三区视频| 蜜桃国产av成人99| 久久久久久久久久久久大奶| 性色avwww在线观看| 亚洲国产日韩一区二区| 丰满乱子伦码专区| 欧美亚洲 丝袜 人妻 在线| 黄色怎么调成土黄色| 高清毛片免费看| 精品熟女少妇av免费看| 成人18禁高潮啪啪吃奶动态图| 国产淫语在线视频| 99热网站在线观看| 黄色 视频免费看| 日韩av不卡免费在线播放| 欧美人与性动交α欧美软件 | 欧美精品av麻豆av| 久久国产精品男人的天堂亚洲 | 在线观看www视频免费| 日韩av不卡免费在线播放| 国产亚洲精品久久久com| 成年人免费黄色播放视频| av天堂久久9| 国产一区有黄有色的免费视频| 亚洲美女视频黄频| 丰满饥渴人妻一区二区三| 国产在线一区二区三区精| 国产精品 国内视频| 春色校园在线视频观看| 女人久久www免费人成看片| 欧美精品av麻豆av| 美女中出高潮动态图| 国产精品秋霞免费鲁丝片| 一级黄片播放器| 免费女性裸体啪啪无遮挡网站| 黄色毛片三级朝国网站| 亚洲成av片中文字幕在线观看 | 亚洲美女黄色视频免费看| 国产精品久久久久久精品电影小说| 免费av不卡在线播放| 国产免费视频播放在线视频| 一本一本久久a久久精品综合妖精 国产伦在线观看视频一区 | 国产男女超爽视频在线观看| 天美传媒精品一区二区| 亚洲精品一二三| 99久久中文字幕三级久久日本| av线在线观看网站| 亚洲熟女精品中文字幕| 国产精品一二三区在线看| 人成视频在线观看免费观看| 一本大道久久a久久精品| 欧美最新免费一区二区三区| 亚洲精品av麻豆狂野| 久久久久精品人妻al黑| 综合色丁香网| 国产又色又爽无遮挡免| 九色成人免费人妻av| tube8黄色片| 女人精品久久久久毛片| 自线自在国产av| 美女大奶头黄色视频| av在线播放精品| 亚洲欧美色中文字幕在线| 汤姆久久久久久久影院中文字幕| 国产av国产精品国产| 极品少妇高潮喷水抽搐| 人成视频在线观看免费观看| 观看美女的网站| 老熟女久久久| 一级片免费观看大全| 黄色怎么调成土黄色| 亚洲少妇的诱惑av| 男的添女的下面高潮视频| 综合色丁香网| av在线app专区| 最新的欧美精品一区二区| 中文字幕av电影在线播放| 精品人妻一区二区三区麻豆| 国产永久视频网站| 免费大片18禁| 久久人人爽人人片av| 久久av网站| 日韩精品有码人妻一区| 在现免费观看毛片| 少妇的逼水好多| 日本wwww免费看| 丝袜脚勾引网站| 国产不卡av网站在线观看| 五月伊人婷婷丁香| 国产在视频线精品| 18禁国产床啪视频网站| 国产国语露脸激情在线看| 丰满少妇做爰视频| 国产精品国产av在线观看| 日韩精品有码人妻一区| 国产老妇伦熟女老妇高清| 久久久精品免费免费高清| 国产国语露脸激情在线看| 亚洲欧美中文字幕日韩二区| 在线天堂最新版资源| 久久精品国产综合久久久 | 狂野欧美激情性xxxx在线观看| 国产日韩欧美在线精品| 成人国语在线视频| tube8黄色片| 十分钟在线观看高清视频www| 十八禁高潮呻吟视频| 亚洲国产精品专区欧美| 99久久人妻综合| 日韩制服骚丝袜av| 晚上一个人看的免费电影| 精品国产乱码久久久久久小说| 欧美xxxx性猛交bbbb| 成人毛片60女人毛片免费| 国产成人aa在线观看| 亚洲一区二区三区欧美精品| 欧美精品亚洲一区二区| 婷婷色麻豆天堂久久| 午夜激情av网站| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 最近2019中文字幕mv第一页| 美女大奶头黄色视频| 亚洲五月色婷婷综合| 国产精品国产三级专区第一集| 国产 精品1| 亚洲精品日韩在线中文字幕| 欧美xxxx性猛交bbbb| 丝袜人妻中文字幕| 妹子高潮喷水视频| a级毛片在线看网站| a级毛片黄视频| 男女边摸边吃奶| 国产精品一二三区在线看| 国产 一区精品| 狠狠精品人妻久久久久久综合| 国产一区二区三区av在线| 999精品在线视频| 日本午夜av视频| 美女视频免费永久观看网站| 免费在线观看黄色视频的| 亚洲图色成人| 18禁裸乳无遮挡动漫免费视频| 国产成人精品一,二区| 日本猛色少妇xxxxx猛交久久| 巨乳人妻的诱惑在线观看| 国产男人的电影天堂91| 一区二区日韩欧美中文字幕 | 亚洲精品成人av观看孕妇| 母亲3免费完整高清在线观看 | 欧美国产精品va在线观看不卡| av网站免费在线观看视频| 一级黄片播放器| 成人黄色视频免费在线看| 欧美 日韩 精品 国产| 精品一区二区三区四区五区乱码 | 成人二区视频| 视频区图区小说| 高清在线视频一区二区三区| 久久久久视频综合| 一区二区日韩欧美中文字幕 | 在线观看www视频免费| 日韩伦理黄色片| 亚洲国产精品国产精品| 日韩三级伦理在线观看| 久久精品aⅴ一区二区三区四区 | 国产 一区精品| 丝瓜视频免费看黄片| 国产精品人妻久久久影院| 80岁老熟妇乱子伦牲交| 亚洲情色 制服丝袜| 在线精品无人区一区二区三| 嫩草影院入口|