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    熒光內(nèi)鏡G/R比值濾光片的研制

    2022-06-21 07:11:10楊振華郝天宇
    中國新技術(shù)新產(chǎn)品 2022年5期
    關(guān)鍵詞:雙帶通帶濾光片

    曹 軼 楊振華 郝天宇 田 丹 關(guān) 旭

    (沈陽沈大內(nèi)窺鏡有限公司,遼寧 沈陽 110000)

    0 引言

    自體熒光是生物組織在吸收特定激發(fā)光時產(chǎn)生了能級躍遷后自然發(fā)射的光,也被用于區(qū)分源自人工添加的熒光標記(熒光團)。醫(yī)學研究發(fā)現(xiàn),人體組織內(nèi)含有特定的熒光基團,經(jīng)一定波長的光線照射后該熒光基團可發(fā)射出色彩鮮艷的熒光。由于病變組織和正常組織的生物化學結(jié)構(gòu)存在差異,因此二者所含的熒光基團不同,導致激發(fā)出的熒光呈現(xiàn)不同顏色。熒光內(nèi)鏡是一種應(yīng)用固有熒光光譜技術(shù)進入腔內(nèi)診斷的新型診斷設(shè)備,其可根據(jù)人體組織自體熒光光譜特征自動識別、診斷并立即提示被測組織是否為正常組織,可鑒別被測組織的良惡性病變,提高早期癌和異型增生的診斷率。該文通過光學薄膜技術(shù),設(shè)計了可在一片濾光片上實現(xiàn)雙通道(紅/綠)接收特定發(fā)射熒光光譜的濾光膜,用以隔離激發(fā)光和熒光鄰域干擾光譜,接收生物組織產(chǎn)生的紅色和綠色熒光峰。該文采用電子束蒸發(fā)方式制備濾光膜,簡化了光學結(jié)構(gòu),可同時采集紅/綠信號比值,且兩種信號隔離度高,通過兩組熒光信號強弱對比可區(qū)分正常和病變組織的性質(zhì)。

    1 熒光內(nèi)鏡工作原理

    熒光內(nèi)鏡是在普通白光內(nèi)窺鏡的基礎(chǔ)上增加紫色激發(fā)光,兩路光纖傳導,并利用細胞自發(fā)性熒光和電腦圖像分析技術(shù)開發(fā)的一種新型內(nèi)鏡,其工作光譜為400nm~900nm。除了能提供人體組織表層的圖像外,熒光內(nèi)鏡還能同時實現(xiàn)表層以下組織的熒光顯影,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。組織細胞在受到特定波長的光線照射時會產(chǎn)生自體熒光,發(fā)生病變的組織發(fā)出的自體熒光與正常組織不同,因此可根據(jù)正常和異常黏膜組織熒光的不同而發(fā)現(xiàn)黏膜病變。進行熒光內(nèi)鏡檢查時,可使用熒光比值成像技術(shù)采集熒光,基于雙通道濾光片的對比度特性,由影像傳感器同時捕捉綠色(530nm~570nm)和紅色(610nm~660nm)熒光圖像,計算兩個圖像對應(yīng)各點的熒光強度比值,并將其轉(zhuǎn)換為以相應(yīng)顏色顯示的自體熒光圖像信息,正常組織會產(chǎn)生極弱的紅色熒光和很強的綠色熒光。

    2 濾光片設(shè)計

    2.1 基片和膜料選擇

    由于石英玻璃具有耐溫性高、光學透射比優(yōu)良以及自發(fā)熒光弱等特性,因此基片選用石英玻璃??紤]到雙帶通濾光片的膜系層數(shù)較多,所以選用了折射率較高的五氧化二鉭(TaO)作為高折射率材料,該材料具有穩(wěn)定的折射率和化學性質(zhì),以及較好的機械牢固度。低折射率材料選用與高折射率材料應(yīng)力匹配極為優(yōu)良的二氧化硅(SiO)材料。其中TaO材料特性:密度為8.7g/cm,熔點為1800℃,在真空下蒸發(fā)溫度為2100℃,λ=0.55μm,基板溫度T=250℃時,折射率n=2.16。二氧化硅材料特性:密度為2.1g/cm,熔點為1700℃,在真空下蒸發(fā)溫度為1600℃,λ=0.55μm,T=250℃時,n=1.45。

    圖1 熒光內(nèi)鏡結(jié)構(gòu)示意圖

    2.2 膜系設(shè)計

    雙帶通濾光膜可在特定波長范圍內(nèi),使光學元件表面通過介質(zhì)膜層透過兩組特定通帶能量,同時抑制其余波段輸出。帶有雙帶通濾光膜產(chǎn)品的基片兩面共有兩種不同的膜系,一面是由多個諧振腔組成的雙通道帶通膜系,另一面是寬帶截止膜系。其儀器應(yīng)用要求為通帶內(nèi)具有高透射性,兩個通帶信號隔離度高(交叉背景OD6以上),400nm~1000nm通帶外鄰域截止背景>OD5。

    雙帶通或多帶通膜系設(shè)計是以Fabry-Perot模型為基礎(chǔ),通過調(diào)整間隔層系數(shù)、耦合層系數(shù)和反射層(HL)數(shù)目,模擬通帶帶寬、通帶數(shù)量和通帶間距,在中心波長和臨近波段顯現(xiàn)兩個或兩個以上透射峰,再經(jīng)過合理、對稱地搭配高、低折射率材料,調(diào)整等效折射率,便可在兩個中心波長處顯現(xiàn)兩個透射帶。該設(shè)計借鑒了Smith雙帶通膜系算法和多通帶循環(huán)嵌套膜系。模擬了(HLHLHL aH LHLHLH bL′)^n和(HLHLHL cHdLeH LHLHLH L′)^n兩種膜系結(jié)構(gòu),其中H為高折射率材料,L為低折射率材料,a、b、c、d、e和n代表對應(yīng)系數(shù)。

    光譜設(shè)計參數(shù)要求為通帶1中心波長550nm,通帶范圍540nm~565nm;通帶2中心波長630nm,通帶范圍620nm~650nm。通帶平均透過率>92%,兩通帶間隔50nm,交叉背景>OD6。通過設(shè)計軟件對兩種結(jié)構(gòu)膜系進行了系數(shù)試算模擬匹配中心波長和帶寬,確定基礎(chǔ)膜系為(HLHL2HLHLH 1.5L′)^9。運用軟件Needle和Optimac優(yōu)化算法交替計算,設(shè)置單層最大厚度合并薄層。優(yōu)化帶寬和通帶波紋后,主膜系層數(shù)為94層,對光譜透過率曲線和截止背景的設(shè)計如圖2和圖3所示。

    該文結(jié)合主膜通帶外截止范圍(圖3),采用長波通(0.5HL0.5H)+短波通(0.5LH0.5L)濾光膜系疊加組合(H、L分別為高、低折射率材料),截止400nm~1000nm通帶外鄰域波長,并應(yīng)用Macleod膜系軟件優(yōu)化透射帶(530nm~670nm)波紋,計算后如圖4所示,寬帶截止膜共85層。

    在基片正反面分別疊加雙通道主膜系和寬帶截止膜,得到理論設(shè)計光譜參數(shù):紅/綠雙通道濾光片帶內(nèi)平均透射率>97%、兩通道交叉截止背景>OD6、光譜(400nm~1000nm)通帶外截止背景>OD5,如圖5所示。

    2.3 鍍制工藝

    該文采用的鍍制設(shè)備為光池OTFC1300真空鍍膜機,并配置JEOL雙電子槍和RF射頻離子源,24穴坩堝和環(huán)形坩堝,由XTC3膜厚晶控儀和背反射光控系統(tǒng)精確控制沉積速率和膜層厚度。離子輔助的作用是在鍍前清潔基片表面,提高膜基結(jié)合力;在鍍制過程中增加沉積原子的動能,提升致密度。工藝參數(shù)見表1。

    圖2 雙通主膜透過率

    圖3 雙通主膜截止率

    圖4 寬帶截止輔助膜透過率

    圖5 雙面產(chǎn)品設(shè)計透過率

    該試驗主要解決對雙帶通主膜非周期膜厚的控制,解決步驟如下:①應(yīng)用膜系軟件Reverse Engineer工程反演模塊,導入試驗光譜和設(shè)計光譜,算得各層厚度誤差百分比。②分析系統(tǒng)誤差,得出誤差從前到后的遞增步進值,將整個膜系分成前后三部分以相似誤差值修正光控Tooling(工具因子)系數(shù)。根據(jù)鍍制文件各層速率控制精度變化值,提前在程序設(shè)定換晶振片序號。③由于膜層較厚,低折射率材料需要使用三遍,利用石英環(huán)(熔融成型)減少隨機誤差。石英環(huán)比顆粒材料(SiO)能更有效地改善蒸發(fā)均勻性、一致性和成膜表面節(jié)瘤缺陷。高折射率材料24穴坩鍋在蒸發(fā)時需要重復使用兩遍,下料要深,并分兩次加料預(yù)熔,第一遍加料預(yù)熔放在另一機臺,兩套坩堝交替使用。

    表1 鍍膜工藝參數(shù)

    3 測試結(jié)果

    3.1 光譜測試結(jié)果

    濾光片樣片在經(jīng)過安捷倫-Cary7000光譜儀測試后得到的透過率和截止背景光譜曲線如圖6和圖7所示:紅(620nm~650nm)/綠(540nm~565nm)雙通道濾光片帶內(nèi)平均透射率>93%、兩通道交叉截止背景>OD6、光譜(400nm~1000nm)通帶外截止背景>OD5。測試結(jié)果可以滿足熒光內(nèi)鏡成像要求。

    3.2 環(huán)境試驗和機械強度測試

    按照濾光片環(huán)境適應(yīng)性和醫(yī)用光學元件檢測國標要求,進行了以下三項檢測。1)高、低溫測試:將將鍍膜件樣品放入高、低溫箱中,鍍膜件在-60℃和70℃的溫度中各保持2h,再放置到23℃室溫下,膜層未出現(xiàn)脫膜現(xiàn)象。2)濕度測試:在室溫下,該鍍膜件經(jīng)弱堿水浸泡24 h,未出現(xiàn)脫膜、裂紋等現(xiàn)象。3)牢固度測試:將3M膠帶在膜層表面粘牢,從邊緣朝內(nèi)以垂直方向迅速將膠帶拉起,膜層無脫落、裂紋等損傷。

    圖6 透過率測試曲線

    圖7 光密度測試曲線

    檢測結(jié)果:上述測試完成后,光譜曲線漂移量小于1nm,可知膜層牢固度能滿足使用要求。

    4 結(jié)論

    該文根據(jù)熒光內(nèi)鏡成像G/R比值算法和光路系統(tǒng)需求,設(shè)計了雙帶通濾光膜系。該雙通道產(chǎn)品簡化了光路結(jié)構(gòu),和以往的兩片單通道產(chǎn)品切換使用相比,其可在一片濾光片上透過兩個特定波段的光,因此可同時采集熒光能量進行數(shù)據(jù)比對,檢測速度提升一倍以上。且在檢測穩(wěn)定性和一致性上,雙通道產(chǎn)品也比單通道產(chǎn)品更有優(yōu)勢。該文還利用膜系軟件Reverse Engineer反向工程模塊修正了光控Tooling工具因子系數(shù)和膜層誤差,使該雙通道產(chǎn)品具有高透過率和高對比度,從白光圖切換到熒光圖時不需調(diào)節(jié)焦距(在寬光譜范圍內(nèi)矯正相差),對被測組織的檢測靈敏度高、特異性強,檢出率比常規(guī)的檢測方法高4~5倍,可大幅度提高熒光內(nèi)鏡對早期癌的檢測率。而對于批量加工的工藝重復性、透過率的提升和生產(chǎn)設(shè)備傘具上的里、外圈時的帶寬一致性問題還需要進一步研究。

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