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    用于納米級表面形貌測量的光學(xué)顯微測頭

    2022-05-25 07:28:00李強(qiáng)任冬梅蘭一兵李華豐萬宇
    計測技術(shù) 2022年2期
    關(guān)鍵詞:測量機(jī)物鏡分辨力

    李強(qiáng),任冬梅,蘭一兵,李華豐,萬宇

    (航空工業(yè)北京長城計量測試技術(shù)研究所計量與校準(zhǔn)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,北京 100095)

    0 引言

    隨著超精密加工技術(shù)的發(fā)展和各種微納結(jié)構(gòu)的廣泛應(yīng)用,納米三坐標(biāo)測量機(jī)等精密測量儀器受到了重點(diǎn)關(guān)注。國內(nèi)外一些研究機(jī)構(gòu)研究開發(fā)了納米測量機(jī),并開展微納結(jié)構(gòu)測量[1-4]。作為一個高精度開放型測量平臺,納米測量機(jī)可以兼容各種不同原理的接觸式測頭和非接觸式測頭[5-6]。測頭作為納米測量機(jī)的核心部件之一,在實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)的高精度測量中發(fā)揮著重要作用。原子力顯微鏡等高分辨力測頭的出現(xiàn),使得納米測量機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)的高精度測量[7-8],但由于其測量速度較慢,對測量環(huán)境要求很高,不適用于大范圍快速測量。而光學(xué)測頭從原理上可以提高掃描測量速度,同時作為一種非接觸式測頭,還可以避免損傷樣品表面,因此,在微納米表面形貌測量中有其獨(dú)特優(yōu)勢。在光學(xué)測頭研制中,激光聚焦法受到國內(nèi)外研究者的青睞,德國SIOS 公司生產(chǎn)的納米測量機(jī)就包含一種基于光學(xué)像散原理的激光聚焦式光學(xué)測頭,國內(nèi)也有一些大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)開展了此方面的研究[9-11]。這些測頭主要基于像散和差動光斑尺寸變化檢測原理進(jìn)行離焦檢測[12-13]。在CD和DVD播放器系統(tǒng)中常用的激光全息單元已應(yīng)用于微位移測量[14-15],其在納米測量機(jī)光學(xué)測頭的研制中也具有較好的實(shí)用價值。針對納米級表面形貌的測量需求,本文研制了一種基于激光全息單元的高分辨力光學(xué)顯微測頭,應(yīng)用于自主研制的納米三維測量機(jī),可實(shí)現(xiàn)被測樣品的快速瞄準(zhǔn)和測量。

    1 激光全息單元的工作原理

    激光全息單元是由半導(dǎo)體激光器(LD)、全息光學(xué)元件(HOE)、光電探測器(PD)和信號處理電路集成的一個元件,最早應(yīng)用于CD 和DVD 播放器系統(tǒng)中,用來讀取光盤信息并實(shí)時檢測光盤的焦點(diǎn)誤差,其工作原理如圖1 所示。LD 發(fā)出激光束,在出射光窗口處有一個透明塑料部件,其內(nèi)表面為直線條紋光柵,外表面為曲線條紋全息光柵,兩組光柵相互交叉,外表面光柵用于產(chǎn)生焦點(diǎn)誤差信號。LD 發(fā)出的激光束在光盤表面反射回來后,經(jīng)全息光柵產(chǎn)生的±1 級衍射光,分別回到兩組光電探測器P1~P5 和P2~P10 上。當(dāng)光盤上下移動時,左右兩組光電探測器上光斑面積變化相反,根據(jù)這種現(xiàn)象產(chǎn)生焦點(diǎn)誤差信號。這種測量方式稱為差動光斑尺寸變化探測,焦點(diǎn)誤差信號可以表示為

    圖1 激光全息單元Fig.1 Laser hologram unit

    式中:P2,P3,P4,P7,P8,P9為光電探測器接收的信號。

    根據(jù)焦點(diǎn)誤差信號,即可判斷光盤離焦量。

    根據(jù)上述原理,本文設(shè)計了高分辨力光學(xué)顯微測頭的激光全息測量系統(tǒng)。

    2 光學(xué)顯微測頭設(shè)計與實(shí)現(xiàn)

    光學(xué)顯微測頭由激光全息測量系統(tǒng)和光學(xué)顯微成像系統(tǒng)兩部分組成,前者用于實(shí)現(xiàn)被測樣品微小位移的測量,后者用于對測量過程進(jìn)行監(jiān)測,以實(shí)現(xiàn)被測樣品表面結(jié)構(gòu)的非接觸瞄準(zhǔn)與測量。

    2.1 激光全息測量系統(tǒng)設(shè)計

    光學(xué)顯微測頭的光學(xué)系統(tǒng)如圖2 所示,其中,激光全息測量系統(tǒng)由激光全息單元、透鏡1、分光鏡1和顯微物鏡組成。測量時,由激光全息單元中的半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光束經(jīng)過透鏡1變?yōu)槠叫泄馐?,該光束被分光鏡1反射后,通過顯微物鏡匯聚在被測件表面。從被測件表面反射回來的光束反向通過顯微物鏡,一小部分光透過分光鏡1用于觀察,大部分光被分光鏡1 反射,通過透鏡1,匯聚到激光全息單元上,被全息單元內(nèi)部集成的光電探測器接收。這樣,就將被測樣品表面瞄準(zhǔn)點(diǎn)的位置信息轉(zhuǎn)換為電信號。在光學(xué)顯微測頭設(shè)計中選用的激光全息單元為松下HUL7001,激光波長為790 nm。

    圖2 光學(xué)顯微測頭光學(xué)系統(tǒng)示意圖Fig.2 Diagram of optical system of optical microscope probe

    當(dāng)被測樣品表面位于光學(xué)顯微測頭的聚焦面時,反射光沿原路返回激光全息單元,全息單元內(nèi)兩組光電探測器接收到的光斑尺寸相等,焦點(diǎn)誤差信號為零。當(dāng)樣品表面偏離顯微物鏡聚焦面時,由樣品表面反射回來的光束傳播路徑會發(fā)生變化,進(jìn)入激光全息單元的反射光在兩組光電探測器上的分布隨之發(fā)生變化,引起激光全息單元焦點(diǎn)誤差信號的變化。當(dāng)被測樣品在顯微物鏡焦點(diǎn)以內(nèi)時,焦點(diǎn)誤差信號小于零,而當(dāng)被測樣品在顯微物鏡焦點(diǎn)以外時,焦點(diǎn)誤差信號大于零。因此,利用在聚焦面附近激光全息單元輸出電壓與樣品位移量的單調(diào)對應(yīng)關(guān)系,通過測量激光全息單元的輸出電壓,即可求得樣品的位移量。

    2.2 顯微物鏡參數(shù)的選擇

    在激光全息測量系統(tǒng)中,顯微物鏡是一個重要的光學(xué)元件,其光學(xué)參數(shù)直接關(guān)系著光學(xué)顯微測頭的分辨力。首先,顯微物鏡的焦距直接影響測頭縱向分辨力,在激光全息單元、透鏡1和顯微物鏡之間的位置關(guān)系保持不變的情況下,對于同樣的樣品位移量,顯微物鏡的焦距越小,樣品上被測點(diǎn)經(jīng)過顯微物鏡和透鏡1 所成像的位移越大,所引起激光全息單元中光電探測器的輸出信號變化量也越大,即測量系統(tǒng)縱向分辨力越高。另外,顯微物鏡的數(shù)值孔徑對測頭的分辨力也有影響,在光波長一定的情況下,顯微物鏡的數(shù)值孔徑越大,其景深越小,測頭縱向分辨力越高。同時,顯微物鏡數(shù)值孔徑越大,激光束會聚的光斑越小,系統(tǒng)橫向分辨力也越高。綜合考慮測頭分辨力和工作距離等因素,在光學(xué)顯微測頭設(shè)計中選用大恒光電GCO-2133 長工作距物鏡,其放大倍數(shù)為40,數(shù)值孔徑為0.6,工作距離為3.33 mm。

    2.3 定焦顯微測頭的實(shí)現(xiàn)

    除激光全息測量系統(tǒng)外,光學(xué)顯微測頭還包括一個光學(xué)顯微成像系統(tǒng),該系統(tǒng)由光源、顯微物鏡、透鏡2、透鏡3、分光鏡1、分光鏡2 和CCD相機(jī)組成。光源將被測樣品表面均勻照明,被測樣品通過顯微物鏡、分光鏡1、透鏡2 和分光鏡2,成像在CCD 相機(jī)接收面上。為了避免光源發(fā)熱對測量系統(tǒng)的影響,采用光纖傳輸光束將照明光引入顯微成像系統(tǒng)。通過CCD 相機(jī)不僅可以觀察到被測樣品表面的形貌,而且也可以觀察到來自激光全息單元的光束在樣品表面的聚焦情況。

    根據(jù)圖2所示原理,通過光學(xué)元件選購、機(jī)械加工和信號放大電路設(shè)計,制作了光學(xué)顯微測頭,如圖3所示。從結(jié)構(gòu)上看,該測頭具有體積小、集成度高的優(yōu)點(diǎn)。將該測頭安裝在納米測量機(jī)上,編制相應(yīng)的測量軟件,可用于被測樣品的快速瞄準(zhǔn)和高分辨力非接觸測量。

    圖3 光學(xué)顯微測頭結(jié)構(gòu)Fig.3 Structure of optical microscope probe

    3 測量實(shí)驗(yàn)與結(jié)果分析

    為了檢驗(yàn)光學(xué)顯微測頭的功能,將該測頭安裝在納米三維測量機(jī)上,使顯微物鏡的光軸沿測量機(jī)的Z軸方向,對其輸出信號的電壓與被測樣品的離焦量之間的關(guān)系進(jìn)行了標(biāo)定,并用其對臺階高度樣板和一維線間隔樣板進(jìn)行了測量[16]。所用納米三維測量機(jī)在25 mm×25 mm×5 mm的測量范圍內(nèi),空間分辨力可達(dá)0.1 nm。實(shí)驗(yàn)在(20±0.5)℃的控溫實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行。

    3.1 測頭輸出電壓與位移關(guān)系的建立

    為了獲得光學(xué)顯微測頭的輸出電壓與被測表面位移(離焦量)的關(guān)系,將被測樣板放置在納米三維測量機(jī)的工作臺上,用精密位移臺帶動被測樣板沿測量光軸方向移動,通過納米測量機(jī)采集位移數(shù)據(jù),同時記錄測頭輸出電壓信號。圖4所示為被測樣板在測頭聚焦面附近由遠(yuǎn)及近朝測頭方向移動時測頭輸出電壓與樣品位移的關(guān)系。

    圖4 測頭電壓與位移的關(guān)系Fig.4 Relationship between probe voltage and displacement

    由圖4可以看出,光學(xué)顯微測頭的輸出電壓與被測樣品位移的關(guān)系呈S 形曲線,與第1 節(jié)中所述的通過差動光斑尺寸變化測量離焦量的原理相吻合。當(dāng)被測樣板遠(yuǎn)離光學(xué)顯微測頭的聚焦面時,電壓信號近似常數(shù)。當(dāng)被測樣板接近測頭的聚焦面時,電壓開始增大,到達(dá)最大值后逐漸減??;當(dāng)樣板經(jīng)過測頭聚焦面時,電壓經(jīng)過初始電壓值,可認(rèn)為是測量的零點(diǎn);當(dāng)樣品繼續(xù)移動離開聚焦面時,電壓繼續(xù)減小,到達(dá)最小值時,電壓又逐漸增大,回到穩(wěn)定值。在電壓的峰谷值之間,曲線上有一段線性較好的區(qū)域,在測量中選擇這段區(qū)域作為測頭的工作區(qū),對這段曲線進(jìn)行擬合,可以得到測頭電壓與樣板位移的關(guān)系。在圖4中所示的3 μm工作區(qū)內(nèi),電壓與位移的關(guān)系為

    式中:U為激光全息單元輸出電壓;?d為偏離聚焦面的距離。

    3.2 臺階高度測量試驗(yàn)

    在對光學(xué)顯微測頭的電壓-位移關(guān)系進(jìn)行標(biāo)定后,用安裝光學(xué)顯微測頭的納米三維測量機(jī)對臺階高度樣板進(jìn)行了測量。

    在測量過程中,將一塊硅基SHS-1 μm 臺階高度樣板放置在納米三維測量機(jī)的工作臺上,首先調(diào)整樣板位置,通過CCD 圖像觀察樣板,使被測臺階的邊緣垂直于工作臺的X軸移動方向,樣板表面位于光學(xué)顯微測頭的聚焦面,此時測量光束匯聚在被測樣板表面,如圖5所示。然后,用工作臺帶動樣板沿X方向移動,使測量光束掃過樣板上的臺階,同時記錄光學(xué)顯微測頭的輸出信號。最后,對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,計算臺階高度。

    圖5 被測樣板表面圖像Fig.5 Image of the specimen surface

    臺階高度樣板的測量結(jié)果如圖6所示,根據(jù)檢定規(guī)程[17]對測量結(jié)果進(jìn)行處理,得到被測樣板的臺階高度為1.005 μm。與此樣板的校準(zhǔn)結(jié)果1.012 μm 相比,測量結(jié)果符合性較好,其微小偏差反映了由測量時溫度變化、干涉儀非線性和樣板不均勻等因素引入的測量誤差。

    圖6 臺階樣板測量結(jié)果Fig.6 Measurement result of step height specimen

    3.3 一維線間隔測量試驗(yàn)

    在測量一維線間隔樣板的過程中,將一塊硅基LPS-2 μm 一維線間隔樣板放置在納米測量機(jī)的工作臺上,使測量線沿X軸方向,樣板表面位于光學(xué)顯微測頭的聚焦面。然后,用工作臺帶動樣板沿X方向移動,使測量光束掃過線間隔樣板上的刻線,同時記錄納米測量機(jī)的位移測量結(jié)果和光學(xué)顯微測頭的輸出信號。最后,對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,測量結(jié)果如圖7所示。

    圖7 一維線間隔測量結(jié)果Fig.7 Measurement result of one-dimensional line interval

    根據(jù)檢定規(guī)程[17]對一維線間隔測量結(jié)果進(jìn)行處理,得到被測樣板的刻線間距為2.004 μm,與此樣板的校準(zhǔn)結(jié)果2.002 μm相比,一致性較好。

    3.4 分析與討論

    由光學(xué)顯微測頭輸出電壓與被測表面位移關(guān)系標(biāo)定實(shí)驗(yàn)的結(jié)果可以看出:利用在測頭聚焦面附近測頭輸出電壓與樣品位移量的單調(diào)對應(yīng)關(guān)系,通過測量測頭的輸出電壓變化,即可求得樣品的位移量。在圖4 所示曲線中,取電壓-位移曲線上測頭聚焦面附近的3 μm 位移范圍作為工作區(qū),對應(yīng)的電壓變化范圍約為0.628 V。根據(jù)對電壓測量分辨力和噪聲影響的分析,在有效量程內(nèi)測頭的分辨力可以達(dá)到納米量級。

    臺階高度樣板和一維線間隔樣板測量實(shí)驗(yàn)的結(jié)果表明:光學(xué)顯微測頭可以應(yīng)用于納米三維測量機(jī),實(shí)現(xiàn)微納米表面形貌樣板的快速定位和微小位移測量。通過用納米測量機(jī)的激光干涉儀對光學(xué)顯微測頭的位移進(jìn)行校準(zhǔn),可將測頭的位移測量結(jié)果溯源到穩(wěn)頻激光的波長。實(shí)驗(yàn)過程也證明:光學(xué)顯微測頭具有掃描速度快、測量分辨力高和抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),適用于納米表面形貌的非接觸測量。

    4 結(jié)論

    本文介紹了一種用于納米級表面形貌測量的高分辨力光學(xué)顯微測頭。在測頭設(shè)計中,采用激光全息單元作為位移測量系統(tǒng)的主要元件,根據(jù)差動光斑尺寸變化原理實(shí)現(xiàn)微位移測量,結(jié)合光學(xué)顯微系統(tǒng),形成了結(jié)構(gòu)緊湊、集測量和觀察功能于一體的高分辨力光學(xué)顯微測頭。將該測頭安裝在納米三維測量機(jī)上,對臺階高度樣板和一維線間隔樣板進(jìn)行了測量實(shí)驗(yàn),結(jié)果表明:該光學(xué)顯微測頭可實(shí)現(xiàn)預(yù)期的測量功能,位移測量分辨力可達(dá)到納米量級。下一步將通過多種微納米樣板測量實(shí)驗(yàn),進(jìn)一步考察和完善測頭的結(jié)構(gòu)和性能,使其更好地適合納米三維測量機(jī),應(yīng)用于微納結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)的非接觸測量。

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