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    集成電路廠房潔凈室暖通設(shè)計研究

    2022-03-17 23:49:44崔增燕
    科海故事博覽 2022年16期
    關(guān)鍵詞:潔凈室凈化系統(tǒng)新風(fēng)

    崔增燕

    (北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司,北京 100163)

    近年來,集成電路行業(yè)迅速崛起的同時,工藝方面進(jìn)一步呈現(xiàn)飛躍式的發(fā)展態(tài)勢,在此過程中,對于生產(chǎn)環(huán)境及其他配套設(shè)施的要求越來越嚴(yán)苛,且唯有這些方面都達(dá)標(biāo)后,才能夠?qū)ιa(chǎn)質(zhì)量的提升、效率的提升等發(fā)揮有力的促進(jìn)作用。為此,集成電路廠房潔凈室暖通設(shè)計環(huán)節(jié),不可有一絲馬虎,需要集中相應(yīng)的資源,實(shí)施切實(shí)性的關(guān)注及管控工作,促使暖通設(shè)計的合理性、科學(xué)性提升后,暖通設(shè)計成果才能夠獲得理想化的成果。

    1 凈化空調(diào)系統(tǒng)

    目前,凈化空調(diào)主要有以下三種形式:

    第一,二次回風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)用環(huán)節(jié),促使室內(nèi)回風(fēng)與新風(fēng)混合后,進(jìn)一步經(jīng)過過濾、加濕等工序功效作用的發(fā)揮,得以與二次回風(fēng)混合應(yīng)用,再次經(jīng)再熱、風(fēng)機(jī)加壓等一系列工序,回風(fēng)得以通過風(fēng)口送至室內(nèi)后,才能夠確保室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境的達(dá)標(biāo),使生產(chǎn)過程順利有序地開展。實(shí)際應(yīng)用過程中,該系統(tǒng)一般設(shè)計為定風(fēng)量,通過風(fēng)機(jī)變頻控制所發(fā)揮的效力作用,過濾器的阻力影響度才能夠得以減少。而針對室內(nèi)溫度的控制,主要通過室內(nèi)相對濕度傳感器調(diào)節(jié)作用,進(jìn)而促使室內(nèi)濕度條件滿足實(shí)際所需。夏季的應(yīng)用,主要是通過電動控制閥控制冷水盤管的方式實(shí)現(xiàn),而冬季主要通過電動調(diào)節(jié)閥控制熱水盤管的方式實(shí)現(xiàn),獲得有利的濕度條件后,生產(chǎn)過程才能夠有序開展。同時,濕度管控環(huán)節(jié)主要是通過室內(nèi)濕度傳感器系統(tǒng)所發(fā)揮的效力作用予以實(shí)現(xiàn)及獲得,濕度達(dá)標(biāo)后,才能夠避免電離子等對于集成電路帶來的創(chuàng)傷。實(shí)際應(yīng)用過程中,該系統(tǒng)控制過程極為便捷,可用于室內(nèi)排風(fēng)量確定的潔凈室,而針對面積較大、工藝排風(fēng)不穩(wěn)定的廠房,回風(fēng)系統(tǒng)往往難以有效布置,因此,極少應(yīng)用[1]。

    第二,新風(fēng)機(jī)組加循環(huán)空調(diào)器的應(yīng)用,同步性較為常見。實(shí)際應(yīng)用過程中,新風(fēng)獨(dú)立處理,新風(fēng)機(jī)組設(shè)于新空調(diào)機(jī)房內(nèi),同時,新風(fēng)通過加熱、加濕、冷卻等工序效力作用的發(fā)揮,送至各循環(huán)空調(diào)器,而新風(fēng)與室內(nèi)回風(fēng),進(jìn)一步在循環(huán)空調(diào)器中經(jīng)冷卻、加壓等一系列工序后,由高效送風(fēng)口送至室內(nèi)后,才能夠滿足室內(nèi)生產(chǎn)所需。該系統(tǒng)通常設(shè)計為變風(fēng)量,通過室內(nèi)壓差傳感器所發(fā)揮的效力作用,室內(nèi)壓力才能夠達(dá)到實(shí)際所需,進(jìn)一步通過室內(nèi)微粒傳感器的應(yīng)用,室內(nèi)潔凈度才能夠達(dá)到理想的目標(biāo)。同時,室內(nèi)相對濕度控制過程中,是通過濕度傳感器所發(fā)揮的助力作用得以實(shí)現(xiàn),而溫度控制過程主要通過溫度傳感器的應(yīng)用而實(shí)現(xiàn)。該系統(tǒng)應(yīng)用過程中,實(shí)際控制精度相對較高,一般常用于面積較小的測試廠房內(nèi)。同時,實(shí)際應(yīng)用過程中,伴隨凈化級別的提升,送風(fēng)管需要同步升級后,才能夠滿足實(shí)際所需。因此,一般環(huán)境及振動要求較高的廠房很少采用此系統(tǒng)[2]。

    第三,新風(fēng)機(jī)組加風(fēng)機(jī)過濾單元及干冷系統(tǒng)應(yīng)用中,新風(fēng)得以獨(dú)立處理,同時,新風(fēng)機(jī)組設(shè)立于新風(fēng)空調(diào)機(jī)房內(nèi),新風(fēng)通過過濾器、加熱、加濕等工序所發(fā)揮的支持作用,進(jìn)一步經(jīng)回風(fēng)夾道混合后,通過內(nèi)置于吊頂上的風(fēng)機(jī)過濾單元送至室內(nèi),才能夠?qū)κ覂?nèi)潔凈環(huán)境的達(dá)標(biāo)發(fā)揮極大的促進(jìn)作用。該系統(tǒng)常設(shè)計為變風(fēng)量,通過室內(nèi)空壓傳感器控制新風(fēng)機(jī)變頻器的應(yīng)用,室內(nèi)壓力才能夠得到有力的管控,通過室內(nèi)微粒傳感器控制FFU 變頻器的應(yīng)用,室內(nèi)潔凈度才能夠得到有力的管控。同時,該系統(tǒng)控制精度較高,系統(tǒng)靈活性較高,特別適用于工藝布局不斷變化的生產(chǎn)線,所用的空調(diào)系統(tǒng)需要具有較大的上、下技術(shù)夾層,才能夠適用于實(shí)際所需,因此,此種系統(tǒng)往往應(yīng)用于凈化級別高的廠房,且在相適宜的環(huán)境中才能夠發(fā)揮出應(yīng)有的效果[3]。

    2 集成電路生產(chǎn)廠房中新風(fēng)機(jī)組加風(fēng)機(jī)過濾單元及干冷卻盤管系統(tǒng)的應(yīng)用

    集成電路廠房生產(chǎn)過程,往往對于潔凈度及溫濕度的要求極高,因此,需結(jié)合各方面的資源,實(shí)施有力的管控舉措,進(jìn)一步通過新風(fēng)機(jī)組加風(fēng)機(jī)過濾單元及干冷卻盤管系統(tǒng)所發(fā)揮的效力作用,才能夠獲得所需的潔凈度及溫濕度條件,進(jìn)而才能夠?yàn)樯a(chǎn)過程的順利開展創(chuàng)造優(yōu)越的環(huán)境資源。同時,為了獲得適宜性的環(huán)境、條件,需要重點(diǎn)關(guān)注以下環(huán)節(jié):

    第一,在新風(fēng)空調(diào)器內(nèi)通過化學(xué)過濾器的應(yīng)用,能夠起到有效去除室外空氣雜質(zhì)的作用,同時,配合中效過濾器的應(yīng)用,將對于可能產(chǎn)生的顆粒起到有力的管控作用。此外,實(shí)際應(yīng)用過程中,通過噴淋純水的所發(fā)揮的效力作用,既能夠起到加濕的作用,又能夠?qū)τ谑彝饪諝庵械碾s質(zhì)氣體起到有效洗滌的作用。

    第二,通過新風(fēng)機(jī)組內(nèi)表冷及加熱環(huán)節(jié)相應(yīng)效力作用的發(fā)揮,新風(fēng)出口的溫度及濕度才能夠維持在基本恒定狀態(tài)。同時,機(jī)組出口露點(diǎn)溫度根據(jù)送風(fēng)區(qū)域相對濕度的變化,獲得重新調(diào)整后,室內(nèi)相對濕度才能夠達(dá)到實(shí)際所需。此外,實(shí)際應(yīng)用過程中,通過露點(diǎn)溫度發(fā)揮的管控作用,控制表冷器或加熱器后,才能夠獲得有效的濕度控制[4]。

    第三,干盤管的應(yīng)用,主要用于消除室內(nèi)的熱負(fù)荷,根據(jù)潔凈室內(nèi)的溫度要求,通過相應(yīng)調(diào)控措施的力量,才能夠確保室內(nèi)精確溫度的獲得。同時,需減少各區(qū)域氣流交叉,溫度管控的精確度才能夠得到提升。此外,還要控制室內(nèi)溫度精度和DCC 空氣側(cè)阻力等因素的影響,確保DCC 的冷凍水溫度高于室內(nèi)漏點(diǎn)溫度,控制斷面風(fēng)速時,才能夠促使室內(nèi)溫度達(dá)標(biāo)[5]。

    第四,光刻、顯影等區(qū)域通常對于AMC 較為敏感,因此,通過在這些區(qū)域設(shè)置化學(xué)過濾器的方式,能夠促使這些區(qū)域得到應(yīng)有的保護(hù),進(jìn)而避免失效異常的產(chǎn)生。

    第五,集成電路生產(chǎn)廠房往往對于生產(chǎn)環(huán)境的可靠性要求較高,因此,空調(diào)設(shè)備必須準(zhǔn)備齊全,以作備用。

    第六,技術(shù)準(zhǔn)備工作尤為關(guān)鍵。為此,相關(guān)人員需要根據(jù)施工圖紙?jiān)O(shè)計要求,做好施工場地的考察及研究工作,進(jìn)一步找出有利因素及不利因素,并采取相應(yīng)的預(yù)防措施,促使管線、風(fēng)道口設(shè)置、部分交叉匯集處等得到有力管控,人、機(jī)、料等都需準(zhǔn)備齊全,技術(shù)的應(yīng)用環(huán)節(jié)才能夠得以順利開展。

    第七,暖通施工過程常常會面臨與其他項(xiàng)目交叉作業(yè)的情形。為此,設(shè)計環(huán)節(jié)必須考慮這些因素的影響,促使各個系統(tǒng)之間互相聯(lián)系,才能夠達(dá)到實(shí)際施工所需,同時,避免相互沖突的情形出現(xiàn),施工過程才能得以順利開展及實(shí)施。

    第八,項(xiàng)目建設(shè)前,施工現(xiàn)場的調(diào)查研究工作尤為重要,必須切實(shí)地關(guān)注,進(jìn)一步結(jié)合暖通施工要求,做好施工組織引導(dǎo)工作,才能夠?qū)εㄔO(shè)計方案的有效落實(shí)、施工質(zhì)量的提升起到有力的促進(jìn)作用。

    3 潔凈室排煙系統(tǒng)

    通常,針對潔凈廠房疏散走廊區(qū)域,根據(jù)相關(guān)規(guī)范的要求,需設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng),而針對大面積的潔凈室則未有相應(yīng)強(qiáng)制性的要求。然而,集成電路產(chǎn)品價值較高,一旦發(fā)生火災(zāi),其產(chǎn)生的影響將是巨大的,為了有效地防控此方面隱患的發(fā)生,各集成電路企業(yè)需通過投保的方式來達(dá)到減少風(fēng)險的目的。在此過程中,各保險商均強(qiáng)制要求這些企業(yè)必須通過設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)的方式,進(jìn)而達(dá)到有效排煙、減少損失的目的?,F(xiàn)下集成電路廠房的排煙方式主要有以下幾種:

    第一,上排煙系統(tǒng)應(yīng)用過程中,一旦火災(zāi)發(fā)生時,通過打開排煙口,開啟排煙風(fēng)機(jī)的舉措,可以實(shí)現(xiàn)有效排煙的應(yīng)用,同時,新風(fēng)機(jī)組繼續(xù)運(yùn)行,通過回風(fēng)夾道進(jìn)行補(bǔ)風(fēng)。然而,此種方式的不足之處是火勢較小時,容易導(dǎo)致工藝設(shè)備受到污染損壞的影響。為撲滅小火,啟動排煙系統(tǒng)后,會導(dǎo)致潔凈室受到破壞,必將得不償失[6]。

    第二,下排煙方式應(yīng)用中,一旦火災(zāi)發(fā)生時,打開排煙口和排煙風(fēng)機(jī),進(jìn)一步通過新風(fēng)機(jī)組、通過FFU 的應(yīng)用,煙氣得以從下技術(shù)夾層中排除后,能夠達(dá)到有效保護(hù)潔凈室環(huán)境的目的。然而,相應(yīng)的不足之處是當(dāng)煙氣上升速度超出FFU 速度時,煙氣將難以被排出,因此,此種方式只有火災(zāi)強(qiáng)度較小時才會有效[7]。

    第三,上下結(jié)合排煙方式的應(yīng)用,是通過在技術(shù)夾層及潔凈室吊頂下同時設(shè)置煙感的應(yīng)用,火災(zāi)發(fā)生時,煙感探測到煙霧時,下排煙模式將發(fā)揮應(yīng)有的效力作用,而一旦火勢增強(qiáng)時,吊頂下的煙感探測到煙霧時,會啟動上排煙模式,通過此系統(tǒng)所發(fā)揮的效力作用,生產(chǎn)環(huán)境及工藝獲得有力保障的同時,排煙效果也能獲得有力的提升,因此,此種方式受到人們的青睞。

    4 暖通設(shè)計中各系統(tǒng)的處理

    4.1 水循環(huán)系統(tǒng)管控

    施工前,需針對施工材料做好相應(yīng)驗(yàn)收工作,確保材料各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)標(biāo)后,才能夠滿足實(shí)際所需,滿足施工建設(shè)的要求。同時,吊架、支架的制作,需要根據(jù)項(xiàng)目要求進(jìn)行,進(jìn)一步考慮材料應(yīng)用環(huán)境,尤其針對金屬材料,做好防腐、防銹方面等一系列的管控工作后,施工質(zhì)量才能夠獲得有力的提升。

    同時,針對管道污垢,要做好相應(yīng)的清潔工作,確保焊接過程中管道內(nèi)壁對齊,合理選擇適宜的焊接方法,才能夠促使焊接質(zhì)量達(dá)到提升的目的,此外,進(jìn)一步開展焊接驗(yàn)收工序,確保焊接質(zhì)量達(dá)標(biāo),需再次針對管道內(nèi)部進(jìn)行清理,才能夠避免雜物對于管道的影響。

    此外,管道試驗(yàn)環(huán)節(jié)是核心點(diǎn)所在,在此過程中,通過管道氣壓承載能力測試、水壓能力測試的應(yīng)用,水循環(huán)系統(tǒng)才能夠?qū)崿F(xiàn)有效地運(yùn)行。同時,在測試環(huán)節(jié)要控制清潔冷風(fēng)的流速,水滿后關(guān)閉閥門,整個水循環(huán)系統(tǒng)才能夠得到全面性的檢查。而這些環(huán)節(jié)必須在設(shè)計環(huán)節(jié)得以全面性考量后,才能夠促使設(shè)計環(huán)節(jié)的完善度得以提升[8]。

    4.2 凈化系統(tǒng)施工

    第一,凈化系統(tǒng)設(shè)計階段,需重視風(fēng)道設(shè)計環(huán)節(jié),進(jìn)一步確保后期凈化處理結(jié)果,通過施工技術(shù)手段配合咬口的施工方式,板材拼接的緊密性才能夠達(dá)到有效提升的目的。同時,拼接完成后,管道清潔處理環(huán)節(jié)尤為關(guān)鍵,要避免管內(nèi)雜物堆積,保證風(fēng)管的整潔度。此外,要合理存儲管材,管材使用過程中要避免彎曲、折損異常發(fā)生,以保障施工質(zhì)量。

    凈化系統(tǒng)中,高效過濾器的應(yīng)用極為關(guān)鍵。而尤其在過濾器安裝前,針對凈化系統(tǒng)的檢驗(yàn)工作不能夠有一絲的懈怠,確保凈化系統(tǒng)試運(yùn)作環(huán)節(jié)無異常后,才能夠進(jìn)入到過濾器安裝工序。

    實(shí)際安裝環(huán)節(jié),要確??蚣芷秸?,有效控制各種偏差,進(jìn)一步實(shí)施有效的密封處理后,凈化系統(tǒng)自身的功效作用才能夠發(fā)揮到極致。此外,需做好設(shè)備運(yùn)輸及存儲階段的防護(hù)工作,凈化系統(tǒng)的可靠性才能夠得到有力的鞏固。

    第二,潔凈室施工前,設(shè)備的清潔工作是重中之重,同時,針對施工過程中的污染物,通過真空吸塵器的應(yīng)用,能夠達(dá)到有效消除污染的目的。此外,要使用一定配比的清潔劑,做好清潔準(zhǔn)備工作,使清潔工作取得有利的成效。在此過程中,施工人員要嚴(yán)格按照規(guī)范要求,選用適宜的清潔方法,確保清潔效果達(dá)標(biāo)。

    同時,風(fēng)管施工過程中應(yīng)輕拿輕放,做好運(yùn)輸環(huán)節(jié)的防護(hù)工作,進(jìn)一步根據(jù)項(xiàng)目要求選擇質(zhì)量達(dá)標(biāo)的風(fēng)管與建筑裝飾。實(shí)際施工過程中,做好專業(yè)性監(jiān)督及引導(dǎo)工作后,風(fēng)管質(zhì)量、密封處理等才能夠獲得有力的提升。此外,施工過程中,要逐一進(jìn)行檢查及核驗(yàn)工作,以確保施工的可靠性,針對存在的問題要及時發(fā)現(xiàn),及時調(diào)整,才能夠確保施工的安全性。

    5 結(jié)語

    集成電路潔凈廠房暖通設(shè)計環(huán)節(jié)的工作,伴隨集成電路行業(yè)的發(fā)展,必將處于挑戰(zhàn)及壓力的雙層包裹之中,同時設(shè)計環(huán)節(jié)要想實(shí)現(xiàn)突破及優(yōu)化,就要在凈化系統(tǒng)、排煙系統(tǒng)等方面的研究工作中投入大量的人力物力,通過方式、方法的調(diào)整,先進(jìn)技術(shù)的運(yùn)用,才能夠促使設(shè)計環(huán)節(jié)取得有效的成果,進(jìn)而對集成電路生產(chǎn)過程的順利開展發(fā)揮有力的促進(jìn)作用。

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