“江豐電子”智造“中國芯”

■閔時燕

2021年11月3日上午，2020年度國家科學(xué)技術(shù)獎勵大會在人民大會堂舉行，共評選出264 個項目、10 名科技專家和1 個國際組織。

由寧波企事業(yè)單位牽頭、合作完成的8 個項目榮膺國家科技獎，分獲國家科技進步一等獎1 項、二等獎3 項，國家技術(shù)發(fā)明二等獎4 項。

其中，由寧波江豐電子材料股份有限公司牽頭完成的“超高純鋁鈦銅鉭金屬濺射靶材制備技術(shù)及應(yīng)用”、寧波三生生物科技有限公司參與完成的“良種牛羊卵子高效利用快繁關(guān)鍵技術(shù)”、浙江大學(xué)寧波理工學(xué)院參與完成的“包裝食品殺菌與灌裝高性能裝備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”、寧波海天精工股份有限公司參與完成的“高性能龍門加工中心整機設(shè)計與制造工藝關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”等4 個項目獲國家技術(shù)發(fā)明二等獎。

值得一提的是，寧波江豐電子材料股份有限公司以第一完成單位身份獲得國獎，該項目由寧波提名。

在與重慶大學(xué)合作下，江豐電子攻克了芯片制造所需的關(guān)鍵材料——超高純金屬濺射靶材在形變熱加工過程中的精細調(diào)控、異種金屬高結(jié)合率焊接、金屬熔煉提純以及靶材的精密機加工等多項關(guān)鍵核心技術(shù)，開發(fā)出用于芯片制造的超高純金屬濺射靶材的全套生產(chǎn)工藝。目前，江豐電子占有芯片用濺射靶材中國市場份額第一，全球市場第二。

董事長姚力軍正是領(lǐng)軍人物。

2005年4月，姚力軍毅然踏上回國創(chuàng)業(yè)的征程，在余姚組建了中國第一個超高純度金屬濺射靶材研發(fā)生產(chǎn)基地——寧波江豐電子材料股份有限公司，從此走上了不斷創(chuàng)新、智制“中國芯”的歷程。

大學(xué)時代，姚力軍就有一個心結(jié)：為什么計算機的主板、硬盤等關(guān)鍵部件，都是國外進口的？ 全世界最好的芯片到底是怎么做出來的？ 1994年，已經(jīng)獲得哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)博士學(xué)位的姚力軍申請到了日本文部省的獎學(xué)金，赴日本國立廣島大學(xué)攻讀第二個博士學(xué)位。

“我出國的目標(biāo)很明確，就是要把最先進的技術(shù)學(xué)習(xí)好、帶回國。我從出國之初就開始一系列準(zhǔn)備：海外的歷練，包括學(xué)習(xí)技術(shù)、學(xué)習(xí)管理，結(jié)交人脈，熟悉上下游產(chǎn)業(yè)鏈……我在各方面都做了充足的準(zhǔn)備。”姚力軍說。

在日本的十年間，姚力軍被稱為“拼命三郎”，憑借與生俱來的敏感和出色的能力，他不僅成為世界范圍內(nèi)掌握超高純金屬材料及濺射靶材核心技術(shù)的專家之一，還成為世界500 強霍尼韋爾公司大中華區(qū)的最高負責(zé)人。

超大規(guī)模集成電路又稱為“芯片”，超高純金屬濺射靶材就是制造芯片的關(guān)鍵材料。在姚力軍創(chuàng)立江豐電子之前，濺射靶材的核心技術(shù)只掌握在少數(shù)幾家美國和日本企業(yè)手中，是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展長期跨不過的一道門檻。

“最初外國人根本不相信中國人可以造出如此精密的濺射靶材，想要實現(xiàn) ‘從無到有’ 的突破，確實有著不小的難度。”姚力軍說。深知創(chuàng)新人才的重要性，回國時，他不但帶了20 個集裝箱和1 個散貨船的專業(yè)設(shè)備，還請來了留美博士潘杰及6 名日本專家。

2005年10月，江豐電子第一塊靶材產(chǎn)品成功下線，結(jié)束了中國濺射靶材完全依賴進口的歷史，成功填補了國家的產(chǎn)業(yè)和技術(shù)空白。2009年8月，熬過2008年由金融危機引發(fā)的資金鏈斷裂，拒絕被跨國收購的江豐電子涅槃重生，開始向中芯國際供貨，產(chǎn)業(yè)化正式起步。2014年，純度高達99.999%的超高純鈦在余姚投產(chǎn)，此舉創(chuàng)造了多項第一：它不僅是中國第一爐“電子級低氧超高純鈦”，也是中國第一條低氧超高純鈦的產(chǎn)線，使中國成為世界上第三個能夠生產(chǎn)低氧超高純鈦的國家。2017年6月15日，“江豐電子”在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。

如今，在靶材研發(fā)方面，江豐電子已實現(xiàn)10 納米和7 納米半導(dǎo)體芯片靶材的產(chǎn)品量產(chǎn)，正朝著5 納米及更高的研發(fā)技術(shù)昂首邁進，成為我國靶材領(lǐng)域最具國際競爭力的企業(yè)之一。

公司擁有覆蓋Al、Ti、Cu、Ta 等多種金屬材料及濺射靶材全工藝流程的完整自主知識產(chǎn)權(quán)。目前累計申請專利637 項，截至2019年6月底，授權(quán)專利250 項，位列中國企業(yè)專利500 強第74位。

歷經(jīng)15 余年的發(fā)展，如今江豐電子的產(chǎn)品不僅得到國內(nèi)市場的認可，而且已被美國、日本、歐洲、韓國、東南亞的主流半導(dǎo)體公司認可，承擔(dān)國家02 重大專項、國家863 重大專項、發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展項目、工信部電子發(fā)展基金等科研及產(chǎn)業(yè)化項目。作為寧波江豐電子材料股份有限公司董事長兼首席技術(shù)官，因為在芯片制造方面的不斷創(chuàng)新，姚力軍獲得了浙江省科學(xué)技術(shù)重大貢獻獎、浙江省非公有制經(jīng)濟人士新時代優(yōu)秀中國特色社會主義事業(yè)建設(shè)者、“科技新浙商十周年特別獎”等榮譽稱號。

走進江豐電子，最先映入眼簾的是掛著一排排專利證書的“自主創(chuàng)新”墻，“自主創(chuàng)新”墻的背后則是陳列著一張張繽紛多彩員工團建照的“人才墻”。在姚力軍心中，這兩面墻是江豐電子最為珍貴的財富。

除了大力培育和引進本企業(yè)的創(chuàng)新人才，姚力軍還有一個特殊稱謂：寧波市“引才大使”。他抓住會議、洽談等各種機會，向與他接觸的海外高層次人才推介寧波的創(chuàng)業(yè)環(huán)境，吸引與他一樣有使命感的高層次人才回國創(chuàng)業(yè)。他一直心懷夢想：“在超高純金屬材料提純和超高純金屬及濺射靶材領(lǐng)域，插上越來越多的勝利旗幟！”

姚力軍說，創(chuàng)業(yè)的歷程很艱辛，創(chuàng)新的路上有曲折，但江豐電子矢志不渝，咬定目標(biāo)不放松，堅持創(chuàng)新不動搖，終于取得了令世人矚目的業(yè)績，其產(chǎn)品和工藝技術(shù)處于國際領(lǐng)先水平?！斑@一切，都離不開余姚市委、市政府及各部門的大力支持，是余姚哺育我和江豐電子成長。擁有一系列創(chuàng)新平臺的余姚，是培養(yǎng)人、培育企業(yè)的好地方，這是一個讓我大顯身手、為國效力的精彩舞臺?！?/p>

談到未來的發(fā)展，姚力軍信心滿滿：“過去的10年，是江豐電子從小到大、邁上高速發(fā)展的10年，可以說是企業(yè)的1.0 版；今后，我們要借助余姚創(chuàng)設(shè)的好平臺，進入江豐發(fā)展的2.0 版，砥礪前行，再接再厲，譜寫發(fā)展新篇章?！彼f，江豐電子公司已在城東建造新的研發(fā)基地，并在全國布局，接下來的10年，將瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體領(lǐng)域最領(lǐng)先的技術(shù)，進一步加大研發(fā)力度，建立良好的裝備能力與品質(zhì)保障能力，力爭產(chǎn)品占據(jù)超過30%的全球市場份額，成為全球數(shù)一數(shù)二的半導(dǎo)體企業(yè)，為中國先進裝備制造業(yè)做大做強作出更大貢獻?！啊袊圃臁?并不是廉價低質(zhì)的代名詞，我們要讓‘中國制造’ 在半導(dǎo)體領(lǐng)域有一個響徹世界的名字！”姚力軍對未來的發(fā)展?jié)M懷信心，他將繼續(xù)扎根于超高純金屬及濺射靶材領(lǐng)域，用火紅的中國心，智造純正的“中國芯”！ ■