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    脈沖HF/DF激光器的高重復(fù)頻率觸發(fā)管型氣體火花開關(guān)

    2022-02-04 10:23:26易愛平
    現(xiàn)代應(yīng)用物理 2022年4期
    關(guān)鍵詞:吹氣激光器電場

    黃 超,黃 珂,朱 峰,唐 影,易愛平,錢 航

    (激光與物質(zhì)相互作用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 西北核技術(shù)研究所: 西安 710024)

    放電引發(fā)非鏈?zhǔn)?HF/DF激光器的峰值功率高,脈沖能量大,可高重復(fù)頻率運(yùn)轉(zhuǎn),在激光生物醫(yī)學(xué)、大氣檢測、激光光譜和光電對(duì)抗等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,是現(xiàn)階段備受關(guān)注的寬光譜中紅外激光源[1-9]。與其他脈沖氣體放電激光器類似,放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器需一個(gè)快前沿、高電壓及大電流的快放電過程,實(shí)現(xiàn)大體積均勻體放電,進(jìn)而形成大脈沖能量輸出。開關(guān)作為激光器的重要部件,用于激光間隙脈沖高電壓的形成和主電容器儲(chǔ)能向激光介質(zhì)的高效轉(zhuǎn)移,是激光器實(shí)現(xiàn)快前沿、高電壓和大電流快放電的關(guān)鍵。

    放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器常使用SF6混合氣體作為工作介質(zhì),與準(zhǔn)分子等其他氣體放電激光器相比,更難實(shí)現(xiàn)均勻放電。因此,對(duì)開關(guān)及放電引發(fā)系統(tǒng)的要求更高。氣體火花開關(guān)具有工作電壓高、通流能力強(qiáng)和導(dǎo)通快的特點(diǎn),同時(shí)具備成本低廉及結(jié)構(gòu)形式靈活多樣等優(yōu)點(diǎn),是放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器較理想的選擇之一。自放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器誕生以來,大量研究采用氣體火花開關(guān)產(chǎn)生快前沿、大電流及高壓脈沖引燃大體積均勻放電,獲得激光輸出[10-17]。1972年,美國Los Alamos國家實(shí)驗(yàn)室的Wekzel等[10]利用觸發(fā)管型氣體火花開關(guān),建立了雙放電引發(fā)HF激光器,獲得了快放電引發(fā)過程,激光能量約為100 mJ;1973年,該實(shí)驗(yàn)室的Arnold等[11]利用氣體火花開關(guān)實(shí)現(xiàn)了前沿為30 ns的快放電過程,獲得1.4 J脈沖HF激光輸出;1980年,英國艾塞克斯大學(xué)物理系Hatch[12]同樣利用觸發(fā)管型氣體火花開關(guān)研制了一臺(tái)用于半導(dǎo)體材料處理的HF激光器,激光能量為167 mJ;2002年,俄羅斯科學(xué)院普通物理所Apollonov等[13]采用基于氣體開關(guān)的放電系統(tǒng),獲得了407 J的HF激光和325 J的DF激光;2010年,俄羅斯科斯米洛夫州激光測試研究中心Bulaev等[14]利用氣體火花開關(guān)研制了20 Hz重復(fù)頻率HF激光器,脈沖能量為67 J;國內(nèi)西北核技術(shù)研究所[15]、長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所[16]和中國科學(xué)院電子學(xué)研究所[17]開展了基于氣體火花開關(guān)的放電引發(fā)HF/DF激光技術(shù)研究,利用自動(dòng)紫外預(yù)電離放電結(jié)構(gòu),使單脈沖能量達(dá)到焦耳量級(jí)。目前,對(duì)氣體火花開關(guān)及激光器高重復(fù)頻率運(yùn)行技術(shù)的研究較少,僅西北核技術(shù)研究所實(shí)現(xiàn)了100 Hz重復(fù)頻率HF/DF激光輸出[15]。

    從國內(nèi)外研究情況分析,研究工作主要集中在氣體火花開關(guān)放電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)優(yōu)化,以獲得大脈沖能量和高效HF/DF激光輸出,對(duì)氣體火花開關(guān)及放電系統(tǒng)高重復(fù)頻率運(yùn)行和可靠運(yùn)轉(zhuǎn)方面的研究鮮見報(bào)道,本文針對(duì)該方面開展研究工作。由于觸發(fā)管型氣體火花開關(guān)(簡稱開關(guān))在地電極中心開孔引入觸發(fā)電極針,降低了對(duì)外部觸發(fā)脈沖的要求,易實(shí)現(xiàn)受控觸發(fā),且電極結(jié)構(gòu)有利于氣體循環(huán),適合重復(fù)頻率運(yùn)行[18-20]。本文設(shè)計(jì)了緊湊的觸發(fā)管型開關(guān),實(shí)驗(yàn)研究了開關(guān)的觸發(fā)特性和重復(fù)頻率放電特性,并用于放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器,實(shí)現(xiàn)了激光器100 Hz高重復(fù)頻率可靠運(yùn)轉(zhuǎn),連續(xù)運(yùn)行10 s,無不受控放電現(xiàn)象發(fā)生。

    1 開關(guān)結(jié)構(gòu)

    為提高開關(guān)的工作可靠性,開關(guān)主電極設(shè)計(jì)為類半球頭結(jié)構(gòu),直徑為30 mm,觸發(fā)電極位于地電極內(nèi)部,設(shè)計(jì)為盤形尖棱結(jié)構(gòu),顯著增強(qiáng)開關(guān)間隙場畸變的同時(shí)增加了觸發(fā)電極的燒蝕周長,有利于延長開關(guān)的使用壽命。觸發(fā)電極和地電極之間采用尼龍蓋板徑向絕緣,蓋板表面設(shè)計(jì)多個(gè)凹槽,增加沿面閃絡(luò)距離,防止觸發(fā)電極與地之間的沿面滑閃。氣流從開關(guān)絕緣筒上的吹氣窗口流過放電區(qū),且集中于放電區(qū),保障開關(guān)間隙氣體介質(zhì)絕緣快速恢復(fù),實(shí)現(xiàn)開關(guān)高重復(fù)頻率運(yùn)行。開關(guān)主電極間隙設(shè)計(jì)為3~5 mm可調(diào),觸發(fā)間隙為1.5 mm,開關(guān)絕緣介質(zhì)為高純氮?dú)?,最大工作氣壓約為0.5 MPa。圖1為觸發(fā)管型氣體火花開關(guān)外觀和結(jié)構(gòu)。

    (a) Photography

    (b) Structure圖1 開關(guān)外觀與結(jié)構(gòu)Fig.1 Photography and structure of the spark gas switch

    良好觸發(fā)特性是開關(guān)受控導(dǎo)通的前提,是保證開關(guān)可靠運(yùn)行的關(guān)鍵,開關(guān)的觸發(fā)特性與觸發(fā)結(jié)構(gòu)及其引起的電場畸變程度密切相關(guān)。為使開關(guān)具有優(yōu)異的導(dǎo)通可控性,須提高開關(guān)間隙電場的畸變程度。開關(guān)主間隙電場強(qiáng)度及觸發(fā)間隙電場強(qiáng)度可表示為

    (1)

    其中:Eg,Et分別為主間隙電場強(qiáng)度和觸發(fā)間隙電場強(qiáng)度;Vg,Vt分別為高壓電極和觸發(fā)電極電壓;dg,dt分別為主間隙和觸發(fā)間隙的距離。

    設(shè)定開關(guān)主間隙為5 mm,主電極電壓為-30 kV,觸發(fā)電壓為30 kV,根據(jù)式(1),利用有限元方法對(duì)開關(guān)的靜電場進(jìn)行了分析,給出了有無觸發(fā)脈沖時(shí)開關(guān)間隙的電場強(qiáng)度分布,如圖2所示。由圖2可見:在開關(guān)主電極上加直流電壓,未加觸發(fā)脈沖時(shí),由于觸發(fā)電極位于觸發(fā)孔內(nèi),觸發(fā)電極的分壓電位與其所在位置的電位基本相同,觸發(fā)電極引起開關(guān)間隙的電場畸變非常小,開關(guān)間隙電場近似均勻直流電場;當(dāng)施加觸發(fā)脈沖時(shí),開關(guān)間隙形成了強(qiáng)烈的電場畸變,電場強(qiáng)度最大為246 kV·cm-1,是未加觸發(fā)脈沖時(shí)的4倍以上。

    (a) Without trigger pulse

    (b) With trigger pulse圖2 有無觸發(fā)脈沖時(shí)開關(guān)間隙的電場強(qiáng)度分布Fig.2 Distribution of electrical field strength of switch gap

    理論分析結(jié)果表明,未加觸發(fā)脈沖時(shí),開關(guān)間隙的電場畸變非常小,開關(guān)間隙電場近似為直流均勻電場,可有效降低激光器直流充電過程中開關(guān)的自擊穿概率。觸發(fā)時(shí)刻開關(guān)間隙電場畸變非常顯著,電場增強(qiáng)區(qū)域最大值出現(xiàn)在觸發(fā)電極尖端處,開關(guān)將因觸發(fā)脈沖引起的電場畸變迅速導(dǎo)通,這增強(qiáng)了開關(guān)導(dǎo)通的可控性。綜合效果將提升開關(guān)及激光器高重復(fù)頻率運(yùn)行的可靠性。

    2 開關(guān)實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析

    2.1 觸發(fā)特性

    觸發(fā)管型開關(guān)存在慢、快2種觸發(fā)擊穿機(jī)制[18]。慢觸發(fā)機(jī)制為開關(guān)觸發(fā)首先發(fā)生在觸發(fā)電極和地電極之間,觸發(fā)間隙放電等離子體紫外輻射引起主間隙氣體的光電離,導(dǎo)致開關(guān)被擊穿;快觸發(fā)機(jī)制為開關(guān)觸發(fā)首先發(fā)生在觸發(fā)電極和高壓電極之間,主間隙放電由觸發(fā)電極頂部流注引起。

    觸發(fā)管型開關(guān)的觸發(fā)特性受觸發(fā)擊穿機(jī)制影響很大,圖3和圖4為不同觸發(fā)機(jī)制下開關(guān)延時(shí)tdelay和抖動(dòng)tjitter隨電壓U的變化關(guān)系。實(shí)驗(yàn)條件:開關(guān)主間隙為4 mm;氣體介質(zhì)氣壓為0.35 MPa;開關(guān)電壓-16~-30 kV可調(diào);觸發(fā)電壓正負(fù)30 kV可選。開關(guān)延時(shí)tdelay為單脈沖模式重復(fù)30個(gè)脈沖的平均值,抖動(dòng)tjitter為該組脈沖延時(shí)的極差。由圖3和圖4可見:當(dāng)開關(guān)的觸發(fā)電壓為正脈沖時(shí),開關(guān)主間隙上的電場強(qiáng)度為115~150 kV·cm-1,大于開關(guān)自擊穿電場強(qiáng)度,開關(guān)工作在“快觸發(fā)機(jī)制”下,開關(guān)延時(shí)和抖動(dòng)相對(duì)較小,在整個(gè)工作電壓范圍內(nèi)開關(guān)的延時(shí)和抖動(dòng)均在100 ns以內(nèi);當(dāng)開關(guān)的觸發(fā)脈沖為負(fù)極性時(shí),開關(guān)主間隙上的電場強(qiáng)度很低,小于28 kV·cm-1,低于開關(guān)自擊穿電場強(qiáng)度,開關(guān)工作在“慢觸發(fā)機(jī)制”下,開關(guān)延時(shí)和抖動(dòng)相對(duì)較大。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,開關(guān)工作在快觸發(fā)機(jī)制時(shí),導(dǎo)通更加容易。因此,實(shí)驗(yàn)中選擇開關(guān)工作在快觸發(fā)機(jī)制下。

    (a) tdelay vs. U

    (b) tjitter vs. U圖3 觸發(fā)電壓為-30 kV時(shí),開關(guān)的延時(shí)及抖動(dòng)隨電壓的變化關(guān)系Fig.3 Delay time and jitter time vs. voltage at triggering voltage of -30 kV

    (a) tdelay vs. U

    (b) tjitter vs. U圖4 觸發(fā)電壓為+30 kV時(shí),開關(guān)的延時(shí)及抖動(dòng)隨電壓的變化關(guān)系Fig.4 Delay time and jitter time vs. voltage at triggering voltage of +30 kV

    2.2 重復(fù)頻率特性

    通常情況下,開關(guān)運(yùn)行頻率越高,絕緣恢復(fù)時(shí)間越短,則自放電概率越大,重復(fù)頻率運(yùn)行穩(wěn)定性也就越差,反之則越好。開關(guān)重復(fù)頻率特性主要由氣體介質(zhì)的絕緣恢復(fù)速度決定,而絕緣恢復(fù)速度又與氣壓、工作電壓和吹氣速率等因素密切相關(guān)。實(shí)驗(yàn)中通過改變以上實(shí)驗(yàn)條件來研究開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行可靠性。

    2.2.1 氣壓對(duì)重復(fù)頻率的影響

    首先對(duì)無吹氣開關(guān)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。重復(fù)頻率不同時(shí),開關(guān)連續(xù)運(yùn)行100個(gè)脈沖的自擊穿概率隨氣壓的變化關(guān)系如圖5所示。實(shí)驗(yàn)條件:開關(guān)主間隙為4 mm;充電電壓為-30 kV;氣壓為0.3~0.45 MPa;觸發(fā)電壓為30 kV。由圖5可見,3種重復(fù)頻率下,開關(guān)擊穿概率均呈隨氣壓升高而減小的趨勢。當(dāng)氣壓大于0.425 MPa時(shí),開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行相對(duì)可靠,此時(shí)基本無自擊穿現(xiàn)象發(fā)生。對(duì)于重復(fù)頻率氣體火花開關(guān),開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行的自擊穿概率與開關(guān)欠壓比和開關(guān)絕緣恢復(fù)相關(guān)。一方面氣體的氣壓越高,開關(guān)的欠壓比越小,開關(guān)工作越穩(wěn)定,自擊穿概率越?。涣硪环矫鏆鈮荷邔?dǎo)致氣體分子密度增大,氣體分子間碰撞的概率增大,原放電通道內(nèi)沉積的熱量更易通過傳導(dǎo)、對(duì)流及輻射傳遞出去,有利于開關(guān)間隙氣體在脈沖間隔時(shí)間內(nèi)的絕緣性能恢復(fù),即在下一個(gè)脈沖達(dá)到時(shí),開關(guān)氣體間隙的絕緣能力達(dá)到與前一個(gè)脈沖相當(dāng)?shù)乃?,進(jìn)而改善開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行的穩(wěn)定性。

    圖5 重復(fù)頻率不同時(shí),開關(guān)連續(xù)運(yùn)行100個(gè)脈沖的自擊穿概率隨氣壓的變化關(guān)系Fig.5 Self discharge ratio vs. air pressure of the switch at different frequencies with 100 pulses

    2.2.2 電壓對(duì)重復(fù)頻率的影響

    開關(guān)導(dǎo)通時(shí)產(chǎn)生的熱量取決于放電弧柱產(chǎn)生的熱量,而電壓對(duì)放電弧柱產(chǎn)生的熱量有很大影響。當(dāng)電壓為-23~-30 kV,開關(guān)主間隙為4 mm,氣壓為0.3 MPa,觸發(fā)電壓為+30 kV,重復(fù)頻率為100 Hz是,開關(guān)自放電概率隨電壓的變化關(guān)系如圖6所示。

    圖6 開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行時(shí)自放電概率隨電壓的變化關(guān)系Fig.6 Self discharge ratio vs. voltage of the switch

    由圖6可見,開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行時(shí),自放電概率隨電壓的升高而迅速上升,電壓越高,曲線的斜率越大。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,高電壓條件下,重復(fù)頻率運(yùn)行穩(wěn)定性迅速下降。這是因?yàn)?,隨著電壓的升高,放電弧柱產(chǎn)生的熱量增多,相應(yīng)的氣體介質(zhì)溫度上升和放電殘余物濃度增高,導(dǎo)致氣體絕緣恢復(fù)難度增大和恢復(fù)時(shí)間增長,開關(guān)間隙在脈沖間隔時(shí)間內(nèi)不能完全回復(fù),重復(fù)頻率運(yùn)行穩(wěn)定性降低。

    2.2.3 吹氣速率對(duì)重復(fù)頻率的影響

    主間隙氣體絕緣恢復(fù)是開關(guān)重復(fù)頻率穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵,吹氣是提高主間隙氣體絕緣恢復(fù)的重要技術(shù)途徑之一,為確保在脈沖間隔內(nèi)實(shí)現(xiàn)主間隙氣體介質(zhì)的有效置換,吹氣速率是需研究的重要參數(shù)之一。當(dāng)開關(guān)主間隙為4 mm,氣壓為0.3 MPa,電壓為-27 kV,觸發(fā)電壓為+30 kV,重復(fù)頻率為100 Hz時(shí),實(shí)驗(yàn)研究了吹氣速率對(duì)開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行穩(wěn)定性的影響。開關(guān)自放電概率隨吹氣速率的變化關(guān)系如圖7所示。由圖7可見,吹氣時(shí),開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行的自放電概率可得到有效抑制,但過快的吹氣速率并不能帶來好的效果。實(shí)驗(yàn)中,當(dāng)吹氣速率大于5 m·s-1時(shí),開關(guān)100 Hz重復(fù)頻率運(yùn)行的自放電概率反而逐漸增大,開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性變差。這是因?yàn)橥ㄟ^吹氣置換開關(guān)主間隙的氣體,加速了開關(guān)主間隙氣體絕緣恢復(fù)速率,在重復(fù)頻率脈沖間隔時(shí)間內(nèi),主間隙內(nèi)氣體絕緣恢復(fù)更加充分,開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行穩(wěn)定性逐漸變好。然而,由于開關(guān)氣路較簡單,設(shè)計(jì)為單個(gè)相對(duì)進(jìn)出氣口,吹氣速率較高時(shí),開關(guān)間隙內(nèi)部氣體流程紊流,將影響開關(guān)間隙電場分布,使開關(guān)自放電概率增加。為獲得更好的吹氣效果,后續(xù)將對(duì)開關(guān)吹氣結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化,提升開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行穩(wěn)定性。

    圖7 開關(guān)自放電概率隨吹氣速率的變化關(guān)系Fig.7 Self discharge ratio vs. flowing rate of the switch

    2.3 討論

    通過上述研究發(fā)現(xiàn),高電壓和高重復(fù)頻率均大大提高了開關(guān)重復(fù)頻率穩(wěn)定運(yùn)行的難度,其根源在于開關(guān)主間隙內(nèi)氣體絕緣恢復(fù)不充分,間隙絕緣性能下降。提升開關(guān)間隙氣體壓強(qiáng)和利用吹氣實(shí)現(xiàn)開關(guān)主間隙氣體有效置換等技術(shù)方法,可加速開關(guān)間隙氣體絕緣恢復(fù),降低或避免開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行過程中出現(xiàn)自擊穿現(xiàn)象的概率。對(duì)于放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器,設(shè)計(jì)的最大工作電壓為-30 kV,本文重點(diǎn)考慮開關(guān)電壓為-30 kV時(shí)的運(yùn)行參數(shù)。不吹氣時(shí),開關(guān)實(shí)現(xiàn)-30 kV重復(fù)頻率100 Hz無自放電現(xiàn)象穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)所需的氣壓為0.425 MPa;且吹氣速率適當(dāng)時(shí),可進(jìn)一步增強(qiáng)開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行的穩(wěn)定性。另外,考慮到氣體放電具有一定隨機(jī)性,且開關(guān)工作系數(shù)太低不利于觸發(fā)導(dǎo)通,因此,選定開關(guān)在電壓為-30 kV條件下的最佳工作參數(shù):主間隙為4 mm;絕緣氣體為高純氮?dú)猓粴鈮簽?.425~0.45 MPa;觸發(fā)電壓為+30 kV;吹氣速率為3~5 m·s-1。

    3 開關(guān)的應(yīng)用

    用觸發(fā)管型氣體火花開關(guān)作為放電引發(fā)脈沖HF/DF激光器的主開關(guān),HF/DF激光器等效電路如圖8所示。激光器運(yùn)行時(shí),負(fù)極性高壓電源給激光器儲(chǔ)能電容充電至設(shè)定電壓,此時(shí)開關(guān)加載了相應(yīng)的直流高壓;然后,觸發(fā)器發(fā)出異極性高壓觸發(fā)脈沖,觸發(fā)開關(guān)受控導(dǎo)通,儲(chǔ)能電容上的電壓反向作用到放電腔室的陽極高壓電極上,峰化間隙導(dǎo)通,在激光器放電區(qū)域形成強(qiáng)烈的紫外預(yù)電離,主間隙導(dǎo)通輸出HF激光。按照要求的頻率重復(fù)上述過程,激光器實(shí)現(xiàn)重復(fù)頻率運(yùn)轉(zhuǎn)。

    圖8 HF/DF激光器等效電路Fig.8 Equivalent circuit of HF/DF laser

    重復(fù)頻率調(diào)試實(shí)驗(yàn)中,放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器及開關(guān)的具體工作條件:電壓為-30 kV;絕緣氣體為高純氮?dú)?;氣壓?.45 MPa;開關(guān)主間隙為4 mm;吹氣速率為5 m·s-1;觸發(fā)電壓為+30 kV。實(shí)驗(yàn)獲得HF/DF激光器100 Hz連續(xù)運(yùn)行1 000個(gè)脈沖的觸發(fā)和放電電壓的包絡(luò)波形,如圖9所示。由圖9可見,放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器重復(fù)頻率運(yùn)行過程中,開關(guān)未出現(xiàn)自擊穿現(xiàn)象和誤觸發(fā)問題,異常放電概率為0,開關(guān)工作狀態(tài)良好。圖10為HF/DF激光器輸出1 000個(gè)脈沖的能量曲線。由圖10可見,開關(guān)及激光器實(shí)現(xiàn)了長時(shí)間重復(fù)頻率可靠放電,100 Hz重復(fù)頻率運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性良好。另外,發(fā)現(xiàn)開關(guān)的延時(shí)抖動(dòng)有所增加,約為592 ns,這可能是長時(shí)間放電導(dǎo)致開關(guān)氣體溫度升高所致。

    圖9 HF/DF激光器100 Hz連續(xù)運(yùn)行1 000個(gè)脈沖的觸發(fā)和放電電壓的包絡(luò)波形Fig.9 Envelope waveforms of trigger and discharge voltage of 1 000 pulses for HF/DF laser at 100 Hz

    圖10 HF/DF激光器輸出1 000個(gè)脈沖的能量曲線Fig.10 Energy curve of 1 000 pulses for HF/DF laser

    4 結(jié)論

    本文研制了一種用于放電引發(fā)脈沖HF/DF激光器的觸發(fā)管型氣體火花開關(guān),優(yōu)化設(shè)計(jì)了開關(guān)的觸發(fā)結(jié)構(gòu),利用有限元方法分析了開關(guān)間隙的電場分布,發(fā)現(xiàn)僅加載直流高壓時(shí)開關(guān)間隙電場近似為直流均勻電場,當(dāng)觸發(fā)脈沖到達(dá)后開關(guān)間隙形成了強(qiáng)烈的場畸變,這有利于實(shí)現(xiàn)開關(guān)重復(fù)頻率穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。

    實(shí)驗(yàn)研究了開關(guān)的觸發(fā)特性,獲得了開關(guān)快/慢2種觸發(fā)機(jī)制下的延時(shí)與抖動(dòng)。發(fā)現(xiàn)開關(guān)運(yùn)轉(zhuǎn)在快觸發(fā)機(jī)制時(shí),導(dǎo)通快,延時(shí)抖動(dòng)小,有利于開關(guān)觸發(fā)受控導(dǎo)通,可增強(qiáng)開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行穩(wěn)定性。

    在快觸發(fā)機(jī)制下,對(duì)開關(guān)重復(fù)頻率穩(wěn)定性進(jìn)行了分析,發(fā)現(xiàn)提高電壓和重復(fù)頻率,開關(guān)重復(fù)頻率穩(wěn)定運(yùn)行難度大大提升,主要原因是開關(guān)主間隙內(nèi)氣體絕緣恢復(fù)不充分,間隙絕緣性能下降。增大絕緣氣體壓強(qiáng)和利用吹氣可加速開關(guān)間隙氣體絕緣恢復(fù),改善開關(guān)重復(fù)頻率運(yùn)行的穩(wěn)定性。當(dāng)氣體氣壓小于0.425 MPa,工作電壓為-30 kV時(shí),開關(guān)實(shí)現(xiàn)了100 Hz重復(fù)頻率可靠運(yùn)行。

    將開關(guān)用于放電引發(fā)非鏈?zhǔn)紿F/DF激光器,當(dāng)電壓為-30 kV,氣壓為0.45 MPa,開關(guān)主間隙為4 mm,吹氣速率為5 m·s-1,觸發(fā)電壓為+30 kV時(shí),開關(guān)及激光器實(shí)現(xiàn)了100 Hz重復(fù)頻率長時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn),并獲得了焦耳量級(jí)的激光輸出。

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