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    TiAlCrN 涂層的研究現(xiàn)狀及發(fā)展前景

    2021-11-30 01:27:37付澤鈺王天國(guó)
    世界有色金屬 2021年1期
    關(guān)鍵詞:靶材磁控濺射硬質(zhì)

    付澤鈺,王天國(guó)

    (湖北汽車工業(yè)學(xué)院材料科學(xué)與工程學(xué)院,湖北 十堰 442000)

    硬質(zhì)涂層近幾十年在刀具和重要機(jī)械部件上的應(yīng)用日益增多,發(fā)展之初大多為二元合金涂層,例如TiN、CrN 等,由于其優(yōu)異的機(jī)械和摩擦性能被廣泛的應(yīng)用到切削等領(lǐng)域,但當(dāng)工作溫度高于450℃時(shí),TiN 涂層將被嚴(yán)重氧化,其各種性能嚴(yán)重下降不能滿足生產(chǎn)工作需求[1,2]。研究表明,將Al 元素添加入TiN 二元涂層中形成TiAlN 涂層是具有里程碑意義的,三元TiAlN 涂層的顯微硬度和抗高溫氧化性能均好于二元TiN 涂層,在專家學(xué)者研究發(fā)現(xiàn)后被迅速的投入到高速切削行業(yè)中[3]。

    隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展,對(duì)涂層的使用性能要求不斷提升,一些專家研究發(fā)現(xiàn),在三元TiAlN 涂層中加入Cr 元素形成四元TiAlCrN 涂層能獲得更加優(yōu)異的性能,在大量實(shí)驗(yàn)研究后發(fā)現(xiàn),TiAlCrN 涂層的硬度、抗高溫氧化性能、摩擦性能等較TiAlN 涂層均大幅提高。本文對(duì)TiAlCrN 硬質(zhì)涂層的制備方式方法、工藝參數(shù)和元素含量變化對(duì)涂層的影響以及其主要性能等方面進(jìn)行闡述,并且對(duì)TiAlCrN 硬質(zhì)涂層在實(shí)際生產(chǎn)中的應(yīng)用加以介紹以及對(duì)未來(lái)發(fā)展方向的展望。

    1 TiAlCrN硬質(zhì)涂層制備方法

    TiAlCrN 硬質(zhì)涂層制備常用方法分為三大類:磁控濺射沉積、多弧離子鍍和電弧/濺射一體技術(shù)。磁控濺射是將高能量粒子轟擊靶材后產(chǎn)生高能量金屬離子進(jìn)行沉積。磁控濺射沉積具有沉積速率較高、可鍍基體靶材較多(大多金屬、半導(dǎo)體材料都可以作為基體)、實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)便、鍍膜質(zhì)量好、工藝可控制性高等優(yōu)點(diǎn),由于其金屬離化率且在N2分壓較大時(shí)容易造成“靶中毒”現(xiàn)象,部分研究學(xué)者研究出閉合場(chǎng)非平衡磁控濺射和高功率脈沖磁控濺射等技術(shù)制備TiAlCrN 硬質(zhì)涂層。

    多弧離子鍍技術(shù)是通過高能量電弧在金屬表面局部提高溫度使金屬離子蒸發(fā)后獲得高離化率高能量的離子,在高偏壓下這些離子轟擊靶材表面形成硬質(zhì)涂層。優(yōu)點(diǎn)是具有高的離化率、沉積速率快、生產(chǎn)效率更高、制備的膜層均勻致密、有很好的膜基結(jié)合力。但是在制備過程中容易形成大液滴,大液滴的形成會(huì)使膜層不均勻,產(chǎn)生殘余應(yīng)力,降低膜層性能[4]。

    電弧/濺射一體技術(shù)是將多弧離子鍍技術(shù)和磁控濺射技術(shù)結(jié)合使用,發(fā)揮兩種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn),消除兩種技術(shù)的缺陷,制備出大液滴更少、組織致密、成分均勻、膜基結(jié)合力更高的涂層。這種技術(shù)先使用多弧離子鍍技術(shù)轟擊基體表面,使基體表面產(chǎn)生原子量級(jí)的缺陷,便于離子在基體表面沉積,然后使用磁控濺射技術(shù)進(jìn)行離子沉積。使用電弧/濺射一體技術(shù)更容易制備性能更加優(yōu)異的多層薄膜。

    2 TiAlCrN硬質(zhì)涂層沉積工藝參數(shù)

    TiAlCrN 硬質(zhì)涂層沉積過程中需要經(jīng)歷:基體選擇、靶材選擇、N2分壓、襯底偏壓、沉積溫度等工藝參數(shù)的選擇,選擇不同的工藝參數(shù)將對(duì)制備的TiAlCrN 硬質(zhì)涂層性能產(chǎn)生影響[5]。

    靶材選擇主要對(duì)使用多弧離子鍍技術(shù)制備TiAlCrN 硬質(zhì)涂層產(chǎn)生較大影響,靶材選擇主要分為兩大類,第一類為靶材的成分選擇,使用不同含量的靶材制備出的TiAlCrN硬質(zhì)涂層成分也不同,成分選擇將在第三部分詳細(xì)闡述;第二類為直接選擇合金靶材還是多個(gè)靶材共用。多個(gè)靶材共用制備TiAlCrN,但是在沉積中多個(gè)靶材循環(huán)使用制得的TiAlCrN 涂層成分不均勻,且不能夠確定涂層各元素準(zhǔn)確的化學(xué)計(jì)量比,制備出的TiAlCrN 性能。直接利用合金靶材制備TiAlCrN 涂層,由于合金靶材的成分均勻?qū)τ趯?shí)驗(yàn)操作難度和參數(shù)的控制較為簡(jiǎn)便,更加容易制備出成分均勻致密的TiAlCrN 硬質(zhì)薄膜。

    因此在選擇靶材時(shí)更加偏向于直接利用合金靶材制備TiAlCrN 硬質(zhì)涂層。

    N2分壓主要對(duì)磁控濺射技術(shù)制備TiAlCrN 硬質(zhì)涂層產(chǎn)生影響,N2流量將會(huì)對(duì)涂層的沉積速度以及涂層的性能產(chǎn)生很大影響。當(dāng)N2流量的增加,TiAlCrN 涂層的沉積速度先增加后減小,在N2分壓在250ml/min 時(shí),沉積速度最快。當(dāng)N2分壓處于較低水平時(shí),隨著N2分壓的增加,會(huì)加快N2與濺射離子的反應(yīng),從而TiAlCrN 涂層的沉積速度增。當(dāng)N2分壓超過臨界值時(shí),此時(shí)較高的N2分壓會(huì)對(duì)減小離子自由程,阻礙離子轟擊,并且在較高的N2分壓狀態(tài)下,將會(huì)使靶材與N2反應(yīng)形成“靶中毒”現(xiàn)象,所以會(huì)使沉積速度下降。

    3 合金元素對(duì)TiAlCrN硬質(zhì)涂層性能的影響

    3.1 Cr 元素對(duì)TiAlCrN 硬質(zhì)涂層性能的影響

    不同Cr 含量的TiAlCrN 以及TiAlN 的表面形貌有較大影響,結(jié)果顯示出隨著Cr 含量的增加,涂層表面形貌逐漸平整,晶粒細(xì)化,表面粗糙度減??;在超過臨界情況下,又出現(xiàn)表面起伏,晶粒增大,表面粗糙度增加現(xiàn)象;與未添加Cr 的TiAlN 相比,涂層晶粒明顯細(xì)化且粗糙度變小。TiAlCrN 的XRD 圖,有明顯的(Ti,Cr)N(220)擇優(yōu)取向,而(Ti,Al)N(111)和(200)衍射峰較弱,說(shuō)明Cr 元素的加入影響擇優(yōu)取向。

    隨著Cr 元素含量增加,TiAlCrN 涂層的耐腐蝕性能增強(qiáng),且TiAlCrN 涂層的耐腐蝕性能明顯優(yōu)于TiAlN 涂層和不銹鋼[6]。這是由于材料的腐蝕一般先從晶界以及缺陷處開始,隨著Cr 含量的增加,涂層表面更加均勻致密、缺陷數(shù)減少、晶粒細(xì)化、晶界之間的縫隙減少,這樣材料的耐腐蝕性能顯著提高。

    TiAlCrN 涂層的硬度隨著Cr 含量的增加先提高后降,過高和過低的Cr 含量都會(huì)減少TiAlCrN 涂層的硬度。但是在TiAlN 涂層中加入Cr 元素后會(huì)提升其涂層硬度值。隨著Cr 含量的變化,TiAlCrN 涂層的彈性模量變化不大,說(shuō)明Cr 元素對(duì)TiAlCrN 涂層的彈性模量影響較小。

    TiAlCrN 涂層的膜基結(jié)合力在同類型膜層里較好,且在較高溫度下也能保持高的膜基結(jié)合力。這是因?yàn)門i、Al、Cr 在 濺 射 過 程 中 與N 反 應(yīng) 形 成TiN、Ti2N、AlN、CrN、Cr2N 等多晶相均勻彌散在膜層中且具有相似的晶格結(jié)構(gòu),TiAlCrN 涂層表面致密,晶粒細(xì)小在薄膜和基體之間連接緊密,無(wú)明顯的分界面,這種融合型界面可以使基體和涂層之間的結(jié)合力更高。

    3.2 Al 元素對(duì)TiAlCrN 硬質(zhì)涂層性能的影響

    Al 含 量 決 定 了TiAlCrN 涂 層 相 組 成,在 低Al(小于60%)含量的TiAlCrN 涂層中,改變制備過程中的其他參數(shù),涂層始終是fcc 結(jié)構(gòu),在較高Al(60-70%)含量TiAlCrN 涂層中,改變制備時(shí)的工藝參數(shù),涂層最終可能為fcc、hcp 或者兩者混合結(jié)構(gòu)。在更高的Al(大于75%)含量的TiAlCrN 涂層中,含有較多的hcp 相,明顯提升了涂層的抗高溫氧化性能,但是較大程度損害了機(jī)械性能,并不能在工業(yè)中應(yīng)用。

    當(dāng)TiAlCrN 涂層保持fcc 結(jié)構(gòu)時(shí),膜層均勻穩(wěn)定,有非常好的硬度,hcp 結(jié)構(gòu)的TiAlCrN 涂層硬度很差,雖然此時(shí)的Al 含量較高,鍍層有著較好的抗氧化性,但在鍍層中有hcp-AlN 相,對(duì)鍍層的硬度損傷很大,所以要控制Al 含量使鍍層保持在fcc 結(jié)構(gòu)時(shí),在工業(yè)生產(chǎn)中有更好的應(yīng)用[7]。

    4 結(jié)語(yǔ)

    從現(xiàn)有對(duì)于TiAlCrN 硬質(zhì)涂層的研究中表明,TiAlCrN 硬質(zhì)涂層相比較TiAlN 涂層在性能上有很大的提高,說(shuō)明Cr 的引入對(duì)于涂層性能有很大提升。但對(duì)于最佳Cr、Al 元素含量的確定以及最佳工藝參數(shù)的選擇仍未得到解決,并且目前對(duì)于TiAlCrN 涂層中加入其它微量元素的研究較少,為了提高涂層的使用性能,滿足更加嚴(yán)格的使用條件,應(yīng)加大對(duì)于這一方面的研究。

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