基于直角錐面變形鏡的薄管激光光束質(zhì)量提升新方法*

何婷 田博宇 邱蝶 張彬

(四川大學(xué)電子信息學(xué)院, 成都 610064)

針對(duì)大遮攔比窄環(huán)寬薄管激光光束質(zhì)量提升需求, 提出了一種基于直角錐面變形鏡的薄管激光光束質(zhì)量提升新方法.采用直角錐面實(shí)現(xiàn)薄管激光離軸像差的自校正, 再利用驅(qū)動(dòng)單元控制直角錐面變形鏡的形變來(lái)進(jìn)一步校正殘余像差, 進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)薄管激光光束質(zhì)量的提升.以48單元直角錐面變形鏡為例, 利用有限元分析方法建立了直角錐面變形鏡的物理模型, 分析了直角錐面變形鏡對(duì)薄管激光畸變波前的校正能力.結(jié)果表明, 基于直角錐面變形鏡的薄管激光光束質(zhì)量提升新方法能夠有效校正大遮攔比窄環(huán)寬薄管激光的波前畸變, 顯著提升薄管激光光束質(zhì)量.

1 引 言

“之”字形光路薄管固體激光器(solid-state zigzag tube lasers, SSZTLs)作為一種新型固體激光光源[1], 具有輸出功率高、無(wú)邊界效應(yīng)、熱穩(wěn)定性強(qiáng)及結(jié)構(gòu)緊湊等突出優(yōu)勢(shì)[2?5], 在強(qiáng)激光技術(shù)領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用價(jià)值.然而, 由于其增益介質(zhì)呈管狀結(jié)構(gòu), SSZTLs對(duì)加工誤差及裝調(diào)偏差極為敏感[6], 導(dǎo)致其輸出光束質(zhì)量較差, 難以滿足應(yīng)用需求.特別是SSZTLs的輸出光束具有大口徑、大遮攔比的特點(diǎn), 其輸出光束質(zhì)量管控具有極高的難度與挑戰(zhàn)[7?10].基于自適應(yīng)光學(xué)的光束凈化技術(shù)在利用變形鏡補(bǔ)償光束波前畸變[11], 改善激光器光束質(zhì)量的同時(shí), 還能夠有效地提高激光器的輸出功率[12].傳統(tǒng)的雙壓電變形鏡[13?15]、薄膜變形鏡[16?18]、微機(jī)電變形鏡[19?22]受限于驅(qū)動(dòng)器空間密度與口徑等問(wèn)題, 均難以適用于這類大口徑窄環(huán)寬環(huán)形光束的校正.Sun等[23]提出了一種掠入射式桶形變形鏡, 利用軸棱錐對(duì)窄環(huán)寬環(huán)形光束進(jìn)行整形, 使其掠入射至桶形變形鏡反射面, 通過(guò)大幅增加光束有效面積來(lái)改善校正效果, 出射光束最終再通過(guò)一組軸棱錐整形恢復(fù)為原始光強(qiáng)分布.

當(dāng)SSZTLs存在加工誤差和裝調(diào)偏差時(shí), 輸出光束存在一系列以傾斜、離焦、像散和慧差為主的低階波像差[24?26], 嚴(yán)重影響光束質(zhì)量.通過(guò)引入直角錐面反射鏡可使光束傳輸路徑沿薄管徑向翻轉(zhuǎn),并再次返回管狀增益介質(zhì)內(nèi)部傳輸, 實(shí)現(xiàn)離軸像差的校正[27].在此基礎(chǔ)上, 本文進(jìn)一步提出基于直角錐面變形鏡的薄管激光光束質(zhì)量提升新方法, 即通過(guò)直角錐面的離軸像差自補(bǔ)償效應(yīng)實(shí)現(xiàn)離軸像差的校正, 而通過(guò)控制直角錐面變形鏡的驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)殘余像差的校正, 從而實(shí)現(xiàn)薄管激光光束質(zhì)量的全面提升.同時(shí), 其對(duì)薄管激光器的體積影響較小,且能夠有效地提高薄管激光器的輸出功率.以48單元直角錐面變形鏡為例, 基于薄管激光具有的波像差特性, 對(duì)直角錐面變形鏡的結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化, 并進(jìn)一步分析了直角錐面變形鏡對(duì)薄管同心度誤差、薄管平行度誤差、薄管錐度誤差以及光源平行度誤差等主要加工及裝調(diào)誤差的校正效果.

2 理論模型

基于直角錐面變形鏡的薄管激光光束質(zhì)量改善新方法, 其基本思想是: 利用薄管構(gòu)型中任意徑向?qū)ΨQ分布光路的光學(xué)共軛特性來(lái)實(shí)現(xiàn)離軸像差的自補(bǔ)償, 進(jìn)而利用驅(qū)動(dòng)單元控制直角錐面變形鏡形變補(bǔ)償殘余像差.該方法具備以下優(yōu)勢(shì): 1)無(wú)需光束整形且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單, 易于裝調(diào)和控制; 2)采用直角錐面可以使窄環(huán)寬環(huán)形光束在直角錐面變形鏡鏡面上的有效面積增大為倍; 3)光束在直角錐面變形鏡鏡面上的對(duì)稱位置會(huì)反射兩次, 可以增大變形鏡的有效行程.

本文基于薄管激光器中薄管放大單元的加工誤差與裝調(diào)偏差來(lái)說(shuō)明直角錐面變形鏡對(duì)薄管激光畸變波前的校正.圖1為基于直角錐面變形鏡的薄管激光畸變波前校正原理示意圖.其中, 直角錐面變形鏡作為薄管激光振蕩器腔外校正鏡, 實(shí)現(xiàn)薄管激光畸變波前校正.圖1中包含兩類加工誤差與裝調(diào)偏差: 一類是薄管激光器的加工誤差與裝調(diào)偏差, 包括: 薄管內(nèi)外壁軸線偏移量Δx引起的同心度誤差, 薄管內(nèi)外壁軸線夾角Δθ引起的平行度誤差, 薄管端帽錐角偏差Δθa引起的錐度誤差以及光源與薄管軸線夾角Δθs引起的光源平行度誤差;第二類為直角錐面變形鏡的加工誤差與裝調(diào)偏差,包括: 直角錐面變形鏡軸線與薄管激光器軸線夾角Δθr引起的對(duì)準(zhǔn)誤差, 直角錐面變形鏡的錐角偏差Δα引起的錐度誤差.α表示直角錐面變形鏡的半錐角.

圖1 基于直角錐面變形鏡的薄管激光畸變波前校正原理示意圖Fig.1.The principle schematic diagram of tube laser distortion wavefront correction based on the right-angle cone deformable mirror.

圖2 (a)為變形鏡后表面的驅(qū)動(dòng)器分布示意圖.變形鏡后表面覆蓋四圈驅(qū)動(dòng)器, 每圈排布12個(gè)驅(qū)動(dòng)器, 第一圈與第四圈設(shè)計(jì)為副驅(qū)動(dòng)器, 第二圈與第三圈設(shè)計(jì)為主驅(qū)動(dòng)器.主驅(qū)動(dòng)器與副驅(qū)動(dòng)器角向排布偏移15°形成互補(bǔ)關(guān)系, 并共同進(jìn)行像差校正.圖2(b)為變形鏡側(cè)視圖, 驅(qū)動(dòng)器垂直于鏡面母線,直角錐面變形鏡高H, 后表面底半徑為RDo, 頂部半徑為RDi, 前表面底半徑為rDo, 頂部半徑為rDi.主驅(qū)動(dòng)器外圈角向間距為ΔCmain_o, 主驅(qū)動(dòng)器內(nèi)圈角向間距為ΔCmain_i, 副驅(qū)動(dòng)器外圈角向間距為ΔCsub_o, 副驅(qū)動(dòng)器內(nèi)圈角向間距為ΔCsub_i, 內(nèi)外圈主驅(qū)動(dòng)器徑向間距為ΔHmain, 內(nèi)、外圈副驅(qū)動(dòng)器徑向間距ΔHsub.

圖2 直角錐面變形鏡驅(qū)動(dòng)器分布示意圖 (a) 變形鏡后表面視圖; (b) 變形鏡側(cè)視圖Fig.2.Schematic diagram of drive units arrangement of the right-angle cone deformable mirror: (a) Rear surface of deformable mirror; (b) side view of deformable mirror.

直角錐面變形鏡的驅(qū)動(dòng)單元垂直于其母線分布, 因此直角錐面變形鏡極頭的實(shí)際作用位移所引起的環(huán)形光束補(bǔ)償量是鏡面形變量在光束波面法線方向上的分量.實(shí)際上, 直角錐面變形鏡可等效為環(huán)形平面變形鏡, 等效變形鏡如圖3所示.?cmain_i, ?cmain_o表示內(nèi)外圈主驅(qū)動(dòng)器角向間距,?csub_o, ?csub_i表示內(nèi)外圈副驅(qū)動(dòng)器角向間距,?hmain表示主驅(qū)動(dòng)器徑向間距, ?hsub表示副驅(qū)動(dòng)器徑向間距, γ表示驅(qū)動(dòng)器角向夾角.

圖3 等效變形鏡示意圖Fig.3.The diagram of equivalent deformable mirror.

夏克哈特曼波前傳感器與自適應(yīng)閉環(huán)校正算法通常應(yīng)用于XOY二維平面, 因而需要對(duì)直角錐面變形鏡鏡面有效形變區(qū)域進(jìn)行坐標(biāo)變換, 如圖4所示.

圖4 坐標(biāo)變換示意圖Fig.4.The diagram of coordinate transformation.

以出射環(huán)形光束中心為坐標(biāo)原點(diǎn)建立柱面坐標(biāo)系, ρ軸指向環(huán)形光束徑向, 出射光束沿Z軸傳輸至直角錐面變形鏡.Am為環(huán)形光束環(huán)寬中點(diǎn)處任意一位置, 其柱坐標(biāo)系下的坐標(biāo)為(rm, θ, 0).dD表示原點(diǎn)沿Z軸至直角錐面變形鏡底部的距離.dm為Am沿Z軸至的距離.由幾何關(guān)系可以得到直角錐面變形鏡前表面底半徑rDo、半錐角α,Am點(diǎn)矢徑rm、距離dm及dD的關(guān)系, 即

在環(huán)形光束上任取一點(diǎn)Ao, 其柱坐標(biāo)系下的坐標(biāo)表示為(rA, θ, 0).為Ao入射至直角錐面變形鏡上的入射點(diǎn), 其柱坐標(biāo)系下坐標(biāo)為(rA, θ, zA),于是, 由幾何關(guān)系并結(jié)合(1)式可得

聯(lián)立(1)式與(2)式, 可推導(dǎo)出平面坐標(biāo)系與柱面坐標(biāo)系的變換關(guān)系為

3 結(jié)果與分析

在實(shí)際應(yīng)用中, 由于薄管激光系統(tǒng)的裝調(diào)偏差以及管狀增益介質(zhì)加工誤差, 不可避免地會(huì)造成薄管激光光束質(zhì)量的退化.其中, 薄管同心度誤差Δx、薄管平行度誤差Δθ、薄管端帽錐角的錐度誤差Δθa、光源平行度誤差Δθs是主要的誤差來(lái)源,會(huì)導(dǎo)致輸出光束存在以傾斜、離焦、像散和慧差為主的一系列低階波像差, 最終造成薄管激光光束質(zhì)量退化, 嚴(yán)重影響薄管激光器的實(shí)際應(yīng)用.其中,薄管同心度誤差對(duì)光束質(zhì)量的影響最為嚴(yán)重也最難控制, 因而本文以薄管同心度誤差為例進(jìn)行分析.圖5給出薄管增益介質(zhì)具有1 μm同心度誤差時(shí)輸出光束畸變波前的波像差分解及遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布.

圖5 薄管同心度誤差為1 μm時(shí)的波像差分解及遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布 (a) 薄管同心度誤差1 μm時(shí)畸變波前波像差分解; (b) 遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布Fig.5.The wavefront aberration decomposition and far-filed intensity distributions with the concentricity error of 1 μm: (a) The wavefront aberration decomposition; (b) far-filed intensity distribution.

分析圖5(a)可知, 當(dāng)薄管同心度誤差為1 μm時(shí), 薄管激光波像差主要包含以傾斜和慧差為主的離軸像差及以像散為主的軸上像差, 其中傾斜占比最大.從圖5(b)可看出, 遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布近似為環(huán)形, β因子為3.7, 光束質(zhì)量較差, 難以滿足實(shí)際應(yīng)用需求,需要采取必要手段對(duì)其光束質(zhì)量進(jìn)行有效改善.

3.1 直角錐面變形鏡參數(shù)優(yōu)化

一般情況下, 在制備加工允許的范圍內(nèi), 變形鏡驅(qū)動(dòng)器密度越大, 變形鏡校正能力越好.此外,變形鏡的校正能力還與驅(qū)動(dòng)器半徑及間距密切相關(guān).由于薄管激光的主要波像差為傾斜、離焦、像散和慧差等低階波像差, 而離軸像差可通過(guò)直角錐面的自補(bǔ)償效應(yīng)進(jìn)行校正.因此, 取環(huán)域離焦、環(huán)域像散作為待校正波前, 分析驅(qū)動(dòng)器半徑及主驅(qū)動(dòng)器徑向間距對(duì)變形鏡校正能力的影響.假設(shè)待校正波前峰谷(peak-valley, PV)值為1 μm, 以單一驅(qū)動(dòng)單元的面形影響函數(shù)作為基底函數(shù)獲得完整面形變形函數(shù), 利用最小二乘法反演獲得各驅(qū)動(dòng)器所施加的驅(qū)動(dòng)位移得到擬合面形, 進(jìn)而得到殘余波前[28].圖6給出了殘余波前PV值隨驅(qū)動(dòng)器半徑及主驅(qū)動(dòng)器徑向間距的變化.

從圖6可以看出, 驅(qū)動(dòng)器半徑取1.5 mm、主驅(qū)動(dòng)器徑向間距取11 mm時(shí), 環(huán)域離焦與環(huán)域像散均能得到較好的校正.后續(xù)討論中, 將48單元直角錐面變形鏡驅(qū)動(dòng)器半徑選取為1.5 mm, 主驅(qū)動(dòng)器徑向間距為11 mm.

圖6 直角錐面變形鏡的參數(shù)優(yōu)化 (a) 環(huán)域離焦殘余波前PV值隨驅(qū)動(dòng)器半徑與主驅(qū)動(dòng)器徑向間距的變化; (b) 環(huán)域像散殘余波前PV值隨驅(qū)動(dòng)器半徑與主驅(qū)動(dòng)器徑向間距的變化Fig.6.Parameters optimization: (a) The PV variation of annular defocusing residual wavefront; (b) the PV variation of annular astigmatism residual wavefront.

基于上述優(yōu)化結(jié)果得到直角錐面變形鏡參數(shù)如下: 鏡面材料為BK7玻璃[23], 鏡面厚度HM為2 mm, 驅(qū)動(dòng)器材料為壓電陶瓷(piezoelectric, PZT),半徑r為1.5 mm, 高HP為3 mm.表1和 表2分別列出了變形鏡材料力學(xué)參數(shù)和結(jié)構(gòu)參數(shù).

表1 材料力學(xué)參數(shù)Table 1.Material parameters.

表2 直角錐面變形鏡變形鏡結(jié)構(gòu)參數(shù)Table 2.The parameters of the right-angle cone deformable mirror.

3.2 直角錐面變形鏡的校正效果分析

基于直角錐面變形鏡的結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化結(jié)果, 進(jìn)一步分析了直角錐面變形鏡對(duì)薄管激光畸變波前的校正能力.為了評(píng)估直角錐面變形鏡對(duì)薄管激光畸變波前的校正能力, 首先利用理想加工和裝調(diào)的直角錐面變形鏡對(duì)單一誤差下薄管激光畸變波前進(jìn)行校正.圖7給出了校正前后光束質(zhì)量β因子隨主要加工及裝調(diào)誤差的變化.由圖7可知, 在未使用直角錐面變形鏡時(shí), 隨著加工及裝調(diào)誤差的增大, 薄管激光光束質(zhì)量迅速退化.當(dāng)使用直角錐面變形鏡校正后, β因子均降到1.02以下, 從而驗(yàn)證了直角錐面變形鏡可有效地抑制薄管激光器的主要加工誤差和裝調(diào)誤差, 包括薄管同心度誤差、薄管平行度誤差、薄管錐度誤差及光源平行度誤差引起的光束質(zhì)量退化.

圖7 校正前后β因子變化 (a) β因子隨薄管同心度誤差變化; (b) β因子隨薄管平行度誤差變化; (c) β因子隨薄管錐度誤差變化; (d) β因子隨光源平行度誤差變化Fig.7.The curves of β factor: (a) Tube’s concentricity error; (b) tube’s parallelism error; (c) tube’s taper error; (d) source’s parallelism error.

在實(shí)際應(yīng)用中, 薄管激光器通常不只含有單一加工誤差和裝調(diào)偏差, 其光束質(zhì)量的退化是多誤差耦合作用的結(jié)果.參考之前的理論研究工作[6,27],本文進(jìn)一步分析直角錐面變形鏡對(duì)不同程度的薄管加工誤差及裝調(diào)偏差引起的波前畸變的校正效果, 如圖8所示.圖8(a)—(c)分別為薄管同心度誤差Δx為1 μm、薄管平行度誤差Δθ為5 μrad、薄管錐度誤差Δθa為100 μrad、光源平行度誤差Δθs為100 μrad時(shí), 薄管同心度誤差Δx為0.5 μm、薄管平行度誤差Δθ為15 μrad、薄管錐度誤差Δθa為150 μrad、光源平行度誤差Δθs為200 μrad時(shí), 薄管同心度誤差Δx為1 μm、薄管平行度誤差Δθ為10 μrad、薄管錐度誤差Δθa為200 μrad、光源平行度誤差Δθs為150 μrad時(shí), 不采取校正措施(第一列)、直角錐自校正(第二列)及直角錐面變形鏡校正后(第三列)的遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布及光束質(zhì)量β因子.從圖8(a)—(c)第一列可以看出, 在沒(méi)有采取任何校正措施的情況下, 由于加工及裝調(diào)誤差的存在, 薄管激光的遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布出現(xiàn)明顯畸變, 能量集中度下降.由圖8(a)—(c)第二列可知,利用直角錐的自補(bǔ)償效應(yīng)校正離軸像差后, 光束質(zhì)量明顯提升.圖8(a)—(c)第三列表明, 在直角錐自校正的基礎(chǔ)上, 進(jìn)一步結(jié)合直角錐面變形鏡的鏡面形變對(duì)殘余像差進(jìn)行校正后, 能量集中度大幅度提升, 光束質(zhì)量顯著改善, β因子降至接近1.由此可見(jiàn), 直角錐面變形鏡可有效地校正加工及裝調(diào)誤差導(dǎo)致的薄管激光波前畸變, 顯著提升薄管激光光束質(zhì)量.

圖8 多誤差耦合作用下校正前后遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布及β因子 (a) Δx = 1 μm, Δθ = 5 μrad, Δθa = 100 μrad, Δθs = 100 μrad;(b) Δx = 0.5 μm, Δθ = 15 μrad, Δθa = 150 μrad, Δθs = 200 μrad; (c) Δx = 1 μm, Δθ = 10 μrad, Δθa = 200 μrad, Δθs = 150 μradFig.8.Far-filed intensity distributions and β factor before and after correction under multi-error coupling: (a) Δx = 1 μm, Δθ =5 μrad, Δθa = 100 μrad, Δθs = 100 μrad; (b) Δx = 0.5 μm; Δθ = 15 μrad; Δθa = 150 μrad; Δθs = 200 μrad; (c) Δx = 1 μm, Δθ =10 μrad, Δθa = 200 μrad; Δθs = 150 μrad.

為進(jìn)一步說(shuō)明直角錐面變形鏡在實(shí)際應(yīng)用中的可行性, 進(jìn)一步分析了直角錐面變形鏡存在錐度誤差和對(duì)準(zhǔn)誤差時(shí), 其對(duì)不同程度的加工誤差及裝調(diào)偏差耦合作用下的薄管激光畸變波前的校正效果.計(jì)算中, 薄管激光參數(shù)與圖8一致.基于數(shù)值仿真研究結(jié)果[29], 假設(shè)直角錐面變形鏡同時(shí)具有20 μrad錐度誤差及10 mrad對(duì)準(zhǔn)誤差, 并采用相同錐度誤差和對(duì)準(zhǔn)誤差的直角錐作為對(duì)照組, 分別給出了直角錐及直角錐面變形鏡校正后的薄管激光遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布及光束質(zhì)量β因子, 如圖9所示.

圖9 非理想直角錐面變形鏡校正后遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)分布及β因子 (a) Δx = 1 μm, Δθ = 5 μrad, Δθa = 100 μrad, Δθs = 100 μrad;(b) Δx = 0.5 μm, Δθ = 15 μrad, Δθa = 150 μrad, Δθs = 200 μrad; (c) Δx = 1 μm, Δθ = 10 μrad, Δθa = 200 μrad, Δθs = 150 μradFig.9.Comparisons of far-filed intensity distribution and β factor under nonideal circumstances: (a) Δx = 1 μm, Δθ = 5 μrad,Δθa = 100 μrad, Δθs = 100 μrad; (b) Δx = 0.5 μm, Δθ = 15 μrad, Δθa = 150 μrad, Δθs = 200 μrad; (c) Δx = 1 μm, Δθ =10 μrad, Δθa = 200 μrad, Δθs = 150 μrad.

從圖9(a)—(c)第一行可以看出, 僅采用直角錐鏡進(jìn)行自校正時(shí), 由于受到其自身加工裝調(diào)誤差的影響, 薄管激光的能量集中度顯著下降, 光束質(zhì)量嚴(yán)重退化.在圖9(a)—(c)第二行可以看出, 直角錐面變形鏡的校正能力受到加工裝調(diào)誤差的影響較小, 薄管激光光束質(zhì)量仍得到了顯著的改善.分析其原因在于: 直角錐面變形鏡的加工誤差及裝調(diào)偏差可通過(guò)直角錐面變形鏡自身的鏡面形變進(jìn)行補(bǔ)償.由此可見(jiàn), 在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中, 即使當(dāng)直角錐面變形鏡存在一定程度的加工誤差及裝調(diào)偏差時(shí), 直角錐面變形鏡仍然能有效改善薄管激光光束質(zhì)量.

4 結(jié) 論

為改善窄環(huán)寬薄管激光光束質(zhì)量, 我們提出了一種基于直角錐面變形鏡的薄管激光光束質(zhì)量改善新方法.該方法通過(guò)直角錐面對(duì)薄管激光的自補(bǔ)償效應(yīng)以校正離軸像差, 再利用驅(qū)動(dòng)單元控制直角錐面變形鏡的形變來(lái)校正殘余像差, 從而實(shí)現(xiàn)對(duì)薄管激光畸變波前的校正.本文以48單元直角錐面變形鏡為例, 基于薄管激光波像差特性, 對(duì)48單元直角錐面變形鏡的驅(qū)動(dòng)器半徑與主驅(qū)動(dòng)器徑向間距進(jìn)行優(yōu)化.在此基礎(chǔ)上, 模擬分析了直角錐面變形鏡對(duì)薄管激光加工和裝調(diào)誤差引起的波前畸變的校正效果.結(jié)果表明, 針對(duì)薄管激光器的加工及裝調(diào)誤差引起的光束質(zhì)量嚴(yán)重退化問(wèn)題, 利用本文提出的薄管激光光束質(zhì)量改善新方法, 經(jīng)過(guò)直角錐面變形鏡校正后, 薄管激光的光束質(zhì)量能得到顯著提升.同時(shí), 該方法不僅僅適用于大遮攔比窄環(huán)寬激光器, 通過(guò)優(yōu)化器件體積、口徑、驅(qū)動(dòng)器排布方式等, 亦可用于遮攔比較小的環(huán)形光束和實(shí)心光束.需要指出的是, 相較于傳統(tǒng)變形鏡, 對(duì)于這類小遮攔比和實(shí)心光束, 直角錐面變形鏡并不具備獨(dú)特的優(yōu)越性.此外, 本文提出的薄管激光光束質(zhì)量改善新方法在高階像差及非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱光束的校正上具有局限性, 在實(shí)際應(yīng)用中, 應(yīng)結(jié)合具體應(yīng)用場(chǎng)景綜合考慮予以使用.