金懷智,李新娥,王 睿,楊偉藝,顧 攀
(中北大學(xué) 電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,山西 太原 030051)
微小位移測(cè)量經(jīng)過(guò)多年的研究取得了長(zhǎng)足的發(fā)展,是精密測(cè)量技術(shù)的研究熱點(diǎn)之一[1],測(cè)量方法有以下幾種:激光傳感器、LVDT傳感器、PSD位置敏感器件、電容位移傳感器等[1,2]。本文所測(cè)系統(tǒng)為三維容柵位移系統(tǒng),主要特征是容柵傳感器電極呈柵極分布,具有測(cè)量精度高、運(yùn)行速度快、體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、總體功耗低等優(yōu)點(diǎn),是狹小空間微小位移測(cè)量的理想儀器[3]。
最小二乘法(ordinary least square,OLS)是對(duì)未知參數(shù)估計(jì)的強(qiáng)大數(shù)學(xué)工具,具有無(wú)偏性和有效性[4]。最小二乘法在解決目標(biāo)函數(shù)最優(yōu)解問(wèn)題時(shí),會(huì)人為地忽略誤差方程系數(shù)矩陣中的隨機(jī)誤差,這種含有離群值的線性估計(jì),結(jié)果會(huì)受到不良影響,甚至產(chǎn)生錯(cuò)誤結(jié)論,因此需要一種穩(wěn)健回歸解決上述問(wèn)題。
對(duì)現(xiàn)有線性回歸模型進(jìn)行研究,提出使用M估計(jì)加權(quán)最小二乘法線性回歸分析三維容柵微小位移。通過(guò)理論推導(dǎo)確定基本模型,并對(duì)測(cè)量位移進(jìn)行正態(tài)性分析,確保模型為線性系統(tǒng);采用Huber robust函數(shù)作為加權(quán)函數(shù),具有較高的穩(wěn)健性和估計(jì)效率;使用皮爾遜相關(guān)系數(shù)分析法驗(yàn)證測(cè)量值和預(yù)測(cè)值的相關(guān)性。實(shí)驗(yàn)測(cè)試結(jié)果表明,該算法在有離群值時(shí)具有良好的擬合效果,系統(tǒng)參數(shù)估計(jì)更準(zhǔn)確、穩(wěn)定,對(duì)三維容柵微小位移系統(tǒng)的安裝調(diào)試具有顯著指導(dǎo)作用。
容柵傳感器由多條平板電容并聯(lián),主要的工作部件為靜柵和動(dòng)?xùn)臶5],如圖1所示。當(dāng)動(dòng)?xùn)藕雎赃吘壭?yīng)時(shí),單塊柵極的初始電容和正對(duì)面積記為C0和S0,容柵傳感器的電容為
圖1 容柵結(jié)構(gòu)
(1)
式中:n為傳感器柵極條數(shù),ε0為真空介電常數(shù),近似為8.854×10-12F/m,εr為板級(jí)間介質(zhì)的相對(duì)介電常數(shù),ε為總體介電常數(shù),S0為單條柵極極間相對(duì)面積,S為總極間相對(duì)面積。
本設(shè)計(jì)共有3個(gè)通道,分別是通道1(動(dòng)?xùn)臱)、通道2(動(dòng)?xùn)臲)、通道3(動(dòng)?xùn)臵),安裝在其中一個(gè)同心球外側(cè),代表著XYZ這3個(gè)方向的位移,其共同的靜柵被安裝于另一個(gè)同心球內(nèi)側(cè)。
三維容柵微小位移測(cè)試系統(tǒng)信號(hào)采集單元原理框架如圖2所示。
圖2 采集單元原理框架
4個(gè)恒流源給容柵傳感器供電,使用電子開(kāi)關(guān)開(kāi)闔傳感器。由于容柵傳感器的電容變化量很微小(約為1 pF/0.05 mm),電磁干擾,溫度變化引起的噪聲信號(hào)會(huì)在單路放大器輸入端產(chǎn)生共模干擾。采用差分放大電路可以很好地解決這個(gè)問(wèn)題,達(dá)到放大差模信號(hào)、抑制共模信號(hào)的目的。
任一通道電容與電壓的關(guān)系
(2)
式(2)和式(1)聯(lián)立得
(3)
式中:U為傳感器兩端模擬電壓,Q為直流源輸出電荷量。
本設(shè)計(jì)通過(guò)電子開(kāi)關(guān)實(shí)現(xiàn)PWM波開(kāi)關(guān)控制,當(dāng)動(dòng)?xùn)虐l(fā)生位移造成相對(duì)面積的改變所引起的電容值變化,可判斷微小位移的大小及方向。
三維容柵傳感器微小位移測(cè)量系統(tǒng)是為了測(cè)量?jī)蓚€(gè)同心球的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)情況,容柵傳感器具有結(jié)構(gòu)輕薄的特點(diǎn),可以便捷安裝在球體表面和內(nèi)側(cè)。
據(jù)文獻(xiàn)[2]中對(duì)二維容柵微小位移系統(tǒng)的研究,三維傳感器采取正交式安裝方法,以XY坐標(biāo)軸形成一個(gè)平面,再向上取一個(gè)與XY都正交的Z軸,形成三維坐標(biāo)系。容柵傳感器布置在兩個(gè)同心球體表面,由于球面具有較大曲率,故安裝傳感器時(shí)可將其等效為4塊平面容柵傳感器,其中一個(gè)球面內(nèi)側(cè)安裝一塊接收級(jí)(靜柵),另一個(gè)球面外側(cè)安裝3塊相互正交的發(fā)射極(動(dòng)?xùn)?,每一組動(dòng)、靜柵測(cè)量一個(gè)方向的位移變化,如圖3(a)所示。
圖3 容刪安裝及改進(jìn)
實(shí)際安裝時(shí),當(dāng)動(dòng)、靜柵均采用方形的容柵傳感器時(shí),拿X通道分析,初始相對(duì)面積為Sx0,靜、動(dòng)?xùn)胚呴L(zhǎng)為L(zhǎng),三通道位移分別為x、y、z,由于容柵傳感柵極間的d由同心球間距決定,分析時(shí)認(rèn)為d為定值,其電壓模型為
(4)
式(4)在模型分析時(shí),X通道的電壓涉及兩個(gè)方向的位移,模型參數(shù)較為復(fù)雜,不適合在操作現(xiàn)場(chǎng)做參數(shù)估計(jì)。為了避免不同通道位移相互影響,使用3塊10 mm×10 mm的靜柵,與先前無(wú)異,成品字形排布;使用3塊5 mm×10 mm的動(dòng)?xùn)?,寬度縮小一半,當(dāng)Z方向發(fā)生位移時(shí),X通道由于靜柵寬度大于動(dòng)?xùn)艑挾?,在量程范圍?nèi)(0.3 mm~1 mm)Z方向的位移不對(duì)ΔSX產(chǎn)生影響,改進(jìn)后的安裝布置如圖3(b)所示。
3個(gè)通道相互獨(dú)立,對(duì)通道X做分析,根據(jù)式(4)可知其電壓位移模型為
(5)
其中,k=Q/ε,x、y、z為3個(gè)方向的位移量,Sx0、Sy0、Sz0為動(dòng)?xùn)排c靜柵的初始相對(duì)面積,L為靜柵邊長(zhǎng)。分別對(duì)三通道使用此位移模型,并做變形以適應(yīng)線性回歸系統(tǒng)
(6)
一般情況下,容柵傳感器的電場(chǎng)在柵極邊緣處不能均勻分布,產(chǎn)生邊緣效應(yīng),是傳感器設(shè)計(jì)過(guò)程中必須要考慮的因素。邊緣效應(yīng)導(dǎo)致傳感器靈敏度下降和電容值非線性增加,實(shí)際電容值在理論電容值基礎(chǔ)上加上附加電容值,即:C實(shí)際=C理論+C邊緣。
C邊緣不是一個(gè)常量,其與柵極數(shù)量、柵極厚度、柵極間距均有關(guān)聯(lián),且在傳感器信號(hào)動(dòng)態(tài)變化時(shí)尤為嚴(yán)重[6]。在加工工藝、成本制造等各方面因素影響下,盡可能減小極板間距和極板厚度、控制柵極對(duì)數(shù)并適當(dāng)增大初始電容C0,使邊緣效應(yīng)造成的影響最小[7]。
2.3.1 M估計(jì)背景
M估計(jì)(maximum likelihood type estimation,M-Estimation)是一種迭代加權(quán)最小二乘法,屬于穩(wěn)健回歸的一種[8],由Huber于1964年提出,也被稱為廣義最大似然估計(jì),其原理是給每個(gè)樣本點(diǎn)不同的權(quán)重,偏差較大的樣本點(diǎn)權(quán)重小,偏差較小的樣本點(diǎn)權(quán)重大,異常點(diǎn)出現(xiàn)時(shí)不會(huì)對(duì)擬合方程產(chǎn)生較大影響。
2.3.2 M估計(jì)運(yùn)算準(zhǔn)則
M估計(jì)的運(yùn)算方法有很多,而迭代加權(quán)法(iteratively reweighted least squares,IRLS)由于其算法類似于最小二乘法,易于編寫和移植,故而得到廣泛的應(yīng)用。
對(duì)于有i個(gè)影響因素的自變量矩陣X=[x1,x2,…,xi],其與因變量Y的關(guān)系如下
Y=β1x1+β2x2+…+βixi+b
(7)
最小二乘法的殘差函數(shù)為
(8)
運(yùn)算準(zhǔn)則為
(9)
M估計(jì)采用迭代加權(quán)最小二乘回歸系數(shù),根據(jù)前一次回歸殘差確定各樣本權(quán)重,殘差函數(shù)被改寫為
(10)
則M估計(jì)的運(yùn)算準(zhǔn)則為
(11)
ρ為影響函數(shù),一般滿足以下條件[9]:
(1)ρ(r)≥0;
(2)ρ(0)=0;
(3)ρ(-r)=ρ(r);
(4)If|ri|≥|rj|,thenρ(ri)≥ρ(rj)。
為了保證M估計(jì)的回歸系數(shù)通因變量的觀測(cè)單位無(wú)關(guān),希望M估計(jì)結(jié)果具有尺度同變形,即滿足
(12)
為滿足上式條件,估計(jì)回歸系數(shù)β需將殘差ri標(biāo)準(zhǔn)化,除以某個(gè)尺度參數(shù)σ,得到標(biāo)準(zhǔn)化殘差ri/σ。
M估計(jì)的運(yùn)算準(zhǔn)則即定義為如下
(13)
實(shí)際運(yùn)算中,Hampel于1974年提出以ri(β)觀察點(diǎn)的絕對(duì)離差中位數(shù)(median absolute deviation,MAD),除以常數(shù)0.6745作為穩(wěn)健估計(jì)尺度σ[10]。
MAD是一種衡量數(shù)據(jù)離散分布的魯棒性測(cè)量方法,同時(shí)也可表示樣本的總體參數(shù)。對(duì)于單變量數(shù)據(jù)集M=[M1,M2,…Mn],其MAD公式為
MAD=median(|Mi-median(M)|)
(14)
2.3.3 常用的影響函數(shù)
在穩(wěn)健估計(jì)中,有幾種常用的影響函數(shù),以及對(duì)應(yīng)的導(dǎo)函數(shù)和權(quán)因子:
(1)最小二乘法
最小二乘法是一種特殊的M估計(jì)
Ψ(u)=u
(2)絕對(duì)和極小法(LAD估計(jì))
ρ(u)=|u|
Ψ(u)=sign(u)
LAD估計(jì)又稱L1估計(jì),是Lp估計(jì)的一種,p值越小,β收斂到最小值需要的迭代次數(shù)越多,是一種較為準(zhǔn)確但收斂較慢的影響函數(shù)。
(3)Huber法
本文選用Huber loss[11,12],降低了對(duì)離群點(diǎn)的懲罰程度,適合數(shù)據(jù)接近正態(tài)分布的情況,是一種具有良好魯棒性的影響函數(shù)。
Huber提出一種加權(quán)函數(shù)[11-13]
|u|≤c
|u|≥c
Ψ(u)=u
|u|≤c
=c·sign(u)
|u|≥c
其中,c是常數(shù),通常默認(rèn)為1.345,為Huber的尺度參數(shù)。Huber算法可以看作將最小二乘法和LAD法相結(jié)合。當(dāng)殘差絕對(duì)值較小處,使用最小二乘法;殘差絕對(duì)值大處使用LAD。這種估值方法既能提高系統(tǒng)的準(zhǔn)確性,也有較高的估值效率。
Huber函數(shù)在不同尺度下的function如圖4所示。
圖4 Huber function 原函數(shù)和導(dǎo)函數(shù)圖像
2.3.4 M估計(jì)具體算法
對(duì)殘差函數(shù)的表達(dá)形式預(yù)處理:
(1)式(10)中目標(biāo)函數(shù)ρ(ri)對(duì)β求偏導(dǎo)得
(2)對(duì)線性方程組向量化得XTWe=0
(3)將Y=Xβ+e代入得XTWXβ=XTWY
(4)得β=(XTWX)-1XTWY
具體算法步驟為:
(1)建立U=xβ+b的線性方程組,根據(jù)OLS求出初始?xì)埐頴0;
(2)標(biāo)準(zhǔn)化殘差得到zi,由wi=φ(zi)/zi作為樣本的初始權(quán)重;
(3)又由β=(XTWX)-1XTWY求出新的β(i)以求得新的殘差代替β(i-1);
(4)返回(2)進(jìn)行迭代依次計(jì)算β(i),給定殘差迭代閾值ξ,當(dāng)|β(k+1)-β(k)|<ξ,此時(shí)滿足收斂條件,βM=β(k+1)。
2.3.5 M估計(jì)對(duì)測(cè)試系統(tǒng)的作用
在本系統(tǒng)設(shè)計(jì)中,M估計(jì)主要作用是在系統(tǒng)標(biāo)定完成后,實(shí)際測(cè)試時(shí)預(yù)測(cè)系統(tǒng)參數(shù)。微小位移系統(tǒng)安裝時(shí),由于同心球內(nèi)空間狹小,一旦安裝完成很難調(diào)整容柵傳感器柵極相對(duì)位置,M估計(jì)可以及時(shí)比較測(cè)量值和預(yù)測(cè)值的殘差,對(duì)系統(tǒng)的安裝調(diào)試具有顯著意義。
2.3.6 皮爾遜相關(guān)性分析
為了分析OLS和M估計(jì)的擬合優(yōu)度,采用卡爾皮爾遜提出的皮爾遜相關(guān)系數(shù)法(Person correlation coefficient),又稱皮爾遜積矩相關(guān)系數(shù),是一種準(zhǔn)確度量?jī)蓚€(gè)變量之間關(guān)系密切程度的統(tǒng)計(jì)學(xué)方法[14]。
一般情況下,皮爾遜相關(guān)具有如下約束條件:
(1)兩個(gè)變量間有線性關(guān)系;
(2)變量為連續(xù)變量;
(3)變量均近似符合正態(tài)分布,且二元分布也符合正態(tài)分布;
(4)兩個(gè)變量均為獨(dú)立變量。
對(duì)于兩組變量X,Y,通過(guò)實(shí)驗(yàn)得到若干組數(shù)據(jù)對(duì),記為(xi,yi)(i=1,2,…,n),樣本的總體相關(guān)系數(shù)數(shù)學(xué)表達(dá)式為
(15)
估算樣本的協(xié)方差和標(biāo)準(zhǔn)差,則皮爾遜相關(guān)系數(shù)表達(dá)式為
(16)
表1 皮爾遜相關(guān)系數(shù)的關(guān)聯(lián)程度
樣本相關(guān)系數(shù)是通過(guò)樣本數(shù)據(jù)計(jì)算得到,其值受到樣本的隨機(jī)性、數(shù)量等影響。因此需要對(duì)樣本相關(guān)系數(shù)做顯著性檢驗(yàn),即求P-value。Z檢驗(yàn)一般用于大樣本均值差異性檢驗(yàn)的方法,不太適合本測(cè)試。T分布檢驗(yàn)是一種小樣本分布檢驗(yàn),較為適合本測(cè)試,構(gòu)造一個(gè)統(tǒng)計(jì)量t,構(gòu)造方式如下
(17)
這個(gè)統(tǒng)計(jì)量是符合自由度為t-2的T分布。其中n為樣本的數(shù)量,r是皮爾遜相關(guān)系數(shù)ρX,Y。
定義原假設(shè)H0為r等于0,即不存在線性相關(guān)性,通過(guò)T分布表得出滿足拒絕H0的顯著性水平α,顯著性檢驗(yàn)是“小概率事件實(shí)際不可能原理”,α越接近于0,越說(shuō)明原假設(shè)不成立,數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計(jì)學(xué)意義。
線性回歸參數(shù)估計(jì)要求被測(cè)數(shù)據(jù)集滿足或近似滿足正態(tài)分布??紤]到測(cè)試數(shù)據(jù)正可能不具有良好正態(tài)性,有以下幾種處理手段:
(1)若方差正比于均值,進(jìn)行平方根轉(zhuǎn)換;
(2)若標(biāo)準(zhǔn)差正比于均值,進(jìn)行對(duì)數(shù)轉(zhuǎn)換;
(3)還可以采用Yeo-Johnson或Box-Cox變換,這是針對(duì)隨機(jī)變量正態(tài)性較差時(shí)做的數(shù)據(jù)預(yù)處理。當(dāng)預(yù)處理后的數(shù)據(jù)偏離原始數(shù)據(jù)的性質(zhì)時(shí),可認(rèn)為該數(shù)據(jù)不適用正態(tài)性校驗(yàn)方法,轉(zhuǎn)而采用非參數(shù)檢驗(yàn)方法如秩和檢驗(yàn)、中位數(shù)評(píng)分檢驗(yàn)等。
位移數(shù)據(jù)由系統(tǒng)模型搭建完成后采樣得到,利用SPSS Statistics數(shù)據(jù)分析軟件對(duì)3個(gè)通道所得數(shù)據(jù)使用直方圖和P-P圖兩種統(tǒng)計(jì)學(xué)方法進(jìn)行正態(tài)性分析[15],驗(yàn)證結(jié)果如圖5所示,可知XYZ三通道采樣數(shù)據(jù)具有較良好的正態(tài)性。
圖5 三通道正態(tài)性校驗(yàn)
圖6為此系統(tǒng)的標(biāo)定裝置,其作用是:①檢測(cè)容柵傳感器性能參數(shù)是否符合預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)以及理論模型是否正確;②提供一個(gè)標(biāo)定值(認(rèn)定是真值)。
圖6 標(biāo)定測(cè)試裝置
測(cè)試時(shí),通過(guò)調(diào)節(jié)標(biāo)定平臺(tái)上的千分尺旋鈕精確控制動(dòng)?xùn)藕挽o柵之間的距離,此裝置最小分辨率為0.01 mm,雖精度沒(méi)有達(dá)到0.001 mm,但可估讀到0.001 mm,滿足電路調(diào)試和數(shù)據(jù)標(biāo)定0.05 mm步長(zhǎng)的要求。
選定0.3 mm~0.95 mm為標(biāo)定距離范圍,0.05 mm為步長(zhǎng),由于電壓倒數(shù)只是統(tǒng)計(jì)學(xué)上方便計(jì)算的操作,無(wú)實(shí)際的物理意義,也沒(méi)有對(duì)應(yīng)的物理單位,所以還是使用電壓?jiǎn)挝籚,得到如表2所示的關(guān)系表。
表2 標(biāo)定距離和采集電壓倒數(shù)
對(duì)標(biāo)定距離x和采集電壓的倒數(shù)1/UX使用Matlab軟件做OLS和M估計(jì)線性回歸參數(shù)估計(jì),標(biāo)定了14組數(shù)據(jù),其擬合效果如圖7所示。
據(jù)圖7可知,擬合直線對(duì)于偏差過(guò)大的離散點(diǎn)敏感性降低,避免了標(biāo)定過(guò)程中因操作失誤等因素造成系統(tǒng)擬合直線偏移。
圖7 X通道電壓倒數(shù)與位移關(guān)系
使用此算法分別得到3個(gè)通道M估計(jì)預(yù)測(cè)線性回歸方程為
(18)
模型搭建完成后,在標(biāo)定平臺(tái)上對(duì)系統(tǒng)標(biāo)定,驗(yàn)證測(cè)試距離與標(biāo)定距離的相對(duì)誤差,同時(shí)對(duì)比OLS預(yù)測(cè)距離和M估計(jì)預(yù)測(cè)距離相較于測(cè)試距離的相對(duì)殘差,分析兩種算法的優(yōu)劣。
表3、表4、表5為標(biāo)定平臺(tái)三通道測(cè)量數(shù)據(jù),Z通道在測(cè)量0.40 mm這一組數(shù)據(jù)時(shí),出現(xiàn)了明顯的離群值,經(jīng)檢查,認(rèn)為是標(biāo)定時(shí)出現(xiàn)誤觸導(dǎo)致裝置的偏移,容柵傳感器相對(duì)面積發(fā)生變化造成測(cè)量的不準(zhǔn)確,經(jīng)重新多次測(cè)量得數(shù)據(jù)為0.398 mm。三通道相對(duì)誤差符合預(yù)期值,相對(duì)誤差均小于3%。分別計(jì)算兩種算法相較測(cè)試距離的相對(duì)殘差:(測(cè)量值-預(yù)測(cè)值)/測(cè)量值×100%,在(0.30 mm,0.40 mm),雖然OLS預(yù)測(cè)距離比M估計(jì)距離和實(shí)測(cè)距離都要更接近標(biāo)定距離,但算法預(yù)測(cè)主要作用是校準(zhǔn)傳感器,而不是預(yù)測(cè)真值,評(píng)價(jià)其擬合優(yōu)度指標(biāo)是相對(duì)殘差,且在(0.40 mm,0.60 mm),OLS預(yù)測(cè)距離逐漸偏離真值,綜合三通道算法預(yù)測(cè)表現(xiàn),M估計(jì)總體優(yōu)于OLS,具有良好的擬合效果和魯棒性。
將表3、表4、表5中OLS與M估計(jì)預(yù)測(cè)結(jié)果分別進(jìn)行皮爾遜相關(guān)性分析,匯總結(jié)果見(jiàn)表6。
表3 X通道測(cè)試距離、預(yù)測(cè)距離相對(duì)殘差
表4 Y通道測(cè)試距離、預(yù)測(cè)距離相對(duì)殘差
表5 Z通道測(cè)試距離、預(yù)測(cè)距離相對(duì)殘差
表6 相關(guān)性和顯著性分析
由表6可知,經(jīng)皮爾遜相關(guān)性分析,兩種算法預(yù)測(cè)值均與測(cè)量值顯著線性正相關(guān)且M估計(jì)相關(guān)性和顯著性均優(yōu)于OLS。
本文針對(duì)三維容柵微小位移測(cè)試系統(tǒng),根據(jù)先驗(yàn)經(jīng)驗(yàn),使用直方圖和P-P圖法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)做正態(tài)性檢驗(yàn),確保模型為線性系統(tǒng);提出了使用M估計(jì)的方法,克服了普通最小二乘法對(duì)離群點(diǎn)的敏感性,避免了因操作不當(dāng)對(duì)系統(tǒng)擬合產(chǎn)生不利影響。皮爾遜相關(guān)性分析驗(yàn)證了M估計(jì)預(yù)測(cè)值與測(cè)量值具有相關(guān)性和顯著性。經(jīng)實(shí)驗(yàn)測(cè)試,該算法提高了預(yù)測(cè)模型的可靠性,可應(yīng)用于同心球內(nèi)狹小空間的三維容柵微小位移系統(tǒng)安裝校準(zhǔn)。
不足之處為該模型將傳感器視為平板電容,所以只能建立在較大曲率半徑的同心球上以求計(jì)算時(shí)可以忽略傳感器的曲率。對(duì)較小球體的微小位移測(cè)量仍需改進(jìn)模型,使其適應(yīng)更多的球體系統(tǒng)。