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    熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度驗(yàn)證方法研究

    2021-08-17 07:57:34翟玉衛(wèi)鄭世棋吳愛華
    宇航計(jì)測技術(shù) 2021年2期

    丁 晨 翟玉衛(wèi) 劉 巖 鄭世棋 吳愛華

    (中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所,石家莊 050051)

    1 引 言

    近年來隨著國防科技的快速發(fā)展和武器裝備性能的迅速提升,對(duì)于高頻率、大功率微波功率器件的需求越來越凸顯。對(duì)微波功率器件而言,得到其真實(shí)工作條件下的結(jié)溫特性最為關(guān)鍵。在幾種用于微波功率器件溫度檢測的光學(xué)檢測手段中,熱反射測溫技術(shù)擁有最高的空間分辨率、較高的測量速度,是一種經(jīng)濟(jì)有效、非接觸、非破壞性的測量穩(wěn)態(tài)和瞬態(tài)表面溫度的光學(xué)方法。相對(duì)于傳統(tǒng)的微電子器件溫度檢測技術(shù),熱反射測溫最大的優(yōu)勢(shì)是具備優(yōu)越的空間分辨力,因此熱反射測溫系統(tǒng)在高集成、大功率器件的溫度檢測方面得到廣泛應(yīng)用。

    為了更加準(zhǔn)確地測量微波功率器件的結(jié)溫,對(duì)熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度進(jìn)行驗(yàn)證,保證測溫系統(tǒng)的測溫準(zhǔn)確性是非常有必要的。目前,對(duì)于熱反射測溫系統(tǒng)準(zhǔn)確性的驗(yàn)證一般采用典型的微電子器件進(jìn)行驗(yàn)證。例如,QFI公司利用多晶硅電阻驗(yàn)證測溫準(zhǔn)確度,給多晶硅電阻施加一個(gè)周期性變化的電壓,使其溫度周期性變化,多晶硅電阻中心下預(yù)先埋設(shè)一個(gè)二極管,作為溫度傳感器提供標(biāo)準(zhǔn)溫度。但是這種方法由于多晶硅電阻對(duì)可見光具有一定的透射性,容易導(dǎo)致驗(yàn)證結(jié)果不準(zhǔn)確,并且,多晶硅的最佳檢測波長較長,空間分辨力較低,不能準(zhǔn)確的反應(yīng)熱反射測溫系統(tǒng)高空間分辨力下的準(zhǔn)確性。Pavel L.Komarov等提出利用電子探針連接純金微電阻來進(jìn)行驗(yàn)證,但沒有對(duì)純金微電阻進(jìn)行溫度系數(shù)考核,只使用其理論值進(jìn)行計(jì)算電阻的溫度變化,且只驗(yàn)證了一個(gè)溫度點(diǎn),在驗(yàn)證過程中使用探針連接,探針會(huì)隨著溫度變化產(chǎn)生位移,影響其結(jié)果的準(zhǔn)確性。針對(duì)以上問題,本文采用以Si為襯底,利用半導(dǎo)體工藝制備金薄膜電阻,通過制作夾具,鍵合薄膜電阻與夾具的方式研制出驗(yàn)證電阻件并對(duì)其進(jìn)行溫度系數(shù)考核,通過熱電法,施加周期性電流引起的電阻變化來確定溫度變化,并將其與熱反射方法得到的結(jié)果進(jìn)行比較,從而驗(yàn)證熱反射測溫系統(tǒng)的測溫準(zhǔn)確度。

    2 驗(yàn)證方法

    2.1 熱反射測溫技術(shù)的原理

    當(dāng)可見光照射在某種材料表面時(shí),材料對(duì)可見光的反射率隨材料溫度變化而變化。且材料對(duì)可見光的反射率變化量與材料表面的溫度變化量呈線性關(guān)系如公式(1)計(jì)算。

    (1)

    式中:△

    R

    ——反射率變化量;

    R

    average——反射率的均值;△

    T

    ——被測材料溫度變化量,K;CT——熱反射率校準(zhǔn)系數(shù),K。利用上述原理,通過測量反射率的變化量△

    R

    計(jì)算得到材料表面溫度的變化量△

    T

    的技術(shù)稱為熱反射測溫技術(shù)或光反射測溫技術(shù)。

    相對(duì)于傳統(tǒng)的微電子器件溫度檢測技術(shù),熱反射測溫最大的優(yōu)勢(shì)是具備優(yōu)越的空間分辨力。理論上,熱反射測溫系統(tǒng)最高空間分辨力可以達(dá)到0.3μm,遠(yuǎn)高于顯微紅外測溫儀的1.9μm,即使在實(shí)際的微電子器件溫度檢測中也可以達(dá)到1μm的空間分辨力。由于微電子器件的溫度與可靠性密切相關(guān),熱反射測溫系統(tǒng)在高空間分辨力下測量結(jié)果的準(zhǔn)確度尤為重要,因此對(duì)熱反射測溫系統(tǒng)的測溫準(zhǔn)確度進(jìn)行驗(yàn)證,保證測溫系統(tǒng)的測溫準(zhǔn)確性是非常有必要的。

    2.2 驗(yàn)證件研制

    為了實(shí)現(xiàn)對(duì)熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度的驗(yàn)證,提出了一種用金薄膜微電阻作為驗(yàn)證電阻件對(duì)其進(jìn)行驗(yàn)證的方法,并搭建了相應(yīng)的驗(yàn)證裝置。

    選擇Si作為襯底,表面采用金材料生長工藝制作一個(gè)金薄膜微電阻。為了在有限的面積下實(shí)現(xiàn)較高的阻值,且保持電阻各個(gè)部位的溫度盡可能的一致,需要進(jìn)行圖形設(shè)計(jì)。由于在相同加熱電流的情況下,電阻的阻值越大,電阻兩端的電壓越高,電壓越高測量準(zhǔn)確度越高,即電阻的阻值越大,測量準(zhǔn)確度越高,因此,為了在有限的面積上實(shí)現(xiàn)較高的電阻阻值,金電阻的圖形設(shè)計(jì)采用“蛇”形結(jié)構(gòu)。為了滿足驗(yàn)證熱反射測溫裝置準(zhǔn)確度的需要,電阻的寬度在1μm~50μm之間。其中金焊盤用于給電阻加電。焊盤的長寬比要遠(yuǎn)小于電阻的長寬比,一般小于1%。這樣可以盡量降低焊盤電阻對(duì)總電阻的影響,使能量集中耗散在微電阻上,金薄膜電阻表面圖形結(jié)構(gòu)如圖1所示。

    圖1 金薄膜微電阻表面圖形結(jié)構(gòu)

    采用半導(dǎo)體工藝制作金薄膜微電阻,使用Si材料作為襯底,在其上生長絕緣層,在絕緣層上制作金材料,然后刻蝕圖形露出絕緣層,從而得到微電阻結(jié)構(gòu),其中金屬層應(yīng)具有一定的厚度,保證可見光無法穿透。

    首先在襯底上生長絕緣層,襯底為Si襯底,絕緣層為SiO層,通過熱氧化工藝在Si襯底上生長SiO層,作為絕緣層及金屬生長層。SiO層的厚度為100nm,SiO層太厚熱氧化時(shí)間長,容易對(duì)襯底造成損傷,太薄則不能有效絕緣,絕緣的目的是電流只從金微電阻上通過。

    在絕緣層上生長金屬層。金屬層為Au,通過濺射工藝在絕緣層SiO表面生長Au金屬層。Au金屬層的厚度為100nm。Au金屬層不能太厚,一方面節(jié)約成本,另一方面,較厚的Au金屬層需要較長時(shí)間的濺射工藝,控制Au金屬層的厚度防止濺射工藝中長時(shí)間高溫對(duì)襯底造成損傷。金薄膜微電阻的結(jié)構(gòu)如圖2所示。

    圖2 金薄膜微電阻正向剖面圖

    通過光刻工藝在金屬層Au表面形成圖形結(jié)構(gòu)的區(qū)域上覆蓋光刻膠,光刻膠保護(hù)形成圖形結(jié)構(gòu)區(qū)域的金屬層,避免該區(qū)域的金屬層在后續(xù)的刻蝕工藝中被刻蝕掉。

    通過光刻工藝對(duì)金屬層Au進(jìn)行加工,刻蝕金屬層Au,形成圖形結(jié)構(gòu),圖形結(jié)構(gòu)包括金電阻和兩個(gè)金焊盤,其中一個(gè)金焊盤與金電阻的一端相連,另一個(gè)金焊盤與金電阻的另一端相連。最后,去除光刻膠。

    金薄膜電阻為微米量級(jí),測量時(shí)需采用探針形式,但在進(jìn)行溫度系數(shù)考核或施加周期性電流時(shí),探針會(huì)因熱脹冷縮產(chǎn)生輕微位移,影響其穩(wěn)定性及準(zhǔn)確性,因此通過制作夾具,鍵合薄膜電阻與夾具的方式來完成最終驗(yàn)證電阻件。夾具由載體與PCB板組成,其中載體材料為黃銅,用以與控溫裝置接觸,PCB電路板中心留一個(gè)矩形通孔結(jié)構(gòu)用以放置金薄膜微電阻,電路板表面采用鍍金焊盤,鍍金焊盤的外邊緣焊接接線端子,鍍金焊盤與接線端子的數(shù)量都是4個(gè),兩個(gè)作為電壓通路,兩個(gè)作為電流通路,驗(yàn)證件結(jié)構(gòu)示意圖如圖3所示。

    圖3 驗(yàn)證件結(jié)構(gòu)示意圖

    用焊料將金薄膜微電阻牢固焊接在銅制載體上,采用半導(dǎo)體工藝中的鍵合工藝用金絲將電路板鍍金焊盤的內(nèi)邊緣與金薄膜微電阻上的金焊盤相連,完成最終驗(yàn)證件,實(shí)物如圖4所示。

    圖4 驗(yàn)證件實(shí)物圖

    2.3 驗(yàn)證過程

    搭建驗(yàn)證件溫度定標(biāo)裝置,將驗(yàn)證電阻件緊密放置在高精度控溫平臺(tái)上,中間涂抹以導(dǎo)熱硅脂,保持良好的熱傳導(dǎo),改變控溫平臺(tái)的溫度,用數(shù)字多用表電阻測量功能,四線電阻測量法監(jiān)測30~100℃驗(yàn)證電阻件的阻值。記錄電阻值與溫度數(shù)據(jù),標(biāo)定阻值與溫度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系,考核出其溫度系數(shù)

    α

    ;將驗(yàn)證電阻件放置在熱反射測溫系統(tǒng)的控溫平臺(tái)上,中間涂抹以導(dǎo)熱硅脂,控溫臺(tái)溫度設(shè)定為

    T

    。給驗(yàn)證電阻件施加周期性方波電流

    I

    ,由于電壓表測量的電壓值在0.001V以上才具備較高的準(zhǔn)確度,因此,施加的電流的強(qiáng)度要求能夠使電阻件兩端產(chǎn)生0.001V以上的壓降,以保證電壓表測量的電壓值準(zhǔn)確。控制電阻件的溫度不高于300℃,以避免溫度過高破壞驗(yàn)證件金屬層與絕緣層之間的接觸效果。將電阻件溫度升高至穩(wěn)定的

    T

    ,且呈現(xiàn)穩(wěn)定的周期性變化。用電壓表監(jiān)測電阻兩端的電壓

    V

    ,根據(jù)歐姆定律計(jì)算出電阻加電前后的變化量△

    R

    如公式(2)計(jì)算。

    (2)

    式中:

    I

    ——施加的周期性方波電流,A;

    V

    ——是加上強(qiáng)度為

    I

    的電流后電阻兩端的電壓,V;

    V

    ——加電流

    I

    之前電阻兩端的電壓,V;△

    R

    ——加電前后的阻值變化量,Ω。用△

    R

    除以驗(yàn)證電阻件的溫度系數(shù)

    α

    ,得到溫度的變化量△

    T

    ,則可以求得

    T

    的標(biāo)準(zhǔn)值,如公式(3)計(jì)算。

    (3)

    式中:

    α

    ——驗(yàn)證電阻件的溫度系數(shù);

    T

    ——控溫平臺(tái)溫度,℃;

    T

    ——電阻溫度的標(biāo)準(zhǔn)值,℃。同時(shí)用熱反射測溫系統(tǒng)在470nm波長下測量驗(yàn)證電阻件的溫度

    T

    ,將熱反射測溫系統(tǒng)測量的溫度值與計(jì)算得到的電阻溫度的標(biāo)準(zhǔn)值相減,得到熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度評(píng)價(jià)指標(biāo),誤差△,及完成熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度的驗(yàn)證。如公式(4)計(jì)算。工作原理圖如圖5所示。

    圖5 工作原理圖

    Δ

    =

    T

    -

    T

    (4)

    式中:

    T

    ——熱反射測溫系統(tǒng)測量結(jié)果,℃;

    T

    ——電阻溫度的標(biāo)準(zhǔn)值,℃;△——測溫準(zhǔn)確度的誤差,℃。

    3 驗(yàn)證結(jié)果及分析

    3.1 驗(yàn)證結(jié)果

    將制作好的驗(yàn)證電阻件放置在驗(yàn)證件溫度定標(biāo)裝置的控溫平臺(tái)上,中間涂抹以導(dǎo)熱硅脂,用四線電阻測量法監(jiān)測30~100℃驗(yàn)證電阻件的電阻值,數(shù)據(jù)如表1所示。

    表1 30~100℃溫度下電阻值Tab.1 Theresistanceat30~100℃寬度/μm溫度/℃電阻值/Ω253012.0374012.3815012.7246013.0657013.4068013.7469014.08310014.422

    標(biāo)定阻值與溫度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系,考核出其溫度系數(shù),溫度變化曲線及溫度變化規(guī)律如圖6所示。

    圖6 溫度變化曲線圖

    溫度變化規(guī)律如式(5)計(jì)算:

    Y

    =0

    .

    0341

    X

    +11

    .

    019

    (5)

    式中:

    X

    ——溫度,℃;

    Y

    ——電阻標(biāo)準(zhǔn)值,Ω。

    將驗(yàn)證電阻件放置在熱反射測溫系統(tǒng)控溫平臺(tái)上,中間涂抹以導(dǎo)熱硅脂,控溫臺(tái)溫度設(shè)定為30℃。給驗(yàn)證電阻件施加0.2A電流,熱反射測溫系統(tǒng)測溫結(jié)果如圖7所示。

    圖7 0.2A電流下熱反射系統(tǒng)測溫結(jié)果

    施加不同電流,加電前后電壓值,電阻溫度標(biāo)準(zhǔn)值及熱發(fā)射測溫系統(tǒng)測量的溫度值,誤差如表2所示。

    表2 測溫?cái)?shù)據(jù)Tab.2 Temperaturedata電流值/A電壓值/V電阻值/Ω溫度標(biāo)準(zhǔn)值/℃系統(tǒng)測量溫度值/℃誤差/℃0.2012.489912.38840.1540.50.350.3013.94913.12061.659.71.90.4015.7314.28995.989.26.7

    3.2 結(jié)果分析

    由以上驗(yàn)證結(jié)果數(shù)據(jù)可知,通過熱電法計(jì)算出驗(yàn)證電阻件溫度值,與熱反射測溫系統(tǒng)測量的電阻件溫度值相比較,在低溫時(shí)數(shù)據(jù)顯示有著非常好的一致性,但在高溫時(shí)熱反射測溫系統(tǒng)測量溫度比實(shí)際溫度偏低。這是由于一般情況下都認(rèn)為熱反射率校準(zhǔn)系數(shù)C,即溫度與反射率的變化是一個(gè)常數(shù),是線性的,但通過Assaad El Helou等研究表明,在固定的波長下仔細(xì)測量金在25℃~100℃之間的CT,發(fā)現(xiàn)該系數(shù)不是恒定的,是非線性的,該CT隨溫度的增加而逐漸降低,變化規(guī)律如圖8所示。

    圖8 CTR變化規(guī)律

    驗(yàn)證結(jié)果在高溫時(shí)與實(shí)際溫度偏差較大,與熱反射率校準(zhǔn)系數(shù)CT非線性有關(guān),CT隨溫度的增加而逐漸降低,趨勢(shì)正好與實(shí)際驗(yàn)證結(jié)果數(shù)據(jù)相一致。說明此驗(yàn)證方法是準(zhǔn)確可靠的,后續(xù)將對(duì)測量高溫時(shí)的結(jié)果如何修正進(jìn)行研究。

    4 結(jié)束語

    本文提出了一種驗(yàn)證熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度的驗(yàn)證方法,通過制作夾具,利用半導(dǎo)體工藝制備金薄膜電阻,鍵合薄膜電阻與夾具的方式研制出驗(yàn)證電阻件,通過搭建溫度定標(biāo)裝置對(duì)驗(yàn)證電阻件進(jìn)行溫度系數(shù)考核,利用熱電法計(jì)算出驗(yàn)證電阻件溫度值,與熱反射測溫系統(tǒng)測量的驗(yàn)證電阻件溫度值相比較,實(shí)現(xiàn)了對(duì)熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度的驗(yàn)證。本文提出的熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度驗(yàn)證方法,可以解決熱反射測溫系統(tǒng)測溫準(zhǔn)確度驗(yàn)證問題,保障了熱反射測系統(tǒng)的測溫準(zhǔn)確性,為設(shè)計(jì)、研發(fā)人員提供準(zhǔn)確可靠的結(jié)溫?cái)?shù)據(jù),提高了國產(chǎn)微波功率器件的質(zhì)量與可靠性。

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