中科院蘇州納米所廣東（佛山）研究院：堅(jiān)持科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)服務(wù)并重 助力破解產(chǎn)業(yè)升級(jí)缺芯難題

文/胡磊

[導(dǎo)語(yǔ)]

作為一家集創(chuàng)新研發(fā)、公共服務(wù)和孵化育成為一體的新型研發(fā)機(jī)構(gòu)，中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所廣東（佛山）研究院（以下簡(jiǎn)稱“中科院蘇州納米所廣東（佛山）研究院”或“研究院”）立足佛山，面向廣東、輻射粵港澳大灣區(qū)，以促進(jìn)區(qū)域創(chuàng)新發(fā)展為目標(biāo)、以專業(yè)特色學(xué)科為依托、以研發(fā)具有重要應(yīng)用前景的產(chǎn)業(yè)技術(shù)為核心，通過(guò)“納米加工平臺(tái)+研究中心+育成中心”的運(yùn)營(yíng)模式，大力開(kāi)展產(chǎn)業(yè)技術(shù)領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)、共性技術(shù)研發(fā)、技術(shù)系統(tǒng)集成、工程化示范應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化，助力構(gòu)建粵港澳大灣區(qū)納米技術(shù)和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展生態(tài)圈。

中科院蘇州納米所廣東（佛山）研究院外景

院地合力 打造輻射粵港澳大灣區(qū)的一流應(yīng)用技術(shù)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)平臺(tái)

為積極響應(yīng)習(xí)近平總書(shū)記在黨的十九大報(bào)告中關(guān)于粵港澳大灣區(qū)建設(shè)的戰(zhàn)略部署，貫徹習(xí)近平總書(shū)記在廣東考察時(shí)“要有志氣和骨氣，加快增強(qiáng)自主創(chuàng)新能力和實(shí)力，努力實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控”的重要指示，深入落實(shí)《廣東省人民政府 中國(guó)科學(xué)院“十三五”全面戰(zhàn)略合作協(xié)議》，發(fā)揮中國(guó)科學(xué)院在國(guó)家創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略中的支撐和引領(lǐng)作用，培育創(chuàng)新動(dòng)能，推進(jìn)粵港澳大灣區(qū)建設(shè)，2018年11月18日，中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（以下簡(jiǎn)稱“中科院蘇州納米所”）與佛山市人民政府、佛山市南海區(qū)人民政府簽署框架協(xié)議，共建中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所廣東（佛山）研究院。根據(jù)協(xié)議，研究院將以提升粵港澳大灣區(qū)納米技術(shù)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力為目標(biāo)，致力于產(chǎn)業(yè)技術(shù)領(lǐng)域核心關(guān)鍵技術(shù)突破、共性技術(shù)研發(fā)、技術(shù)系統(tǒng)集成、工程化示范應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化，力爭(zhēng)建設(shè)成為納米技術(shù)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)源頭技術(shù)與系統(tǒng)集成的重要基地、產(chǎn)業(yè)公共技術(shù)支撐與服務(wù)的重要平臺(tái)以及產(chǎn)業(yè)高端人才培養(yǎng)與集聚的高地。

中科院蘇州納米所廣東（佛山）研究院于2019年7月正式成立，一期擬投入運(yùn)營(yíng)資金12億元，占地100畝，建設(shè)35000㎡的科研及辦公場(chǎng)地和23000㎡的潔凈實(shí)驗(yàn)室；二期規(guī)劃建設(shè)120000㎡的專業(yè)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)載體。目前，研究院相關(guān)基礎(chǔ)建設(shè)工作正在有條不紊地展開(kāi)，相關(guān)設(shè)備、制度、人員等軟硬件搭建也正同步進(jìn)行。其中，納米加工公共服務(wù)平臺(tái)面向企業(yè)、高校、科研院所，開(kāi)展半導(dǎo)體外延材料生長(zhǎng)、芯片加工、器件測(cè)試、器件封裝等全流程研發(fā)，中試生產(chǎn)及封裝測(cè)試服務(wù)，具備8英寸硅晶圓及8英寸硅基氮化鎵（GaN）晶圓加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圓。秉著“邊建設(shè)、邊招人、邊科研、邊轉(zhuǎn)化”的建設(shè)思路，研究院在科研創(chuàng)新、平臺(tái)建設(shè)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)、企業(yè)服務(wù)、項(xiàng)目引進(jìn)、交流合作等方面都取得了一定的成績(jī)，被認(rèn)定為廣東省高水平創(chuàng)新研究院、廣東省新型研發(fā)機(jī)構(gòu)和廣東省博士工作站等。

研究院規(guī)劃建設(shè)效果圖

瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)方向 加強(qiáng)交叉學(xué)科和關(guān)鍵核心技術(shù)研究

作為中科院蘇州納米所在粵港澳大灣區(qū)的“橋頭堡”，中科院蘇州納米所廣東（佛山）研究院始終圍繞實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng)及滿足國(guó)家科技創(chuàng)新重大戰(zhàn)略需求的定位，瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)方向，充分發(fā)揮中科院蘇州納米所學(xué)科優(yōu)勢(shì)，重點(diǎn)布局化合物半導(dǎo)體關(guān)鍵材料與器件、智能微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）傳感、柔性印刷電子、射頻通信等研究方向，充分發(fā)揮研究院納米加工平臺(tái)在氮化鎵材料外延、寬禁帶半導(dǎo)體器件加工、MEMS芯片加工、材料與器件測(cè)試表征等方面的支撐作用，開(kāi)展大尺寸硅基氮化鎵關(guān)鍵材料外延關(guān)鍵技術(shù)研究，在氮化鎵基光電類器件、高電子遷移率晶體管（HEMT）功率器件、射頻電子器件、智能MEMS傳感器件、高精度柔性印刷電子器件等核心器件研發(fā)上取得突破性進(jìn)展，部分研究成果打破國(guó)外技術(shù)封鎖，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控。

創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化體制機(jī)制 為創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)保駕護(hù)航

中科院蘇州納米所廣東（佛山）研究院高度重視科技成果轉(zhuǎn)化工作，積極探索技術(shù)轉(zhuǎn)移和成果轉(zhuǎn)化的新機(jī)制、新模式，在科研人員離崗創(chuàng)業(yè)、科研團(tuán)隊(duì)考核評(píng)價(jià)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)分類服務(wù)以及科技成果轉(zhuǎn)化實(shí)施與激勵(lì)等方面加強(qiáng)制度創(chuàng)新，促進(jìn) 院地合作和科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化。

一是健全科研人員離崗創(chuàng)業(yè)、兼職創(chuàng)新體系。明確離崗創(chuàng)業(yè)期，支持和鼓勵(lì)科研人員帶著科研成果離崗創(chuàng)業(yè)；設(shè)立薪酬補(bǔ)貼制度，根據(jù)考核結(jié)果對(duì)離崗創(chuàng)業(yè)人員提供不同比例的薪酬補(bǔ)貼；推出“分段考核、分類評(píng)價(jià)”新機(jī)制，重點(diǎn)從研究質(zhì)量、原創(chuàng)價(jià)值和市場(chǎng)貢獻(xiàn)等方面對(duì)人才進(jìn)行階段考核和評(píng)價(jià)。

二是動(dòng)態(tài)調(diào)整科研團(tuán)隊(duì)考核辦法，積極引導(dǎo)科研人員創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)。積極鼓勵(lì)科研人員從事創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)活動(dòng)，在量化考核方面增加開(kāi)展橫向合作、參加技術(shù)對(duì)接活動(dòng)、實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化等指標(biāo)權(quán)重，有意識(shí)地引導(dǎo)科研人員進(jìn)行與產(chǎn)業(yè)相關(guān)的應(yīng)用研究、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、技術(shù)指導(dǎo)。

三是建立健全知識(shí)產(chǎn)權(quán)分類服務(wù)體系。出臺(tái)研究院《知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理辦法》，落實(shí)非職務(wù)成果報(bào)備，規(guī)范產(chǎn)學(xué)研活動(dòng)中知識(shí)產(chǎn)權(quán)歸屬，對(duì)專利申請(qǐng)、放棄、轉(zhuǎn)化實(shí)施全過(guò)程進(jìn)行分類分級(jí)管理。

四是優(yōu)化調(diào)整科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化實(shí)施及獎(jiǎng)勵(lì)體系。出臺(tái)研究院《科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化實(shí)施及獎(jiǎng)勵(lì)辦法》，進(jìn)一步突破獎(jiǎng)勵(lì)比例上限，并科學(xué)設(shè)計(jì)彈性化獎(jiǎng)酬機(jī)制，形成“高獎(jiǎng)酬，可持續(xù)”的良性發(fā)展模式。

未來(lái)，中科院蘇州納米所廣東（佛山）研究院將繼續(xù)堅(jiān)持科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)服務(wù)并重，建設(shè)創(chuàng)新成果的工程化示范基地，圍繞產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈，打造區(qū)域創(chuàng)新策源地。建設(shè)8英寸納米加工中試平臺(tái)，著力打造服務(wù)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高水平技術(shù)公共服務(wù)平臺(tái)，使合作方能以“輕資產(chǎn)、低門(mén)檻”的方式專注于自身核心競(jìng)爭(zhēng)力的構(gòu)建。同時(shí)，引進(jìn)一批半導(dǎo)體及電子信息類高技術(shù)初創(chuàng)企業(yè)、有基礎(chǔ)的成熟企業(yè)落戶佛山，充分發(fā)揮引領(lǐng)示范作用，助推企業(yè)成長(zhǎng)，加速產(chǎn)業(yè)集聚。