超寬譜段高分辨率中階梯光柵光譜儀的光學(xué)設(shè)計(jì)

孫 慈，楊 晉*，朱繼偉，馬婷婷，馮樹(shù)龍，宋 楠，郭雪強(qiáng)，郭漢洲

（1.中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所，吉林長(zhǎng)春130033；2.長(zhǎng)春長(zhǎng)光格瑞光電技術(shù)有限公司，吉林長(zhǎng)春130102；3.長(zhǎng)春國(guó)科醫(yī)工科技發(fā)展有限公司，吉林長(zhǎng)春130102）

1 引 言

光譜技術(shù)作為一種重要的分析手段，在科研、生產(chǎn)、質(zhì)量控制等方面發(fā)揮著巨大作用。它依據(jù)物質(zhì)發(fā)射、吸收光輻射的頻率和強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)物質(zhì)的定性、定量及結(jié)構(gòu)分析，應(yīng)用非常廣泛。中階梯光柵光譜儀因采用中階梯光柵作為主色散元件，可以一次獲取全波段光譜圖像，且較同體積規(guī)格儀器的光譜分辨率高、工作波段范圍寬、能量效率高，是激光誘導(dǎo)等離子體光譜（La?ser Induced Plasma Spectroscopy，LIPS）、微波等離子體炬（Microwave Plasma Torch，MPT）光譜、拉曼光譜及電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜（Inductively Couple Plasma，ICP）等先進(jìn)光譜分析系統(tǒng)的優(yōu)選分光單元［1-10］。

中階梯光柵是一種高端色散元件，具有全波閃耀、高色散率、高衍射效率的優(yōu)點(diǎn)，但其工作于高級(jí)次衍射的特點(diǎn)，也帶來(lái)了嚴(yán)重的光譜疊級(jí)現(xiàn)象。通常采用增加棱鏡作為輔助色散元件的方法解決該問(wèn)題，能保證系統(tǒng)的光傳輸效率且不會(huì)引入干擾光譜，但存在色散不均性，衍射級(jí)次在短波區(qū)級(jí)次間隔大，在長(zhǎng)波區(qū)級(jí)次間隔小，引入了級(jí)次干擾［11-12］。此外，組合交叉色散結(jié)構(gòu)會(huì)在像面形成大面積二維光譜圖像，主光線不在固定平面內(nèi)，需在子午、弧矢兩方向分別進(jìn)行像差校正及焦距補(bǔ)償，為光學(xué)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)增加了困難。

歐美國(guó)家很早就開(kāi)展了中階梯光柵光譜儀的研發(fā)工作，通過(guò)探索優(yōu)化光柵制作、光學(xué)設(shè)計(jì)、光譜探測(cè)等關(guān)鍵單元技術(shù)，成功研制出多款具備先進(jìn)技術(shù)水平的中階梯光柵光譜儀。鑒于它在光譜分析及相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域中不可替代的優(yōu)勢(shì)，近年，國(guó)內(nèi)諸如長(zhǎng)春光機(jī)所、浙江大學(xué)、天津大學(xué)等科研單位也相繼開(kāi)展了中階梯光柵光譜儀的研究工作。所設(shè)計(jì)儀器的使用波段基本在190～800 nm，且未有能實(shí)現(xiàn)超寬譜段范圍同步直讀的設(shè)計(jì)報(bào)導(dǎo)。而光譜儀器譜段范圍的拓寬，意味著可覆蓋更多待測(cè)樣本所含元素的特征譜線，大大提升了光譜分析系統(tǒng)的檢測(cè)能力。

本文主要根據(jù)石化行業(yè)油品檢測(cè)元素的使用波段及檢出需求，設(shè)計(jì)了一種能夠覆蓋深紫外到近紅外波段的超寬譜段高分辨率中階梯光柵光譜儀。該光譜儀結(jié)合準(zhǔn)Littrow結(jié)構(gòu)與C-T結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)，采用組合色散形式；為方便裝調(diào)，控制成本，采用球面反射鏡作為主要反射元件，通過(guò)加入校正結(jié)構(gòu)及優(yōu)化配置光路參數(shù)獲得了優(yōu)質(zhì)的成像質(zhì)量。

2 原 理

基于中階梯光柵、棱鏡組合色散的中階梯光柵光譜儀結(jié)構(gòu)原理如圖1所示。光譜儀主要由準(zhǔn)直系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)、色散系統(tǒng)和探測(cè)系統(tǒng)組成［13］。

信號(hào)光束由小孔入射，經(jīng)準(zhǔn)直鏡后以平行光的形式入射到中階梯光柵的表面進(jìn)行弧矢方向色散，再經(jīng)過(guò)棱鏡完成子午方向色散，如此交叉色散形成二維光譜，通過(guò)成像鏡進(jìn)行會(huì)聚，成像于探測(cè)器的接收靶面，完成光譜信息的收集。然后，通過(guò)后端的光譜信息預(yù)處理等操作實(shí)現(xiàn)二維譜圖的一維轉(zhuǎn)換，最終為分析檢測(cè)系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的樣品特征光譜信息。

圖1 中階梯光柵光譜儀的工作原理Fig.1 Working principle of echelle spectrometer

3 光路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

3.1 設(shè)計(jì)需求

中階梯光柵光譜儀多集成于光譜檢測(cè)設(shè)備內(nèi)應(yīng)用，是光譜分析系統(tǒng)的核心單元。為增加檢測(cè)元素種類和提高元素分析準(zhǔn)確度，所設(shè)計(jì)的中階梯光柵光譜儀需具備超寬波段、高光譜分辨率特點(diǎn)。此外，為充分發(fā)揮其“全譜直讀”的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，光路結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)需以中階梯光柵全部使用級(jí)次的中心波長(zhǎng)為參考，完成全譜段成像質(zhì)量的優(yōu)化和評(píng)價(jià)。

此中階梯光柵光譜儀的主要應(yīng)用方向?yàn)榛谖⒉ǖ入x子體炬光源的油品檢測(cè)設(shè)備。綜合油品重要監(jiān)測(cè)元素S，Cl等的特征譜線位置及檢出要求，輸入設(shè)計(jì)需求如表1所示。

針對(duì)中階梯光柵光譜儀特有的二維梳狀譜圖特點(diǎn)，且為滿足超寬譜段及高分辨率設(shè)計(jì)需求，選用具有大靶面及小像元的濱松S12101面陣型CCD（Charged Coupled Device）芯片，如圖2所示，其性能參數(shù)見(jiàn)表2。因此，光路結(jié)構(gòu)參數(shù)還需以探測(cè)器靶面尺寸和像元大小為依據(jù)。

表1 中階梯光柵光譜儀設(shè)計(jì)需求Tab.1 Parameters of echelle spectrometer

3.2 色散光路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

通常中階梯光柵的刻線密度在30～300 gr/mm，閃耀角為45°～75°，為利于選定CCD芯片的有效探測(cè)靶面，根據(jù)它在主色散方向的尺寸與中階梯光柵參數(shù)的關(guān)系：

圖2 S12101型號(hào)探測(cè)器實(shí)物Fig.2 Appearance of S12101 chip

表2 S12101芯片的基本參數(shù)指標(biāo)Tab.2 Basic structural parameters of S12101 chip

其中：λmax為中階梯光柵的最大使用波長(zhǎng)，f為焦距，d為光柵常數(shù)，θB為光柵閃耀角，ω為光柵偏置角。結(jié)合現(xiàn)有中階梯光柵參數(shù)，選用刻線密度為54.5 gr/mm，閃耀角為46°的中階梯光柵完成相應(yīng)的光學(xué)設(shè)計(jì)。整體光路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在主色散方向采用準(zhǔn)Littrow結(jié)構(gòu)，以保證中階梯光柵的高衍射效率。當(dāng)主色散方向上的光束以閃耀角入射，且滿足Littrow條件時(shí)，中階梯光柵具有最高衍射效率，即：

其中：i為光柵入射角，β為光柵衍射角。但此種入射方式令入射、衍射光束近乎共軸易產(chǎn)生干涉等現(xiàn)象，使得中階梯光柵無(wú)法正常工作于主截面。因此，引入光柵偏置角，采用離面準(zhǔn)Littrow入射形式，使入射光束偏離主截面ω的同時(shí)，能夠在主截面沿著中階梯光柵短邊法線入射［14］。根據(jù)矢量衍射理論，此時(shí)光柵方程為：

其中：m為光柵衍射級(jí)次，λ為光束波長(zhǎng)，ωm為衍射光束與主截面矢量夾角。經(jīng)整理可以獲得各衍射級(jí)次的中心波長(zhǎng)為：

因光束以近Littrow方式入射，且當(dāng)光柵偏置角較小時(shí)，可認(rèn)為其余弦值近似為1，對(duì)衍射效率的影響很小。則在所設(shè)計(jì)的中階梯光柵光譜儀的光譜范圍內(nèi)，160 nm處的光柵使用級(jí)次為163，在1 000 nm處的光柵使用級(jí)次為26。

由于Littrow結(jié)構(gòu)易引入雜散光，在輔助色散方向采用非對(duì)稱C-T結(jié)構(gòu)，便于雜散光抑制，從而利于提升系統(tǒng)的光能傳輸效率。輔助色散元件采用低色散棱鏡，整體結(jié)構(gòu)為折疊式后色散交叉形式。棱鏡具有非均勻色散特性，它相對(duì)不同波長(zhǎng)的色散性能可表示為：其中：nλ為棱鏡相對(duì)不同波長(zhǎng)的折射率，θ為棱鏡入射角，α為棱鏡頂角。由于反射棱鏡參數(shù)需與中階梯光柵色散匹配，即橫向色散能力需使探測(cè)靶面接收的二維梳狀譜圖相鄰級(jí)次間隔距離大于1個(gè)像元，才能保證系統(tǒng)的高分辨率，則根據(jù)幾何光學(xué)原理，不同入射波長(zhǎng)下棱鏡的色散距離可表示為：

根據(jù)中階梯光柵衍射級(jí)次可得相鄰級(jí)次間隔為：

棱鏡在橫向色散方向的邊界寬度可表示為：

由于棱鏡具有非均勻色散特性，在長(zhǎng)波段傾斜角度小，級(jí)次間隔小，故根據(jù)中階梯光柵光譜儀的邊界衍射參數(shù)，可以確定輔助色散方向展寬及級(jí)次間隔，進(jìn)而確定與中階梯光柵參數(shù)相匹配的棱鏡參數(shù)。

3.3 像差校正結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

中階梯光柵光譜儀的工作譜段覆蓋深紫外、可見(jiàn)光、近紅外的波段。因此，全譜段成像質(zhì)量及均勻性優(yōu)化是設(shè)計(jì)的關(guān)鍵。整體結(jié)構(gòu)為緊湊光路，方便裝調(diào)安裝，采用球面反射式元件，降低了系統(tǒng)色差，提高光能利用率，且便于平直譜面的獲取及寬波段光束的收集，但會(huì)引入球差。此外，為防止因近軸中心處光束遮擋而損失有效信號(hào)光束，引入離軸角ε，采用傾斜入射方式［15］。

首先，根據(jù)瑞利判據(jù)通過(guò)物鏡口徑、焦距參數(shù)設(shè)計(jì)控制球差引起的波像差，并配合球透鏡校正球差。然后在前期研究的基礎(chǔ)上，對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)，子午彗差會(huì)引起光斑色散維度的增寬，進(jìn)而展寬譜像，影響光譜儀的高分辨率特性［16］。因此，根據(jù)Beulter光程函數(shù)理論［17-18］，在子午方向通過(guò)計(jì)算物點(diǎn)經(jīng)準(zhǔn)直鏡、聚焦鏡的光程路徑，獲取對(duì)應(yīng)像點(diǎn)在像面產(chǎn)生的角寬度為：

其中：W為光柵有效寬度，γ1，γ2為準(zhǔn)直鏡、聚焦鏡的離軸角度，r1，r2為準(zhǔn)直鏡、聚焦鏡的曲率半徑，根據(jù)系統(tǒng)在子午方向的焦距可得彗差引起的增寬。故通過(guò)對(duì)球面準(zhǔn)直、聚焦鏡的參數(shù)設(shè)計(jì)可以有效校正彗差。

此外，該系統(tǒng)在子午及弧矢方向的光學(xué)特性不同，需要校正像散。這里針對(duì)各主要像差的校正及抑制進(jìn)行了特殊設(shè)計(jì)，通過(guò)加入柱透鏡和球透鏡校正了系統(tǒng)球差及像散。在入射端加入了雙柱透鏡、球透鏡組合，與準(zhǔn)直球面反射鏡共同組成準(zhǔn)直系統(tǒng)，不僅可以校正離軸像差和球差，還保證了出射光的平行度；在出射端加入一片柱透鏡與一片球透鏡，與聚焦球面反射鏡組成會(huì)聚系統(tǒng)，并在子午、弧矢面產(chǎn)生不同的補(bǔ)償焦距，使得子午面與弧矢面盡量重合，以校正因離軸產(chǎn)生的剩余像差和像散［19］。

4 設(shè)計(jì)結(jié)果與討論

4.1 設(shè)計(jì)結(jié)果

中階梯光柵光譜儀的工作譜段覆蓋深紫外到近紅外，且加入了透射式的校正組件結(jié)構(gòu)，為保證入射信號(hào)光束的有效利用，主要選用氟化鈣及紫外熔石英為光學(xué)材料，提高深紫外波段的傳遞效率。以上述色散結(jié)構(gòu)及像差抑制結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)為主要依據(jù)，優(yōu)化選擇并配置了光學(xué)元件及結(jié)構(gòu)參數(shù)，并對(duì)彗差、球差和像散進(jìn)行了校正，保證系統(tǒng)的高分辨率特性，采用CODEV光學(xué)設(shè)計(jì)軟件對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化評(píng)估，最終得到的光路結(jié)構(gòu)如圖3所示，設(shè)計(jì)參數(shù)如表3所示。

根據(jù)中階梯光柵的使用邊界及中心級(jí)次，設(shè)計(jì)過(guò)程采用1 025.133，1 005.413，986.449，746.883，522.818，205.384，160.374 nm作為參考波長(zhǎng)，對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量進(jìn)行評(píng)估，得到中階梯光柵光譜儀在不同級(jí)次自由光譜區(qū)內(nèi)的點(diǎn)列圖及像差曲線，如圖4所示。可以看出，該光學(xué)結(jié)構(gòu)在160～1 000 nm的超寬譜段內(nèi)，通過(guò)對(duì)像差的有效抑制及全波段成像質(zhì)量的優(yōu)化，各波段的子午、弧矢方向的像差均得到了較好的校正，成像光斑較為均勻，RMS值均小于12.1μm。圖5和圖6為257.601，257.61，257.619 nm處的點(diǎn)列圖及線擴(kuò)散函數(shù)分布，由圖可知光譜分辨率優(yōu)于0.009 nm@257.61 nm。

圖3 超寬譜段高分辨率中階梯光柵光譜儀的光路結(jié)構(gòu)Fig.3 Optical structure of echelle spectrometer with ul?tra-wide wavelength range and high resolution

表3 中階梯光柵光譜儀的設(shè)計(jì)參數(shù)Tab.3 Parameters of echelle spectrometer

圖4 不同級(jí)次自由光譜區(qū)內(nèi)點(diǎn)列圖及像差曲線Fig.4 Spot diagrams and aberration curves in free spec?tral range of different orders

圖5 257.601，257.61和257.619 nm處點(diǎn)列圖Fig.5 Spot diagram at 257.601，257.61 and 257.619 nm

圖6 257.601，257.61和257.619 nm處線擴(kuò)散函數(shù)分布Fig.6 Distribution of line spread function at 257.601，257.61 and 257.619 nm

此外，該結(jié)構(gòu)沒(méi)有采用拋物面反射鏡等慣用方法來(lái)校正像差以提高光譜分辨率。以球面元件為主的光路結(jié)構(gòu)，對(duì)裝調(diào)、加工的誤差容限較高，在針孔位置誤差為50μm、同軸度為30μm、透射式元件30″角度傾斜之內(nèi)仍能保證較高的成像質(zhì)量，光譜分辨率指標(biāo)控制在0.009 nm@257.61 nm，且此類儀器在成像鏡處通常預(yù)留三維調(diào)整接口，便于裝調(diào)。

4.2 探測(cè)實(shí)驗(yàn)

在解決了光學(xué)設(shè)計(jì)難點(diǎn)的同時(shí)，為實(shí)現(xiàn)深紫外到近紅外波段信號(hào)光束的有效探測(cè)，本文除采用具有高紫外透過(guò)率的玻璃材料外，通過(guò)整機(jī)密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，并加入環(huán)境控制系統(tǒng)，對(duì)光室內(nèi)部進(jìn)行抽真空或充入惰性氣體處理，以解決深紫外波段的空氣吸收問(wèn)題。

該設(shè)計(jì)還有效提高了結(jié)構(gòu)剛度，保證了光束的高穩(wěn)定傳輸。真空及充氣條件下的結(jié)構(gòu)變形模擬如圖7所示，整機(jī)結(jié)構(gòu)上蓋變形最大，約為0.7 mm，內(nèi)部鏡座受外殼變形影響會(huì)產(chǎn)生約0.07～0.15 mm的變形。經(jīng)評(píng)估，該變形量在公差要求范圍內(nèi)，且實(shí)際變形值小于此模擬值。

圖7 光譜儀結(jié)構(gòu)變形模擬Fig.7 Simulation of mechanical structure deformation for spectrometer

超寬譜段高分辨率中階梯光柵光譜儀樣機(jī)如圖8所示。通過(guò)譜圖還原模型建立，對(duì)光譜信息進(jìn)行預(yù)處理，實(shí)現(xiàn)160～1 000 nm全譜段二維譜圖的一維轉(zhuǎn)換，采集汞氬燈譜圖如圖9所示。

圖8 中階梯光柵光譜儀樣機(jī)Fig.8 Photo of echelle spectrometer prototype

圖9 二維譜圖的還原結(jié)果Fig.9 Reduction result of two-dimensional spectrogram

由于深紫外波段的有效探測(cè)是該設(shè)備研制的關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，因此，對(duì)該項(xiàng)技術(shù)進(jìn)行驗(yàn)證。根據(jù)光柵色散方程可計(jì)算得到160 nm位于163級(jí)次，汞氬燈253.652 nm處特征光斑位于103級(jí)次位置。定位253.652 nm處光斑坐標(biāo)位置作為基準(zhǔn)，如圖10所示。觀看采集氘燈光源所獲得的全譜段二維梳狀譜圖，如圖11所示，可以看到自103級(jí)次（探測(cè)器靶面第735行位置附近）下數(shù)60個(gè)級(jí)次即163級(jí)次（160 nm所在級(jí)次）譜線清晰。故所研制設(shè)備的使用范圍可以覆蓋160～1 000 nm。

圖10 253.652 nm處光斑位置Fig.10 Graphic representation of spot location at 253.652 nm

圖11 中階梯光柵光譜儀采集氘燈譜圖Fig.11 Spectrum of deuterium light source collected by echelle spectrometer

中階梯光柵光譜儀在應(yīng)用過(guò)程需根據(jù)所集成光譜分析系統(tǒng)特點(diǎn)配備光源耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)發(fā)散光束的有效導(dǎo)入。因此，由圖11可以看出，雖然在全譜段范圍內(nèi)，各衍射級(jí)次譜線得到有效采集，但各波段譜線強(qiáng)度相差較大。針對(duì)此問(wèn)題，將完成配套光源的耦合結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，以提升紫外波段的光源耦合效率，平衡全譜段的信號(hào)強(qiáng)度。

5 結(jié) 論

本文針對(duì)石化行業(yè)的流程工業(yè)檢測(cè)應(yīng)用需求，設(shè)計(jì)了一種中階梯光柵光譜儀，該光譜儀具有160～1 000 nm的超寬工作波段。針對(duì)深紫外波段的探測(cè)需求，通過(guò)像差抑制和色散結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得光學(xué)系統(tǒng)在子午、弧矢兩方向的像差得到了良好的校正。通過(guò)加入由球透鏡和柱透鏡組成的校正結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)焦距補(bǔ)償及全波段的高質(zhì)量成像優(yōu)化，最終設(shè)計(jì)系統(tǒng)在全譜段范圍的成像光斑大小約為12.1μm，且較為均勻，在257.61 nm處的分辨率優(yōu)于0.009 nm。此外，為解決深紫外波段的強(qiáng)空氣吸收問(wèn)題，采用高剛度密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及環(huán)境控制裝置，通過(guò)應(yīng)力分析在抽真空及充氣狀態(tài)下驗(yàn)證整體方案的可行性，并且對(duì)深紫外波段的探測(cè)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。

環(huán)境控制裝置及高質(zhì)量成像光路的設(shè)計(jì)，解決了中階梯光柵光譜儀類儀器因光學(xué)材料有限及強(qiáng)空氣吸收作用而難在深紫外波段應(yīng)用的問(wèn)題。所設(shè)計(jì)的光譜儀實(shí)現(xiàn)了超寬譜段光譜的高分辨讀取，為深紫外波段探測(cè)提供了借鑒。