超導(dǎo)鍍膜測(cè)量裝置遠(yuǎn)控系統(tǒng)研究

李愛玲,趙偉華2,鄭 健,彭朝華,周立鵬

(1.中國(guó)原子能科學(xué)研究院, 北京 102413; 2.原子高科股份有限公司,北京 102413)

0 引言

直線超導(dǎo)加速器用來(lái)加速質(zhì)量為25～240的重離子，可使每核子平均能量提升4MeV。超導(dǎo)腔是加速器的核心組成部分，它是四分之一波長(zhǎng)腔(QWR)，即一端短路，另一端為電容負(fù)載的同軸線；腔體為無(wú)氧銅基上電鍍一層約2微米厚的鉛膜，室溫下其品質(zhì)因數(shù)約為7000，超導(dǎo)下約為5×107。加速器運(yùn)行時(shí)，溫度低于7K(-266℃)，鉛膜的電阻值變得很小，此時(shí)把射頻功率饋入腔內(nèi),由于高頻的趨膚效應(yīng),超導(dǎo)腔工作時(shí)電損耗只發(fā)生在超導(dǎo)鉛膜中,極大降低了建立加速場(chǎng)的功率損耗[1]。

超導(dǎo)腔內(nèi)部鍍膜的超導(dǎo)性能直接影響腔的加速梯度。為此建立的超導(dǎo)鍍膜測(cè)量裝置，其遠(yuǎn)控系統(tǒng)基于EPICS分布式設(shè)計(jì)，提供一個(gè)真空、液氦低溫的環(huán)境，測(cè)量樣品腔鍍鉛后的超導(dǎo)性能，快速判定鍍鉛膜低溫超導(dǎo)性能，為鍍鉛工藝研究和鍍鉛工藝線建設(shè)提供技術(shù)支持，同時(shí)還可評(píng)估鍍鉛溶液配比能否滿足使用要求。

1 系統(tǒng)簡(jiǎn)介

超導(dǎo)鍍膜測(cè)量裝置是一個(gè)圓柱形密閉容器,中間有立柱,上有法蘭與鍍鉛樣品腔用螺釘緊固；在外圍容器與中間部分設(shè)置一個(gè)冷屏；內(nèi)部抽真空降低熱傳導(dǎo)；在樣品腔、冷屏和立柱上分布三個(gè)溫度探頭測(cè)量溫度分布；在4.2 K低溫環(huán)境下，用網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量樣品腔的Q值以評(píng)估鍍鉛溶液配比。

測(cè)量裝置設(shè)備包括氦氣制冷機(jī)系統(tǒng)、機(jī)械泵、分子泵、真空計(jì)、腔體及冷屏加熱電源、溫度儀表、網(wǎng)絡(luò)分析儀等，遠(yuǎn)控系統(tǒng)通過(guò)對(duì)這些設(shè)備的監(jiān)測(cè)和控制，實(shí)現(xiàn)對(duì)各類設(shè)備開/關(guān)機(jī)和參量調(diào)節(jié)，對(duì)測(cè)量的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算和處理，對(duì)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行定期巡檢等操作；提供一套快速可靠、用戶友好的圖形操作界面，運(yùn)行人員可隨時(shí)掌握各種運(yùn)行信息，調(diào)整和控制設(shè)備的各種參數(shù)；建立存放大量實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)和存放歷史數(shù)據(jù)的歷史數(shù)據(jù)庫(kù)，分別供控制系統(tǒng)人員在線和離線分析使用；具有異常報(bào)警功能，當(dāng)設(shè)備的參數(shù)超出設(shè)定值時(shí)報(bào)警并記錄到事件數(shù)據(jù)庫(kù)中。

在這些設(shè)備中，氦氣制冷機(jī)系統(tǒng)不斷收集回路系統(tǒng)中的低壓氦氣，將其壓縮、冷卻、濾油后，通過(guò)供氣管路將氣體輸送到冷頭，為裝置提供高壓無(wú)油的低溫氦氣。在其前面板上有一個(gè)用于診斷壓縮機(jī)運(yùn)行狀態(tài)和遠(yuǎn)程控制的接口，型號(hào)為DB-25，控制信號(hào)包括系統(tǒng)啟動(dòng)與關(guān)閉、冷頭電機(jī)運(yùn)行與暫停、系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)、電磁閥工作狀態(tài)等共4個(gè)數(shù)字量輸出(DO)、9個(gè)數(shù)字量輸入(DI)與1個(gè)模擬量輸入(AD)(0～5 V)。

真空設(shè)備前級(jí)為機(jī)械泵，通過(guò)接觸器控制220 V電源連接與斷開；當(dāng)真空度為10-2Pa，切換到分子泵繼續(xù)抽真空，分子泵采用OSAKA的TC76，其電源通訊接口為RS232；真空計(jì)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)真空度，在液氦溫度下，真空度達(dá)到3×10-6Pa，使用LeyboldGraphix Controller控制器，通訊接口有RS232和RS485兩種，編程時(shí)，使用CENTER通訊模式，GRAPHIX會(huì)自動(dòng)向上位機(jī)傳輸當(dāng)下的真空壓力值。加熱電源的作用是系統(tǒng)在液氦溫度下，做完實(shí)驗(yàn)后，加熱使其快速回溫到常溫狀態(tài)，通訊接口為RS485，MODBUS通訊協(xié)議。測(cè)量系統(tǒng)分布3個(gè)溫度探頭測(cè)量液氦溫度，溫度儀表Lakeshore218E連接測(cè)溫探頭顯示溫度，通訊接口為RS232；一臺(tái)網(wǎng)絡(luò)接口的網(wǎng)絡(luò)分析儀分析樣品腔鍍鉛后的超導(dǎo)性能參數(shù)。設(shè)備與信號(hào)量統(tǒng)計(jì)如表1所示。

表1 設(shè)備與控制量信號(hào)統(tǒng)計(jì)表

2 控制系統(tǒng)技術(shù)方案

EPICS(實(shí)驗(yàn)物理和工業(yè)控制系統(tǒng))是由美國(guó)洛斯阿拉莫斯國(guó)家實(shí)驗(yàn)室和阿貢國(guó)家實(shí)驗(yàn)室等聯(lián)合開發(fā)的典型的分布式控制系統(tǒng)軟件開發(fā)工具，它采用了分布式控制系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)模型，具有可移植性、可互操作性、可裁減性以及可重用性特點(diǎn)；而且經(jīng)過(guò)大量實(shí)例證明，EPICS還具有運(yùn)行穩(wěn)定、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)靈活、開放性好、可擴(kuò)展性好等諸多優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)目前的發(fā)行版本中大量工具都是免費(fèi)的且提供豐富的支持文章，因此EPICS現(xiàn)已逐漸成為國(guó)際大型加速器控制系統(tǒng)的一個(gè)主流開發(fā)和運(yùn)行環(huán)境[2]。

測(cè)量裝置控制系統(tǒng)采用基于EPICS的分布式軟件開發(fā)環(huán)境，結(jié)構(gòu)上分為操作員接口層(OPI)，輸入輸出控制層(IOC)和設(shè)備控制層[3]，如圖1所示。OPI提供人機(jī)操作界面供操作人員參數(shù)設(shè)置和狀態(tài)回讀；IOC對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)測(cè)控制、故障報(bào)警和聯(lián)鎖操作，并建立分布式的IOC實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)，OPI和IOC以客戶機(jī)/服務(wù)器模式工作在網(wǎng)絡(luò)環(huán)境中，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)和信息交換；EPICS提供了Channel Access通道訪問(wèn)協(xié)議，通過(guò)它可使Channel Access客戶與任意一個(gè)Channel Access服務(wù)器進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)通信。設(shè)備控制層控制底層設(shè)備。

圖1 超導(dǎo)樣品測(cè)量控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖

與EPICS的體系結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)，控制系統(tǒng)的硬件分為OPI、IOC控制器和設(shè)備控制器。設(shè)備控制器選用SIMENS S7-1500系列PLC模塊，它體積精巧，支持大容量擴(kuò)展，可容納高達(dá)8192個(gè)輸入/輸出點(diǎn)，并配備有各種可用于多種不同應(yīng)用的功能模塊；同時(shí)它具有高速指令處理能力，適于需要高速度和快速響應(yīng)的應(yīng)用；CPU集成LCD屏和鍵板，便于設(shè)置和診斷，隨時(shí)監(jiān)控CPU的運(yùn)行狀態(tài)[4]。PLC模塊由集成以太網(wǎng)通訊接口的CPU處理器、電源模塊、I/O模塊和機(jī)架等組成，根據(jù)設(shè)備接口及控制量統(tǒng)計(jì)，PLC選用CPU模塊1511，AI模塊、DO模塊、DI模塊各1塊，RS232和RS485通訊模塊各2塊。PLC與這些設(shè)備相連，運(yùn)行在PLC IOC上的EPICS IOC Core軟件通過(guò)內(nèi)部的Device Drivers與Device Support與PLC進(jìn)行通信，從而將對(duì)PV值的讀寫對(duì)應(yīng)到對(duì)實(shí)際設(shè)備值的讀寫上。

IOC控制器通常對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)測(cè)控制、故障報(bào)警和聯(lián)鎖操作，IOC控制計(jì)算機(jī)、數(shù)據(jù)服務(wù)器和操作員控制臺(tái)計(jì)算機(jī)通過(guò)以太網(wǎng)進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊。IOC控制器選擇安裝centOS 7操作系統(tǒng)的PC機(jī)，在其上建立分布式的IOC實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)Database，通過(guò)一定的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)將PV變量的各種屬性、值進(jìn)行保存。在EPICS中擁有大量的數(shù)據(jù)記錄類型，如模擬輸入輸出、數(shù)字輸入輸出、字符串、波形記錄等，用戶也可以自行編寫Record Support形成新的數(shù)據(jù)記錄類型。IOC提供數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)管理與訪問(wèn)的工具，并配置PLC設(shè)備驅(qū)動(dòng)程序。由于實(shí)時(shí)控制在IOC控制機(jī)上運(yùn)行且只執(zhí)行專門的操作，因此系統(tǒng)可達(dá)到較高的可靠性和實(shí)時(shí)響應(yīng)速度，同時(shí)簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的工藝控制邏輯，降低了不同系統(tǒng)間的耦合，并具有良好的擴(kuò)充功能。

OPI層采用PC機(jī)用于系統(tǒng)的監(jiān)控，與IOC層通過(guò)局域網(wǎng)連接。在其上建立EPICS控制系統(tǒng)軟件開發(fā)環(huán)境，包括客戶端操作系統(tǒng)、操作員界面、遠(yuǎn)程訪問(wèn)工具以及本地文本編輯工具。操作員界面的開發(fā)和運(yùn)行環(huán)境采用DESY 的64位CSS(Control System Studio)軟件，通過(guò)Channel Access協(xié)議與IOC控制器或者服務(wù)器建立連接，改變現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備的參數(shù)，達(dá)到控制各子系統(tǒng)運(yùn)行的目的。CSS基于Eclipse的客戶端接口框架，由一系列plugin組成，具有平臺(tái)無(wú)關(guān)性，可以在不同的操作平臺(tái)進(jìn)行移植。

數(shù)據(jù)服務(wù)器運(yùn)行Linux操作系統(tǒng)，通過(guò)Channel Access協(xié)議讀取IOC控制器的數(shù)據(jù)，存儲(chǔ)多個(gè)PV變量的歷史數(shù)據(jù)，可以使用CSS的Data Browser打開任何時(shí)間的數(shù)據(jù)進(jìn)行趨勢(shì)顯示和數(shù)據(jù)查詢。

3 軟件設(shè)計(jì)

測(cè)量裝置控制系統(tǒng)的軟件與硬件相對(duì)應(yīng)，分布在PLC控制器、前端IOC以及OPI和數(shù)據(jù)服務(wù)器上。PLC編程工作與設(shè)備相關(guān)，主要完成控制流程、邏輯互鎖等功能；開發(fā)環(huán)境選擇SIEMENS公司的PORTAl V14 SP1，采用簡(jiǎn)單直觀、易于修改PLC程序的梯形圖編寫。IOC控制器軟件的核心是分布式運(yùn)行數(shù)據(jù)庫(kù)以及相關(guān)的輸入輸出支持模塊，比較重要的功能包括數(shù)據(jù)庫(kù)掃描(database scanning)、數(shù)據(jù)庫(kù)訪問(wèn)(database access)、記錄支持(record support)、設(shè)備/驅(qū)動(dòng)支持(device/driver support)等幾個(gè)部分；數(shù)據(jù)庫(kù)中記錄的I/O操作，通過(guò)iocCore中的掃描器(scanner)掃描數(shù)據(jù)庫(kù)記錄實(shí)現(xiàn)，有周期掃描、事件觸發(fā)掃描和被動(dòng)掃描三種方式[5]。

3.1 PLC軟件開發(fā)

測(cè)量裝置PLC軟件實(shí)現(xiàn)設(shè)備的控制功能：通過(guò)溫度儀表通訊接口實(shí)時(shí)讀取3路溫度數(shù)據(jù)；加熱電源開啟/停止、設(shè)定和讀取電壓/電流值；機(jī)械泵的啟動(dòng)和停止；分子泵的啟動(dòng)/停止、轉(zhuǎn)速設(shè)置和讀取以及設(shè)備復(fù)位信息；真空值的讀?。缓庵评錂C(jī)的開關(guān)機(jī)控制、讀取壓力數(shù)值和報(bào)警狀態(tài)。

開始實(shí)驗(yàn)時(shí)，首先安裝鍍鉛樣品腔，緊固后放下冷屏，密閉外蓋；遠(yuǎn)控系統(tǒng)啟動(dòng)，打開機(jī)械泵抽真空，真空計(jì)顯示真空度，當(dāng)真空到10-2Pa，打開分子泵繼續(xù)抽真空到10-5Pa；啟動(dòng)氦氣制冷機(jī)，溫度儀表監(jiān)測(cè)溫度，在液氦溫度下，用網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)試樣品腔頻率f和品質(zhì)因數(shù)Q值；當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障，會(huì)顯示相應(yīng)的故障狀態(tài)并進(jìn)行處理。

控制軟件自動(dòng)控制全部流程，同時(shí)規(guī)定DB10:周期性向IOC發(fā)送采集數(shù)據(jù)；DB11:接收IOC發(fā)送到PLC的數(shù)據(jù)。在編寫PLC程序時(shí)，根據(jù)每個(gè)設(shè)備接口，編寫相應(yīng)的梯形圖程序。對(duì)于RS232/RS485串口設(shè)備，通訊協(xié)議都不相同，以溫度儀表PLC程序?yàn)槔?，將連接的串口模塊通訊設(shè)置為：波特率9600、1起始位、7數(shù)據(jù)位、奇校驗(yàn)、1停止位，建立RS232 通訊模塊與溫度儀表的連接；詢問(wèn)某通道溫度數(shù)值的語(yǔ)句為KRDG？n，在DB18中與之對(duì)應(yīng)的十六進(jìn)制數(shù)組{4B,52,44,47,3F,3n,0D,OA}，將該數(shù)組通過(guò)Send_P2P模塊發(fā)至溫度儀表，儀表接收命令將溫度數(shù)據(jù)回傳至通訊模塊，PLC通過(guò)Receive_P2P模塊讀取數(shù)據(jù)，經(jīng)過(guò)ZXB運(yùn)算模塊數(shù)據(jù)處理得到溫度值。PLC依次計(jì)算得到各個(gè)通道的溫度數(shù)值，并將數(shù)據(jù)存入DB10模塊等待IOC讀取。使用梯形圖編寫的部分程序如圖2所示。

圖2 溫度儀表串口通訊梯形圖

3.2 IOC設(shè)備驅(qū)動(dòng)和記錄編寫

EPICS/IOC安裝在計(jì)算機(jī)上，核心是一個(gè)常駐內(nèi)存的分布式實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)，進(jìn)入數(shù)據(jù)庫(kù)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)都帶有采樣時(shí)的時(shí)間標(biāo)記(time stamp)；IOC提供數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)管理與訪問(wèn)的工具，并提供了西門子PLC的驅(qū)動(dòng)程序；EPICS內(nèi)置了50多種數(shù)據(jù)庫(kù)記錄(DB record)與I/O通道相連，存放通道信息和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。

西門子S7-1500系列PLC的IOC驅(qū)動(dòng)s7nodave，支持通過(guò)Ethernet/PROFINET (ISO-TCP)連接的PLC，它的優(yōu)點(diǎn)是在PLC側(cè)不用編程，只需要在IOC上配置。S7nodave支持IOC設(shè)備直接讀取和寫入PLC內(nèi)存數(shù)據(jù)，在EPICS 記錄里使用這些地址編寫PLC控制邏輯，輸出記錄會(huì)把數(shù)據(jù)寫入PLC相應(yīng)地址，輸入記錄可以回讀PLC數(shù)據(jù)，每個(gè)記錄可以有不同的處理速率，也可以配置poll group讓所有數(shù)據(jù)同時(shí)傳輸[6]。

在IOC計(jì)算機(jī)上首先安裝編譯EPICSbase3.14.12，它包含EPICS基本的記錄類型；因?yàn)镾7nodave支持執(zhí)行異步的設(shè)備，所以需要編譯asynDriver作為配置管理、日志管理和異步處理；把編譯時(shí)需要的BoostC++庫(kù)解壓到某個(gè)文件夾里；最后編譯s7nodave，配置以下兩個(gè)參數(shù)完成設(shè)備驅(qū)動(dòng)安裝。

s7nodaveConfigureIsoTcpPort("myPLC", "192.168.0.6", 0, 0, 0)

s7nodaveConfigurePollGroup("myPLC", "1s", 1.0, 0)

IOC數(shù)據(jù)庫(kù)的記錄與PLC的每一個(gè)地址相對(duì)應(yīng)，用于實(shí)現(xiàn)工程量到物理量的轉(zhuǎn)換和其它的一些控制邏輯。數(shù)據(jù)庫(kù)的記錄類型包括模擬輸入AI、模擬輸出AO、二進(jìn)制輸入BI、二進(jìn)制輸出BO和計(jì)算CALC等，除了計(jì)算記錄外，其余四種都與PLC里的數(shù)據(jù)類型相同。以加熱電源為例，編寫的部分記錄如下：

record(bo, "heat:ON") //打開電源

{

field(DESC, "heat power ON")

field(DTYP, "s7nodave")

field(OUT, "@myPLCDB11.DBX11.5")

field(OMSL, "supervisory")

}

record(ao,"heat:setV") //設(shè)置電壓

{

field(DESC, "set heat V")

field(DTYP,"s7nodave")

field(OUT,"@myPLCDB11.DBD34 float")

}

record(ai,"heat:V") //電壓回讀

{

field(DESC, "read V")

field(DTYP,"s7nodave")

field(INP, "@myPLCDB10.DBD52 float")

field(SCAN, "1 second")

}

在st.cmd文件里，添加記錄文件和與PLC驅(qū)動(dòng)有關(guān)的參數(shù)，在EPICS下編譯成功如圖3所示, 此時(shí)IOC與PLC里的數(shù)據(jù)開始交互共享。

3.3 歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

測(cè)量裝置控制系統(tǒng)的歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)采用Archiver Appliance，它運(yùn)行在安裝有CentOS系統(tǒng)的服務(wù)器上，用來(lái)存儲(chǔ)真空度、溫度值、真空泵和制冷機(jī)狀態(tài)等運(yùn)行數(shù)據(jù)。Archiver Appliance是基于EPICS的數(shù)據(jù)存取管理軟件，它具有數(shù)據(jù)提取快、獲取百萬(wàn)量級(jí)PV、組建應(yīng)用程序集群的能力，以及分段存儲(chǔ)使數(shù)據(jù)存儲(chǔ)速度更快[7]。歷史數(shù)據(jù)查看使用EPICS專用的數(shù)據(jù)查看軟件Archiver Viewer或CSS的Data Browser，通過(guò)分析Archiver歷史數(shù)據(jù)，準(zhǔn)確地診斷設(shè)備故障原因，在系統(tǒng)運(yùn)行過(guò)程中發(fā)揮著極其重要的作用。

Archiver appliance的安裝過(guò)程是：首先在安裝64位操作系統(tǒng)centos7.4的服務(wù)器上，編譯EPICS base3.14.12.6；安裝jdk-9.0.1，配置環(huán)境變量；安裝tomcat WEB服務(wù)器；最后安裝mysql數(shù)據(jù)庫(kù)[8]。安裝完畢，啟動(dòng)/etc/init.d/sampleStartup.sh start，打開網(wǎng)址http://localhost:17665/mgmt/ui/index.html 便可添加欲存儲(chǔ)的pv量，并顯示每個(gè)PV量的狀態(tài)、是否連接、采樣周期以及是否被監(jiān)控等參數(shù)，點(diǎn)擊quick chart還能顯示歷史數(shù)據(jù)曲線。Archiver Appliance程序根據(jù)配置文件的變量名及其相關(guān)的采集頻率，將需要保存的數(shù)據(jù)從IOC的實(shí)時(shí)運(yùn)行數(shù)據(jù)庫(kù)中取出，保存到歷史數(shù)據(jù)庫(kù)中，如圖4所示。

圖3 IOC啟動(dòng)界面

圖4 歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)界面

3.4 OPI軟件開發(fā)

OPI軟件是運(yùn)行人員完成測(cè)量裝置啟動(dòng)、參數(shù)調(diào)整、鍍膜測(cè)量和停機(jī)的主要手段。CSS是一套專門用于開發(fā)EPICS界面的工具集，提供了多種輸入/輸出控件，比如文本輸入/輸出、儀表控件、各種2D圖形繪制工具、趨勢(shì)圖控件、LED模擬以及各種按鈕等，并且CSS提供的所有控件都是可組態(tài)的；此外，CSS具有良好的可擴(kuò)展性，能夠根據(jù)實(shí)際需要自定義控件，也可以自行添加控件[9]。

測(cè)量裝置由CSS生成的控制界面如圖5所示。將每種設(shè)備的參數(shù)集中在一起，通過(guò)點(diǎn)擊設(shè)備的相應(yīng)參數(shù)，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)該設(shè)備的控制和顯示。將樣品腔鍍膜后用高壓高純水清洗，放于測(cè)量裝置內(nèi)，從圖上可以看出，在真空度為10-6Pa，液氦溫度時(shí)，測(cè)量鍍鉛樣品腔的f為1 635 021 GHz，Q值為2 508 743。將樣品腔鍍膜除鉛后，用同樣的溶液在樣品腔內(nèi)電鍍鉛膜，在高真空和低溫下，測(cè)量鍍膜的超導(dǎo)性能，重復(fù)多次實(shí)驗(yàn)，測(cè)量的鍍鉛樣品腔的f和Q值都很接近，表明鍍液配比能夠滿足工程需求。

歷史數(shù)據(jù)顯示采用CSS里的data browser與數(shù)據(jù)庫(kù)連接，設(shè)置地址為pbraw://192.168.0.12:17668/retrieval，即可獲得PV量的歷史數(shù)據(jù)[10]。如圖6所示為T6存儲(chǔ)4天的數(shù)據(jù)，右鍵單擊export data將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，包括日期、數(shù)值、報(bào)警級(jí)別和狀態(tài)等，可以文本方式或其他工具打開數(shù)據(jù)。

圖5 超導(dǎo)鍍膜測(cè)量裝置控制界面

4 結(jié)論

利用超導(dǎo)鍍膜裝置測(cè)量鍍鉛樣品腔的超導(dǎo)性能，其遠(yuǎn)控系統(tǒng)基于EPICS平臺(tái)搭建，實(shí)現(xiàn)了抽真空、樣品腔體降溫、回溫加熱和鍍鉛腔的超導(dǎo)性能測(cè)量的自動(dòng)化控制，滿足了工程應(yīng)用需求。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該裝置能夠安全穩(wěn)定的運(yùn)行，為以后的超導(dǎo)腔鍍鉛工作順利進(jìn)行打下了重要基礎(chǔ)；同時(shí)該控制平臺(tái)的建立也為實(shí)驗(yàn)室以后的控制工作拓展創(chuàng)造了條件。

圖6 T6歷史數(shù)據(jù)查詢