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    影響厚膜導(dǎo)體附著力的幾種因素

    2011-02-26 09:40:48楊伊杰吳潤(rùn)霖
    電子與封裝 2011年3期
    關(guān)鍵詞:焊膏厚膜附著力

    楊伊杰,吳潤(rùn)霖

    (甘肅天水七四九電子有限公司,甘肅 天水 741000)

    1 引言

    厚膜混合集成電路以其組件參數(shù)范圍廣、精度和穩(wěn)定度高、電路設(shè)計(jì)靈活性大、研制生產(chǎn)周期短、適合于多種小批量生產(chǎn)等特點(diǎn),與半導(dǎo)體集成電路相互補(bǔ)充、相互滲透,已成為集成電路的一個(gè)重要組成部分。厚膜混合集成電路基板采用Al2O3陶瓷、BeO陶瓷等,散熱性能極好。另外,厚膜導(dǎo)體還具有以下優(yōu)勢(shì),因而得到廣泛運(yùn)用,市場(chǎng)前景越來(lái)越好:(1)電導(dǎo)率高,膜層厚,導(dǎo)體方阻小,在大電流沖擊下引線損耗?。唬?)厚膜導(dǎo)體附著力好,尤其在大功率芯片燒結(jié)、共熔焊、再流焊和錫焊等組裝工序和電路老化后,厚膜導(dǎo)體附著力仍然符合要求;(3)可焊性好,可滿足芯片燒結(jié)、絲焊、共熔焊、再流焊和錫焊等多道組裝工序的要求;(4)在長(zhǎng)期電流沖擊下,機(jī)電性能仍然良好;(5)厚膜混合集成電路集成度高,附著力強(qiáng),組裝靈活,生產(chǎn)周期短,制造成本低。

    公司的厚膜混合集成電路產(chǎn)品在做剪切強(qiáng)度測(cè)試時(shí)曾經(jīng)出現(xiàn)了焊盤(pán)脫落現(xiàn)象,這使我們的厚膜混合集成電路產(chǎn)品合格率大大下降,對(duì)厚膜混合集成電路產(chǎn)品質(zhì)量帶來(lái)很大隱患,直接關(guān)系到厚膜電路組件的使用壽命,后果相當(dāng)嚴(yán)重。為了解決附著力變差的問(wèn)題,技術(shù)人員做了大量的工作,進(jìn)行了技術(shù)攻關(guān),從選擇厚膜導(dǎo)體漿料、印刷工藝、燒結(jié)工藝、焊接工藝、清洗工藝等入手,終于找到了原因。

    2 厚膜導(dǎo)體漿料

    厚膜導(dǎo)體漿料的主要功能是在信號(hào)線中導(dǎo)通電流,在導(dǎo)體層之間、在元器件和電路線之間形成電通路。厚膜導(dǎo)體漿料中含有多種成份,對(duì)厚膜導(dǎo)體附著力及可焊性都起著決定性作用,但有時(shí)也相互矛盾。比如,在厚膜導(dǎo)體漿料銀鈀中,銀含量增加,電阻率降低,可焊性提高,抗焊料侵蝕能力(附著力)下降,成本降低;鈀含量提高,抗銀離子遷移能力增強(qiáng),抗焊料侵蝕能力(附著力)提高,電阻率增大,成本增大。

    對(duì)用于厚膜混合集成電路和電阻網(wǎng)絡(luò)的厚膜導(dǎo)體漿料的主要性能要求是:印刷性好、可焊性好、附著力強(qiáng)、與電阻漿料匹配性好、細(xì)線分辨率高。因此,選擇合適的厚膜導(dǎo)體漿料是很重要的。我們用杜邦的6177銀鈀漿料跟合肥圣達(dá)的SD1210(20% Pd)在2mm×2mm焊區(qū)上都做了附著力試驗(yàn)并進(jìn)行比較。結(jié)果發(fā)現(xiàn),這兩種漿料的附著力都大于58.8N(廠家要求的老化前的附著力為39.6N),而且焊盤(pán)沒(méi)有脫落現(xiàn)象。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期使用比較,杜邦的6177銀鈀導(dǎo)體漿料(15%Pd)、5715H(Au)印刷性好、可焊性好、附著力強(qiáng)、與電阻漿料匹配性好、細(xì)線分辨率高,可以滿足厚膜混合集成電路和電阻網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)品的性能要求。

    3 印刷工藝和燒結(jié)工藝

    印刷厚膜導(dǎo)體漿料是厚膜混合集成電路制造工藝的第一步。厚膜導(dǎo)體漿料印得越薄,其導(dǎo)體附著力越低;反之,厚膜導(dǎo)體漿料印得越厚,其導(dǎo)體附著力越高,但要增加制造成本。一般,銀鈀導(dǎo)體的干膜厚度都控制在15μm~20μm,金導(dǎo)體的厚度控制在11μm~15μm,。

    3.1 烘干、燒結(jié)工藝

    厚膜導(dǎo)體漿料經(jīng)印刷后,放置5min(流平)后,置于150℃的帶式隧道爐中烘干,時(shí)間約為15min;再置于850℃帶式隧道燒結(jié)爐中燒結(jié)。600℃以上保持30min,800℃以上保持20min,850℃保持8 min~10min。在高溫時(shí)保持時(shí)間不宜太長(zhǎng),否則玻璃上浮到厚膜導(dǎo)體表面,會(huì)降低厚膜導(dǎo)體附著力和可焊性。

    有些情況下,新印完的基片在提高溫度干燥前,室溫下晾干一到幾小時(shí)能得到更好的結(jié)果。這樣可平緩地去掉溶劑并流平,減小漿料的流動(dòng)和尺寸的變化,避免產(chǎn)生氣泡。

    印刷厚膜導(dǎo)體漿料、介質(zhì)漿料和電阻漿料后,要進(jìn)行流平、烘干及燒結(jié),其工藝及作用原理如表1。

    為了確定燒結(jié)曲線是否合適,我們做了燒結(jié)爐 的溫度曲線,從溫度曲線上看出最高溫度為856℃,850℃以上溫度保持時(shí)間為9.8min,都在規(guī)定的范圍之內(nèi)。而且,經(jīng)過(guò)計(jì)量,燒結(jié)爐的顯示溫度跟實(shí)際溫度基本一致。從所做的溫度曲線也可以驗(yàn)證顯示的爐溫是正常的。

    3.2 瓷片的清洗

    在這次試驗(yàn)中,我們還做過(guò)瓷片清洗的對(duì)照試驗(yàn)。公司的瓷片清洗一直用的是Ⅰ號(hào)洗液,離子水:雙氧水:氨水=5:2:1(體積比),由于懷疑使用的氨水和雙氧水是否合格,公司臨時(shí)從其他廠調(diào)換了一些氨水和雙氧水,然后跟原來(lái)的試劑進(jìn)行清洗對(duì)比試驗(yàn),經(jīng)附著力試驗(yàn)后發(fā)現(xiàn)這兩種牌子的試劑清洗后沒(méi)有明顯的變化。由此排除了瓷片清洗的問(wèn)題。

    從以上所做的試驗(yàn)可以看出,我們的瓷片清洗、燒結(jié)爐的溫度曲線都沒(méi)有問(wèn)題,這幾種可能影響導(dǎo)體附著力的因素都被一一排除了。下面我們將重點(diǎn)放在再流焊的焊接工藝上。

    4 再流焊焊接工藝

    厚膜混合集成電路進(jìn)行再流焊時(shí),其焊膏應(yīng)選擇含銀的焊膏,含銀的焊膏可大大減少“吃銀”現(xiàn)象。因?yàn)?,含銀的焊膏可大大避免厚膜導(dǎo)體中銀粒子擴(kuò)散、侵蝕、遷移到再流焊焊膏中去。一般可選擇含銀2%左右的焊膏。

    厚膜混合集成電路再流焊焊接溫度應(yīng)按照再流焊焊膏的技術(shù)要求和再流焊爐的具體情況設(shè)定,比如,熔點(diǎn)為180℃的再流焊焊膏,廠家給的參考溫度是220℃~230℃,但經(jīng)過(guò)我們大量的試驗(yàn)和摸索,再流焊焊接溫度應(yīng)設(shè)定在210℃左右,不能過(guò)高和過(guò)低。再流焊焊接溫度過(guò)高,容易使厚膜混合集成電路在焊接時(shí)“吃銀”;而再流焊焊接溫度過(guò)低,焊接性能不好,則容易出現(xiàn)厚膜混合集成電路產(chǎn)品假焊,留下質(zhì)量隱患。

    厚膜混合集成電路在焊接時(shí),再流焊焊接速度也是影響厚膜導(dǎo)體“吃銀”的重要方面,再流焊焊接速度過(guò)低,則厚膜導(dǎo)體附著力降低,特別要防止在焊接時(shí),將厚膜混合集成電路產(chǎn)品停留在再流焊?jìng)魉蛶虾附?、返修;而再流焊焊接溫度過(guò)高,焊接性能不好,則容易出現(xiàn)厚膜混合集成電路產(chǎn)品假焊。一般,厚膜混合集成電路再流焊焊接速度應(yīng)保持在200mm/min~300mm/min。

    再流焊完成后,我們按照GJB548方法2019做組件的剪切強(qiáng)度試驗(yàn),剪切強(qiáng)度的示意圖如圖1所示。

    表2~表5是在不同的溫度和鏈速下焊接后做剪切強(qiáng)度試驗(yàn)的數(shù)據(jù)。

    (1)紅外再流焊爐爐溫250℃,鏈速標(biāo)值2.6,0805片式組件,見(jiàn)表2。

    總共有36個(gè)焊盤(pán),其中一個(gè)焊盤(pán)脫落的有12個(gè),占總焊盤(pán)的33.3%;兩個(gè)焊盤(pán)都脫落的有3個(gè),占總焊盤(pán)的8.3%。

    (2)紅外再流焊爐爐溫230℃,鏈速標(biāo)值2.6,0805片式組件,見(jiàn)表3。

    總共有36個(gè)焊盤(pán),其中一個(gè)焊盤(pán)脫落的有8個(gè),占總焊盤(pán)的22.2%;兩個(gè)焊盤(pán)都脫落的有2個(gè),占總焊盤(pán)的5.5%。

    (3)紅外再流焊爐爐溫210℃,鏈速標(biāo)值2.8,0805片式組件,見(jiàn)表4。

    總共有36個(gè)焊盤(pán),沒(méi)有焊盤(pán)脫落。

    (4)紅外再流焊爐爐溫185℃,鏈速標(biāo)值2.8,0805片式組件,見(jiàn)表5。

    總共有36個(gè)焊盤(pán),其中一個(gè)焊盤(pán)脫落的有13個(gè),占總焊盤(pán)的36.1%;兩個(gè)焊盤(pán)脫落的有9個(gè),占總焊盤(pán)的25%。

    從以上的數(shù)據(jù)我們可以看出,溫度和鏈速確實(shí)對(duì)導(dǎo)體膜的附著力有很大的影響,溫度過(guò)高和過(guò)低都是不行的。這是因?yàn)楹父嗟娜诨撬查g的,只要在適宜的溫度下能充分融化,它就在焊膏和導(dǎo)體膜之間形成一層合金層,它的剪切力就能達(dá)到要求;如果溫度過(guò)高,鏈速太慢,導(dǎo)體膜在高溫區(qū)停留的時(shí)間過(guò)長(zhǎng),焊膏就不斷侵蝕下面的導(dǎo)體膜層,也就是不斷地“吃銀”,直到吃完,所以在做剪切強(qiáng)度測(cè)試的時(shí)候焊盤(pán)就脫落了;同樣,如果溫度過(guò)低就容易形成假焊,導(dǎo)體膜也容易脫落,剪切力也會(huì)不合格。一般來(lái)說(shuō),導(dǎo)體膜在高溫區(qū)的時(shí)間不超過(guò)10s。

    現(xiàn)在我們使用的再流焊爐溫設(shè)置在200℃~220℃,鏈速標(biāo)值設(shè)置在2.6~2.8。我們?cè)趯?shí)際使用過(guò)程中,需要根據(jù)焊接組件的多少及瓷片的大小設(shè)置一個(gè)合適的值。而且,焊膏的熔點(diǎn)隨著Sn含量的不同而稍有不同,在每次來(lái)了新焊膏以后,我們都必須重新調(diào)試焊接溫度,以保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。

    5 超聲清洗

    在成膜基片焊接完無(wú)源組件后要進(jìn)行超聲清洗,從我們此次的工藝攻關(guān)看,超聲清洗對(duì)導(dǎo)體膜的附著力也有一定的影響,清洗后附著力會(huì)變差。在此就不詳細(xì)列舉了。

    6 結(jié)論

    從前面的分析可以看出,影響導(dǎo)體膜附著力的因素很多:瓷片的清洗、印刷的膜厚、燒結(jié)溫度曲線的設(shè)置、焊接溫度和速度、超聲清洗等都會(huì)影響導(dǎo)體膜附著力。在具體使用過(guò)程中,我們要根據(jù)實(shí)際情況,靈活設(shè)置參數(shù),就可以使導(dǎo)體膜的附著力大大提高。

    [1]James J.Licari,Leonard R.Enlow.混合微電路技術(shù)手冊(cè)[M].北京:電子工業(yè)出版社,2004.

    [2]GJB 548.微電子器件試驗(yàn)方法和程序[S].

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