硅基片上光學(xué)器件實驗設(shè)計

廖莎莎 李強(qiáng) 廖希 明艷

摘要：集成光學(xué)是光通信的重要發(fā)展方向，而硅是最有可能實現(xiàn)大規(guī)模集成的材料，所以硅基光學(xué)器件在集成光學(xué)中具有十分重要的地位。在通信、電子信息、光電信息等相關(guān)專業(yè)開設(shè)硅基集成光學(xué)課程是非常有必要的。本文以光學(xué)器件設(shè)計領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的Lumeical軟件為例，詳細(xì)介紹了利用該軟件設(shè)計片上布拉格光柵的教學(xué)環(huán)節(jié)和步驟。

關(guān)鍵詞：集成光學(xué)；硅基光子學(xué)；布拉格光柵；教學(xué)模式

中圖分類號：G642.0 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A 文章編號：1674-9324（2019）25-0275-02

一、概述

Lumerical軟件是成熟的光學(xué)器件設(shè)計軟件，功能強(qiáng)大，并且提供試用版本，可以滿足實驗課程的需求。硅基片上布拉格光柵是一種常見的光學(xué)器件，結(jié)構(gòu)較為簡單，應(yīng)用廣泛，適宜在實驗設(shè)計課程中作為目標(biāo)器件。本文將詳細(xì)介紹片上布拉格光柵的設(shè)計步驟和優(yōu)化過程等實驗教學(xué)過程。

二、片上布拉格光柵基本結(jié)構(gòu)和原理簡介

片上布拉格光柵的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，需要設(shè)計的結(jié)構(gòu)參數(shù)包括：波導(dǎo)寬度w，波導(dǎo)高度h，光柵周期長度a，光柵褶皺寬度Δw，光柵周期數(shù)N。由于在本實驗課程中波導(dǎo)采用條波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)，所以波導(dǎo)高度h由商用硅基芯片硅層厚度決定，目前常見的高度有340 nm、220 nm和250 nm，本文仿真中以220 nm為例。為保證波導(dǎo)中的光信號為單模傳輸，波導(dǎo)寬度w應(yīng)為450—550 nm，本文仿真中以550 nm為例。

利用耦合模理論，可以得出布拉格光柵的透射率T和反射率R分別為：

三、利用Lumerical軟件設(shè)計布拉格光柵步驟

Lumerical軟件包含多個仿真產(chǎn)品，在本門課程中采用MODE Solutions進(jìn)行光柵設(shè)計，其操作界面如圖2所示。

由于光柵是典型的周期結(jié)構(gòu)且周期數(shù)較多，所以可以采用MODE Solutions中的EME算法進(jìn)行仿真。在仿真過程中需要首先繪制出光柵的結(jié)構(gòu)，具體操作步驟如下：點擊上方菜單欄Groups，選擇Structure。點擊右鍵structure group圖標(biāo)，在Properties中添加參數(shù)并設(shè)定參數(shù)值，在Script中錄入腳本。錄入腳本后軟件上會顯示繪制的光柵結(jié)構(gòu)。

在完成器件繪制后，需要加入仿真區(qū)域，具體操作步驟如下：點擊上方菜單欄Simulation，選擇EME Solver。點擊右鍵EME圖標(biāo)，分別設(shè)置仿真區(qū)域的位置、網(wǎng)格大小數(shù)目、邊界條件等參數(shù)，如圖3所示。需要注意的是在EME setup中應(yīng)將光柵結(jié)構(gòu)分為3個組：第1組為入射波導(dǎo)；第2組為光柵結(jié)構(gòu)的1個周期，其中分為兩個cell，之后可在periodicity中設(shè)置這兩個cell的重復(fù)次數(shù)，即光柵周期數(shù)N；第3組為出射波導(dǎo)。接下來應(yīng)進(jìn)行仿真計算。具體操作步驟如下：首先點擊上方菜單欄Run，軟件開始仿真計算，但是此時只是分別計算了各個組的模式分布，所以在仿真完成之后，需要點擊EME Analysis Window，如圖4所示，并點擊eme propagate，將各個組整合起來，計算光柵結(jié)構(gòu)的傳輸特性。

仿真的最后一步是優(yōu)化光柵的相應(yīng)結(jié)構(gòu)參數(shù)，其中光柵周期長度a可以采用軟件自帶的掃描模塊進(jìn)行優(yōu)化。在EME Analysis Window右側(cè)的Propagation sweep中選擇group span 2，并設(shè)置第2組長度的掃描初值、掃描終值和掃描點數(shù)，點擊eme sweep，計算完成后點擊visualize eme sweep就可以查看a的掃描結(jié)果，此時Δw=0.03 μm，N=1000，a從0.395變化到0.402，掃描點數(shù)為1000個，掃描結(jié)果如圖5所示?？梢园l(fā)現(xiàn)當(dāng)a=0.398時，光信號被反射回輸入端，實現(xiàn)了光柵的反射功能，此時反射率約為0.95。在腳本中改變Δw，重復(fù)上述步驟可以優(yōu)化Δw（建議Δw分別取值0.02 μm、0.03 μm、0.04 μm和0.05 μm）。在EME Solver中的periodicity改變第二組重復(fù)個數(shù)，可以優(yōu)化N（建議選取N=10、N=100、N=1000），幫助學(xué)生理解不同周期數(shù)對光柵性能的影響）。

四、總結(jié)

本文以Lumeical軟件為例，詳細(xì)介紹了利用該軟件設(shè)計片上布拉格光柵的教學(xué)環(huán)節(jié)和步驟，介紹了片上布拉格光柵的基本結(jié)構(gòu)、工作原理，采用Lumerical軟件仿真設(shè)計的教學(xué)內(nèi)容，并可為硅基光學(xué)器件類課程的實驗設(shè)計提供相應(yīng)的參考。

參考文獻(xiàn)：

[1]姜建飛.硅基多模波導(dǎo)光柵濾波器的研究[D].杭州：浙江大學(xué)，2018.

[2]康赟.啁啾相移光纖光柵的光譜特性分析及其應(yīng)用[D].廈門大學(xué)，2008.