關(guān)于電子行業(yè)職業(yè)病化學(xué)有害因素防護(hù)設(shè)施的分析

宋巍

【摘 要】通過(guò)舉例分析的形式，對(duì)電子行業(yè)職業(yè)病化學(xué)有害因素的防護(hù)進(jìn)行分析，重點(diǎn)分析了防護(hù)設(shè)施和應(yīng)急救援設(shè)施，為電子行業(yè)企業(yè)的職業(yè)病危害防護(hù)提出建議。

【關(guān)鍵字】化學(xué)有害因素;防護(hù)設(shè)施;應(yīng)急救援設(shè)施

中圖分類號(hào)： R136 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼： A 文章編號(hào)： 2095-2457（2019）08-0198-002

DOI：10.19694/j.cnki.issn2095-2457.2019.08.087

【Abstract】Through the form of example analysis， analyzing the protection of the chemical hazardous agents leading to occupational diseases in the electronics industry， the protective devices and emergency rescue facilities are focus analyzed and the suggestions are made for enterprises to prevent the occupational disease hazards in the electronic industry.

【Key words】Chemical hazardous agents; Protective devices; Emergency rescue facilities

從職業(yè)衛(wèi)生的角度來(lái)說(shuō)，電子行業(yè)有著其特殊的一面，電子行業(yè)往往會(huì)使用大量、多種類成分復(fù)雜的氣體及液體化學(xué)物質(zhì)，如氫氟酸、氟化物、氨、四甲基氫氧化銨（TMAH）等，部分化學(xué)物質(zhì)為高毒、致癌物質(zhì)，還有大部分化學(xué)物質(zhì)在我國(guó)尚未制定相應(yīng)的檢測(cè)方法和職業(yè)接觸限值[1]。但因電子行業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備往往密閉性好，局部通風(fēng)設(shè)施完善，散發(fā)到作業(yè)場(chǎng)所的化學(xué)毒物檢測(cè)結(jié)果基本上是“小于檢出限”。以下以電子行業(yè)中的“集成電路芯片制造”和“導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)”為例，對(duì)電子行業(yè)的職業(yè)病化學(xué)有害因素防護(hù)重點(diǎn)進(jìn)行分析。

1 生產(chǎn)工藝及職業(yè)病化學(xué)有害因素分析

1.1 集成電路芯片制造企業(yè)

1.1.1 生產(chǎn)流程圖

1.1.2 主要職業(yè)病化學(xué)有害因素

氨、氯化氫及鹽酸、氟化氫、氟化物、過(guò)氧化氫、乙二醇、異丙醇、磷化氫、磷酸、硫化氫、硫酸、氯、氫氧化鈉、砷化氫、二氧化硫、六氟化硫等。

1.2 導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)企業(yè)

1.2.1 生產(chǎn)流程圖

1.2.2 主要職業(yè)病化學(xué)有害因素

丙酮、草酸、磷酸、氫氧化鉀、氟及其無(wú)機(jī)化合物、正庚烷、過(guò)氧化氫、甲醇、萘、碳酸鈉、氯化氫、乙醇胺、乙酸乙酯、異丙醇、異佛爾酮、丁醇、四甲基氫氧化銨等。

1.3 職業(yè)病化學(xué)有害因素影響分析

電子行業(yè)因發(fā)展迅猛的緣故，生產(chǎn)工藝淘汰速度也快，企業(yè)往往生產(chǎn)線生產(chǎn)不到十年，有的甚至是一、兩年便需要根據(jù)市場(chǎng)需求更新?lián)Q代，改變工藝，重新更換產(chǎn)品、生產(chǎn)線和原輔料，再加上使用的化學(xué)品種類多，導(dǎo)致企業(yè)涉及的化學(xué)有害因素種類多且變化性較大;另外因?yàn)殡娮有袠I(yè)對(duì)生產(chǎn)精密度高要求的緣故，企業(yè)一般選用的是全自動(dòng)化、密閉式、先進(jìn)性較高的的生產(chǎn)設(shè)備及生產(chǎn)線，使用化學(xué)品的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)基本都會(huì)自帶抽氣、排氣裝置，并通向相應(yīng)的酸排、堿排、有機(jī)排等排氣管道;有的企業(yè)需要人工在機(jī)臺(tái)操作或是人工上料、卸料，有的企業(yè)則采用機(jī)器人操作，除了檢修、設(shè)備維護(hù)等特殊情況，員工只需要在中控室操作即可。由于以上幾點(diǎn)原因，正常生產(chǎn)情況下，雖然化學(xué)有害因素種類較多、使用的劑量也較大。

2 職業(yè)病化學(xué)有害因素防護(hù)設(shè)施分析

以上所述電子行業(yè)企業(yè)，在采取職業(yè)病防護(hù)方面，因其生產(chǎn)需求，無(wú)法采取最有效的“以無(wú)毒或低毒物質(zhì)代替有毒高毒物質(zhì)?！钡姆椒ㄟM(jìn)行防護(hù)，故以“（1）改善有害的生產(chǎn)工藝與作業(yè)方法防止有害物質(zhì)擴(kuò)散;（2）將產(chǎn)生有害因素的設(shè)備密閉化、自動(dòng)化;（3）采取隔離或遠(yuǎn)距離操作;（4）采取局部通風(fēng)等工程防護(hù)措施。[2]”幾類方法進(jìn)行防護(hù)。

第（1）、（2）類在電子行業(yè)中是普遍采用的，一般來(lái)說(shuō)也是生產(chǎn)設(shè)備本身自帶的防護(hù)措施。具體方式諸如：a.化學(xué)藥劑由專用桶封裝，通過(guò)系統(tǒng)自動(dòng)控制經(jīng)管道加入機(jī)臺(tái)，不需人工操作。b.特殊氣體采取專用氣瓶柜盛放，并放置在專用氣體間，氣瓶柜具有氣體氣瓶自動(dòng)切換、自動(dòng)吹洗，根據(jù)氣體濃度監(jiān)測(cè)報(bào)警信號(hào)，自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)氣瓶柜的供氣閥門(mén)等自控功能。c.生產(chǎn)機(jī)臺(tái)采取全密閉形式，防止化學(xué)危害因素?cái)U(kuò)散。這兩類防護(hù)措施雖然是電子行業(yè)基本防護(hù)措施，但也因從源頭隔斷了有害物質(zhì)的傳遞而最為有效。

第（3）類只是如以上提及的某“集成電路芯片制造”企業(yè)，生產(chǎn)線完全采取機(jī)器人自動(dòng)操作的情況而言，但對(duì)于大多數(shù)電子行業(yè)企業(yè)而言，這一點(diǎn)也難以做到，一來(lái)需要員工在機(jī)臺(tái)操控設(shè)備，二來(lái)需要員工上料、下料、加藥，如以上提及的某“導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)”企業(yè)，更有涉及電子行業(yè)下游的企業(yè)，還需要大量勞動(dòng)者進(jìn)行裝配式作業(yè)，勞動(dòng)者不可避免近距離靠近危害源頭。

第（4）類防護(hù)措施，也就是局部通風(fēng)措施，一般來(lái)說(shuō)主要有兩類，一類是配合設(shè)備的密閉性以及根據(jù)有害物質(zhì)種類機(jī)臺(tái)本身自帶的排氣裝置，一般包括酸排、堿排、有機(jī)排、熱排、一般排等幾類，每種不同的排氣管道對(duì)應(yīng)著不同的凈化處理系統(tǒng)，因此，電子行業(yè)的廢水、廢氣處理往往龐大而多樣化。第二類局部通風(fēng)相對(duì)第一類來(lái)說(shuō)往往容易被企業(yè)忽視，即設(shè)備維護(hù)、檢修時(shí)使用的移動(dòng)式排風(fēng)設(shè)備，因?yàn)樵谠O(shè)備維護(hù)、檢修時(shí)，往往需要打開(kāi)機(jī)臺(tái)，露出設(shè)備內(nèi)部，這時(shí)候沒(méi)有用盡的藥劑或是正在使用的藥劑就有暴露在空氣中的可能，而此時(shí)機(jī)臺(tái)自身的排氣裝置一般是關(guān)閉狀態(tài)，這時(shí)候就需要使用移動(dòng)式排氣裝置在打開(kāi)設(shè)備時(shí)提前排氣，以及在勞動(dòng)者作業(yè)時(shí)隨時(shí)進(jìn)行排氣，這種排氣裝置往往是通過(guò)軟管連接到車(chē)間內(nèi)的排氣系統(tǒng)，不用時(shí)收起，使用時(shí)展開(kāi)，方便、有效。

3 職業(yè)病化學(xué)有害因素應(yīng)急救援設(shè)施分析

對(duì)于電子行業(yè)來(lái)說(shuō)，對(duì)化學(xué)有害因素的應(yīng)急救援措施的重視程度不應(yīng)低于對(duì)防護(hù)設(shè)施的重視程度，因?yàn)槭褂么罅扛叨?、易?dǎo)致急性中毒的化學(xué)品，一旦出現(xiàn)泄漏、停電、防護(hù)設(shè)施故障等情況，如果沒(méi)有采取妥善的應(yīng)急救援措施，便會(huì)極易引發(fā)嚴(yán)重的集體性中毒事故。因此，應(yīng)急救援措施是預(yù)防和及時(shí)控制勞動(dòng)者急性職業(yè)損傷，確保勞動(dòng)者得到及時(shí)救治、避免和控制身體傷害擴(kuò)大、危害因素?cái)U(kuò)散所必須的防護(hù)設(shè)施。

職業(yè)病化學(xué)有害因素的應(yīng)急救援設(shè)施可分為“（1）監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置、（2）現(xiàn)場(chǎng)緊急處置設(shè)施、（3）急救或緊急處置用品、（4）強(qiáng)制通風(fēng)設(shè)施等。[2]”

3.1 監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置

以上提及的某“集成電路芯片制造”企業(yè)有設(shè)置較為全面的監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置，如在特種氣體供應(yīng)室、氣體管道入口室、氣體監(jiān)測(cè)室及工藝設(shè)備使用點(diǎn)裝設(shè)“毒性氣體濃度檢測(cè)報(bào)警系統(tǒng)”。另外電子行業(yè)企業(yè)還需配備精密度較高的便攜式檢測(cè)報(bào)警裝置，如發(fā)生停電事故或其他可導(dǎo)致化學(xué)毒物散發(fā)的事故時(shí)，便于檢測(cè)環(huán)境危害程度，判斷人員是否可以進(jìn)入車(chē)間。

報(bào)警值的設(shè)置需根據(jù)《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》的要求設(shè)置，因?yàn)閳?bào)警設(shè)備一般的報(bào)警值單位為ppm，所以在評(píng)估是否滿足標(biāo)準(zhǔn)限值要求的時(shí)候，需要根據(jù)有害氣體的分子量進(jìn)一步進(jìn)行公式轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換為單位為mg/m3的報(bào)警值，即基于25℃和1個(gè)大氣壓：Ymg/m3=Xppm×分子量÷24.45。因?yàn)閭鞲衅鞣N類和精度的限制，市場(chǎng)上可以購(gòu)買(mǎi)到的符合要求的報(bào)警裝置化學(xué)有害因素種類有限，常見(jiàn)的如一氧化碳、氨、磷化氫、氯化氫及鹽酸、砷化氫、乙硼烷、氯氣、二氧化硫等。

（2）現(xiàn)場(chǎng)緊急處置設(shè)施

電子行業(yè)主要使用的現(xiàn)場(chǎng)緊急處置設(shè)施為噴淋洗眼器，以及專用的應(yīng)急洗眼液。現(xiàn)場(chǎng)緊急處置設(shè)施的主要功能是處置噴濺于勞動(dòng)者皮膚黏膜上的有毒、有害物質(zhì)，避免急性職業(yè)損傷進(jìn)一步加劇[2]。對(duì)其設(shè)置的主要要求包括靠近可能發(fā)生相應(yīng)事故的地點(diǎn)、保證連續(xù)供水、有清晰的標(biāo)識(shí)、定期維護(hù)保養(yǎng)。

（3）急救或緊急處置用品

急救或緊急處置用品這里指的主要是生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置的急救藥品或用品，一般來(lái)說(shuō)企業(yè)可參考《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》中附錄《表A.4急救箱配備參考清單》結(jié)合《MSDS》要求進(jìn)行配備。企業(yè)往往忽視的問(wèn)題是急救箱沒(méi)有設(shè)置在工作場(chǎng)所便于勞動(dòng)者取用的地方或是用鎖鎖住，這樣可能導(dǎo)致勞動(dòng)者無(wú)法在產(chǎn)生需求的第一時(shí)間獲取藥品，錯(cuò)過(guò)醫(yī)療時(shí)機(jī)。另外藥品有效期及消耗情況的點(diǎn)檢也是需要定期由專人完成了。

（4）強(qiáng)制通風(fēng)設(shè)施

“事故通風(fēng)”也是電子行業(yè)企業(yè)往往容易忽視的問(wèn)題，誤以為消防通風(fēng)即事故通風(fēng)，但實(shí)際上，電子行業(yè)企業(yè)尤其需要設(shè)置事故通風(fēng)裝置，根據(jù)《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》要求“在生產(chǎn)中可能突然逸出大量有害物質(zhì)或易造成急性中毒或易燃易爆的化學(xué)物質(zhì)的室內(nèi)作業(yè)場(chǎng)所，應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)裝置及與事故排風(fēng)系統(tǒng)相連鎖的泄漏報(bào)警裝置。”事故通風(fēng)的目的是為了避免有害氣體的積聚而造成進(jìn)一步人員傷害，避免擴(kuò)大事故范圍和等級(jí)。由于通風(fēng)設(shè)施一般在設(shè)計(jì)階段就會(huì)設(shè)計(jì)完成，所以如果企業(yè)沒(méi)有在建設(shè)前完成該項(xiàng)工作，后期改造工程將會(huì)耗費(fèi)更大的時(shí)間、人力和財(cái)力。這就要求企業(yè)在前期設(shè)計(jì)時(shí)了解該項(xiàng)工作的具體要求并加以實(shí)施，最簡(jiǎn)便的方法就是在施工前完成《職業(yè)病防護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)專篇》的編制工作。

4 總結(jié)

職業(yè)病化學(xué)有害因素的防護(hù)設(shè)施、應(yīng)急救援設(shè)施不限于以上提及的幾點(diǎn)內(nèi)容，最為全面的防護(hù)需要針對(duì)企業(yè)自身職業(yè)病危害情況，結(jié)合職業(yè)病防護(hù)管理措施、以及“職業(yè)病防護(hù)的最后一道防線”個(gè)人防護(hù)用品等職業(yè)衛(wèi)生相關(guān)法律法規(guī)的要求內(nèi)容完成。電子行業(yè)因其存在危害因素種類相對(duì)較多的特點(diǎn)，尤其需要加強(qiáng)防護(hù)和管理，以保障勞動(dòng)者的職業(yè)健康安全。

【參考文獻(xiàn)】

[1]姜向陽(yáng).職業(yè)衛(wèi)生評(píng)價(jià)與檢測(cè)典型行業(yè)職業(yè)病危害評(píng)價(jià)要點(diǎn)分析[M].北京：煤炭工業(yè)出版社，2013.

[2]劉寶龍.職業(yè)衛(wèi)生評(píng)價(jià)與檢測(cè)建設(shè)項(xiàng)目職業(yè)病危害評(píng)價(jià)[M].北京：煤炭工業(yè)出版社，2013.