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    斜面終端結(jié)構(gòu)對(duì)二極管反向雪崩電流耐量影響的研究

    2019-04-09 09:10:44王志忠關(guān)艷霞
    微處理機(jī) 2019年1期
    關(guān)鍵詞:結(jié)構(gòu)

    王志忠,關(guān)艷霞

    (沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院, 沈陽(yáng)110870)

    1 引 言

    為了提高二極管的雪崩功率,一般可以從兩個(gè)方面考慮,一是避免出現(xiàn)負(fù)微分電阻效應(yīng),二是增大承擔(dān)雪崩電流的面積。對(duì)于避免負(fù)微分電阻的出現(xiàn),現(xiàn)已經(jīng)提出很多種方法,有采用擴(kuò)展正微分電阻來(lái)補(bǔ)償負(fù)微分電阻的非穿通結(jié)構(gòu)方法[1];有在滿足擊穿電壓時(shí)盡可能提高襯底摻雜濃度的方法,摻雜濃度高,通過(guò)PN 結(jié)發(fā)生雪崩產(chǎn)生的移到NN+結(jié)的電子不易高于施主離子濃度,在NN+結(jié)處的電場(chǎng)分布不會(huì)發(fā)生明顯變化,從而峰值電場(chǎng)強(qiáng)度不會(huì)太高,不易在NN+處發(fā)生雪崩,二極管也就不易損壞[2-4];有在襯底且靠近N+區(qū)添加緩沖層的方法,利用緩沖層來(lái)降低NN+結(jié)處的電場(chǎng)強(qiáng)度,抑制雙雪崩的發(fā)生,緩解負(fù)微分電阻的出現(xiàn)[5-6]。

    對(duì)于增大承擔(dān)雪崩電流的面積,也就是使雪崩電流盡可能發(fā)生在體內(nèi),一般中小型功率二極管都采用了P 面腐蝕的斜面終端結(jié)構(gòu)。為了提高雪崩功率所采用的P+PNN+結(jié)構(gòu),其他文獻(xiàn)已有闡述[7-8],故此主要從斜角終端結(jié)構(gòu)對(duì)雪崩電流的影響入手,分析其對(duì)雪崩電流的影響。

    2 傳統(tǒng)斜角終端雪崩特性分析

    2.1 傳統(tǒng)工藝形成的器件結(jié)構(gòu)

    傳統(tǒng)二極管器件,考慮經(jīng)濟(jì)因素以及有效面積的情況,一般都是從P 型面腐蝕,形成負(fù)斜角終端結(jié)構(gòu)。對(duì)于普通二極管來(lái)說(shuō),負(fù)斜角終端對(duì)其影響不大,但對(duì)于功率二極管,必須考慮邊緣終端對(duì)其造成的影響。

    在傳統(tǒng)工藝的簡(jiǎn)要形成過(guò)程中,須在清洗好的晶圓的一側(cè)涂上含磷的雜質(zhì)溶劑,經(jīng)過(guò)高溫?cái)U(kuò)散形成N+區(qū);采用吹沙和清洗結(jié)合的方法,清理晶圓另一面的污染物,在該清潔面涂上含有硼、鋁的雜質(zhì)溶劑,進(jìn)行二次高溫?cái)U(kuò)散。因鋁的擴(kuò)散系數(shù)高于硼的擴(kuò)散系數(shù),即形成較深的鋁結(jié),最終形成P+PNN+的結(jié)構(gòu)。隨后從P 型面進(jìn)行曝光、顯影,并以濕法刻蝕的方法形成負(fù)斜角終端結(jié)構(gòu),如圖1 所示。最后進(jìn)行鈍化保護(hù)、鍍鎳金、劃片、檢驗(yàn)等步驟,形成二極管芯片。

    圖1 負(fù)斜角斜面終端結(jié)構(gòu)實(shí)物圖

    2.2 雪崩特性的仿真分析(傳統(tǒng)斜角)

    用Silvaco TCAD 仿真軟件來(lái)模擬仿真?zhèn)鹘y(tǒng)結(jié)構(gòu)二極管的雪崩特性,根據(jù)實(shí)際結(jié)構(gòu),建立P+PNN+層以及負(fù)斜角終端的二極管結(jié)構(gòu),選用SRH 復(fù)合、俄歇復(fù)合、禁帶變窄、載流子-載流子散射、碰撞電離模型進(jìn)行反向擊穿的仿真。

    當(dāng)二極管發(fā)生雪崩擊穿時(shí),在空間電荷區(qū)中,取不同位置即體內(nèi)與邊緣終端處的電場(chǎng)強(qiáng)度作對(duì)比,對(duì)比情況如圖2 所示。從圖中可以看出,體內(nèi)最大電場(chǎng)強(qiáng)度大約為1.9×105V/cm,而邊緣終端表面處的最大電場(chǎng)強(qiáng)度約為2.25×105V/cm,很明顯體內(nèi)最大電場(chǎng)強(qiáng)度小于邊緣終端處的電場(chǎng)強(qiáng)度,從而邊緣終端表面處先發(fā)生雪崩。雪崩擊穿時(shí)的電流分布如圖3 所示,從圖中可以看出,雪崩擊穿時(shí)的電流密度主要發(fā)生在邊緣終端表面處。

    圖2 體內(nèi)與邊緣電場(chǎng)強(qiáng)度對(duì)比圖(傳統(tǒng)斜角)

    圖3 電流密度分布圖(傳統(tǒng)斜角)

    由上述分析可知,采用負(fù)斜角終端結(jié)構(gòu)的二極管,在反向擊穿時(shí),邊緣終端處的電場(chǎng)強(qiáng)度最大,導(dǎo)致電流主要發(fā)生在邊緣處,而邊緣承受電流的面積較小,從而通過(guò)邊緣處的電流密度較大,預(yù)計(jì)其雪崩電流耐量較弱。故此為提高雪崩電流耐量,應(yīng)采用正斜角終端結(jié)構(gòu)二極管。

    3 正斜角雪崩特性分析

    3.1 正斜角結(jié)構(gòu)二極管工藝

    形成正斜角終端的工藝,主要是在刻蝕工序進(jìn)行的。其他工藝步驟與傳統(tǒng)二極管相同。在刻蝕工藝步驟中,先在N 面涂抹光刻膠,并進(jìn)行曝光、顯影,形成所需要刻蝕的圖形,然后在溫度為-10℃~1℃的混合硅酸溶液中進(jìn)行第一次刻蝕,其深度為目標(biāo)深度的十分之一;其后,在溫度為-8℃~0℃的混合硅酸溶液中進(jìn)行第二次刻蝕,此次直接刻蝕到目標(biāo)深度。最終所形成的邊緣終端結(jié)構(gòu)如圖4 所示。

    圖4 正斜角斜面終端結(jié)構(gòu)實(shí)物圖

    3.2 雪崩特性的仿真分析(正斜角)

    用Silvaco TCAD 仿真軟件來(lái)模擬仿真二極管的雪崩特性,根據(jù)實(shí)際結(jié)構(gòu),建立P+PNN+層以及正斜角邊緣終端的二極管結(jié)構(gòu),選用SRH 復(fù)合、俄歇復(fù)合、禁帶變窄、載流子-載流子散射、碰撞電離模型進(jìn)行反向擊穿的仿真。

    仿真結(jié)果如圖5 所示??梢钥闯?,體內(nèi)最大電場(chǎng)強(qiáng)度大約為1.93×105V/cm,而邊緣終端表面處的最大電場(chǎng)強(qiáng)度約為1.45×105V/cm。很明顯體內(nèi)最大電場(chǎng)強(qiáng)度大于邊緣終端處的電場(chǎng)強(qiáng)度,從而體內(nèi)先發(fā)生雪崩。此種情況下的電流分布如圖6 所示。

    圖5 體內(nèi)與邊緣電場(chǎng)強(qiáng)度對(duì)比圖(正斜角)

    圖6 電流密度分布圖(正斜角)

    從圖中可以看出,雪崩擊穿時(shí)的電流密度主要發(fā)生體內(nèi)。從而可知,邊緣終端采用正斜角時(shí),反向擊穿發(fā)生在體內(nèi),由體內(nèi)承擔(dān)主要的電流;電流發(fā)生在較大的面積處,所以電流密度較小,二極管能承受較大的雪崩電流。從仿真結(jié)果來(lái)看,正斜角終端結(jié)構(gòu)的二極管有利于提高雪崩電流耐量。

    4 測(cè)試結(jié)果與分析

    為了對(duì)比正、負(fù)斜角工藝下雪崩電流能力的不同,對(duì)兩種不同結(jié)構(gòu)下發(fā)生的雪崩擊穿電流的耐量進(jìn)行測(cè)試。在正、負(fù)斜角良品中各隨機(jī)抽取7 支二極管,測(cè)試雪崩電流。測(cè)得到數(shù)據(jù)如表1 所示。

    表1 雪崩電流抽樣測(cè)量值

    從實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)中可明顯看出,正斜角終端結(jié)構(gòu)的雪崩電流值普遍明顯大于負(fù)斜角終端結(jié)構(gòu)的雪崩電流值。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)與上述理論分析相吻合。如仿真分析所預(yù)測(cè)的,具有正斜角終端結(jié)構(gòu)的二極管的擊穿發(fā)生在體內(nèi),雪崩電流集中在體內(nèi)。由于承擔(dān)雪崩電流的面積較大,電流密度較小,相應(yīng)的正向壓降也有所減小,因此雪崩電流耐量大。而具有負(fù)斜角終端結(jié)構(gòu)二極管的擊穿發(fā)生在斜角終端,承擔(dān)雪崩電流的面積小,相應(yīng)的電流密度和正向壓降較大,因此雪崩電流耐量較差。

    實(shí)測(cè)結(jié)果表明,采用正斜角結(jié)構(gòu)制造二極管的方法,可以很好地提高雪崩電流耐量,克服了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的弱點(diǎn)。

    5 結(jié)束語(yǔ)

    通過(guò)此項(xiàng)研究,對(duì)負(fù)斜角和正斜角終端結(jié)構(gòu)二極管雪崩擊穿電流分布做出了仿真分析,從結(jié)果可以看到,正斜角終端結(jié)構(gòu)更有利于二極管雪崩電流耐量的提高。對(duì)兩種結(jié)構(gòu)二極管雪崩耐量的實(shí)際測(cè)試也驗(yàn)證了仿真分析的正確性,同時(shí)說(shuō)明將負(fù)斜角終端結(jié)構(gòu)改為正斜角終端結(jié)構(gòu)是提高雪崩功率二極管雪崩耐量行之有效的工藝措施。正斜角腐蝕目前還存在腐蝕深度深、終端所占面積偏大的問(wèn)題,有待在下一步工作中作出更為深入的研究。

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