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      N2氣流量比對(duì)磁控濺射Mo-N涂層結(jié)構(gòu)和性能的影響

      2019-02-26 02:26:02齊東麗宋健宇沈龍海
      表面技術(shù) 2019年2期
      關(guān)鍵詞:龍海東麗磁控濺射

      齊東麗,宋健宇,沈龍海

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