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    22納米

    2019-01-10 01:49:00
    知識就是力量 2019年1期
    關(guān)鍵詞:光刻機(jī)光刻分辨力

    22納米

    國家重大科研裝備研制項(xiàng)目“超分辨光刻裝備研制”已通過驗(yàn)收。該光刻機(jī)由中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所研制,光刻分辨力達(dá)到22納米,結(jié)合雙重曝光技術(shù)后,未來還可用于制造10納米級別的芯片。

    科研人員展示利用超分辨光刻設(shè)備加工的超導(dǎo)納米線單光子探測器

    中科院理化技術(shù)研究所許祖彥院士等驗(yàn)收組專家一致表示,該光刻機(jī)在365納米光源波長下,單次曝光最高線寬分辨力達(dá)到22納米。項(xiàng)目副總設(shè)計(jì)師胡松介紹,中科院光電所此次通過驗(yàn)收的表面等離子體超分辨光刻裝備,打破了傳統(tǒng)路線格局,形成一條全新的納米光學(xué)光刻技術(shù)路線,具有完全自主知識產(chǎn)權(quán),為超材料/超表面、第三代光學(xué)器件、廣義芯片等變革性領(lǐng)域的跨越式發(fā)展提供了制造工具。

    4萬年前

    是誰帶來遠(yuǎn)古的呼喚?是誰留下4萬年的祈盼?是誰手執(zhí)石葉在“世界屋脊”駐足?

    尼阿底遺址出土的石葉、石核

    11月30日,美國《科學(xué)》雜志在線發(fā)表中國科學(xué)院古脊椎動(dòng)物與古人類研究所張曉凌等的研究論文,公布了在青藏高原腹地尼阿底遺址的重大考古發(fā)現(xiàn)及研究成果。該項(xiàng)發(fā)現(xiàn)將人類首次登上青藏高原的歷史推進(jìn)到4萬年前,書寫了世界范圍內(nèi)史前人類征服高海拔極端環(huán)境的最高、最早紀(jì)錄。

    據(jù)中國科學(xué)院古脊椎動(dòng)物與古人類研究所研究員高星介紹,考古隊(duì)員們在這里發(fā)現(xiàn)了大量的石葉、石核、刮削器等石制品。經(jīng)過地層分析和光釋光與碳十四測年,判斷先民在該遺址活動(dòng)的時(shí)間為4萬~3萬年前,證實(shí)古人在距今4萬~3萬年前已踏足青藏高原的高海拔地區(qū),在世界屋脊上留下了清晰、堅(jiān)實(shí)的足跡。

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