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    半導(dǎo)體器件中的內(nèi)建電場(chǎng)教學(xué)實(shí)踐

    2018-10-26 05:56:50鐘智勇劉繼芝張懷武
    關(guān)鍵詞:基區(qū)空間電荷電子器件

    鐘智勇, 劉 爽, 劉繼芝, 任 敏, 張懷武

    (電子科技大學(xué) 1.微電子與固體電子學(xué)院,2.光電信息學(xué)院, 四川 成都 610054)

    0 引言

    內(nèi)建電場(chǎng)(built-in field),又叫自建電場(chǎng),是指半導(dǎo)體或者絕緣體中由于內(nèi)部的作用而形成的電場(chǎng)。在本科“微電子器件”或“半導(dǎo)體器件”課程中,常見(jiàn)的三種重要內(nèi)建電場(chǎng)是:PN結(jié)空間電荷區(qū)的內(nèi)建電場(chǎng)、半導(dǎo)體大注入時(shí)的內(nèi)建電場(chǎng)以及半導(dǎo)體非均勻摻雜時(shí)產(chǎn)生的內(nèi)建電場(chǎng)[1]。

    半導(dǎo)體中的內(nèi)建電場(chǎng)對(duì)載流子的輸運(yùn)有著重要的影響,最終影響半導(dǎo)體器件的特性。比如PN結(jié)的單向?qū)щ娦跃椭苯优c結(jié)區(qū)的內(nèi)建電場(chǎng)有關(guān),緩變基區(qū)雙極晶體管(BJT)的基區(qū)不均勻摻雜產(chǎn)生的內(nèi)建電場(chǎng)使得BJT的電流增益提高和頻率特性改善[2]。再如,低發(fā)射區(qū)雜質(zhì)濃度晶體管(LEC)就是利用發(fā)射區(qū)的非均勻摻雜產(chǎn)生的自建電場(chǎng)來(lái)提高發(fā)射結(jié)的注入效率,其原理是(以NPN為例說(shuō)明):發(fā)射區(qū)的摻雜分為兩部分,靠近金屬電極的是N+區(qū),靠近基區(qū)的是摻雜甚至低于基區(qū)的N-區(qū)。在N+區(qū)和N-區(qū)之間由于濃度差會(huì)產(chǎn)生一個(gè)內(nèi)建電場(chǎng),其方向是從N+區(qū)指向N-區(qū),阻止空穴由N-區(qū)向N+區(qū)擴(kuò)散,會(huì)大大降低從基區(qū)注入發(fā)射區(qū)的少子,從而提高發(fā)射結(jié)注入效率[1]。再如太陽(yáng)能電池利用結(jié)區(qū)的內(nèi)建電場(chǎng)來(lái)分離光生載流子而產(chǎn)生光電流的,內(nèi)建電場(chǎng)的強(qiáng)度決定光電池開(kāi)路電壓的大小[3]。

    可見(jiàn),全面而正確理解半導(dǎo)體與器件中內(nèi)建電場(chǎng)對(duì)學(xué)好“微電子器件”或“半導(dǎo)體器件”課程以及將來(lái)從事新型半導(dǎo)體器件開(kāi)發(fā)具有重要的意義。所以,我校的“微電子器件”課程非常重視內(nèi)建電場(chǎng)這一知識(shí)模塊的教學(xué),本文將在厘清三種內(nèi)建電場(chǎng)產(chǎn)生的機(jī)理基礎(chǔ)上,介紹我校在“微電子器件”課程教學(xué)中處理內(nèi)建電場(chǎng)這一知識(shí)點(diǎn)的一些做法。

    1 內(nèi)建電場(chǎng)產(chǎn)生的機(jī)理

    歸納起來(lái),內(nèi)建電場(chǎng)產(chǎn)生的根本原因是載流子濃度分布不均勻或者說(shuō)具有濃度梯度造成的,載流子濃度梯度分布可以由界面產(chǎn)生,也可以由摻雜不均勻或光照等輻射不均勻等產(chǎn)生[4]。下面簡(jiǎn)要介紹三種內(nèi)建電場(chǎng)的形成機(jī)理。

    1) PN結(jié)空間電荷區(qū)的內(nèi)建電場(chǎng)

    P區(qū)與N區(qū)接觸后,由于存在載流子的濃度差的原因,結(jié)面附近的空穴將從濃度高的P區(qū)向濃度低的N區(qū)擴(kuò)散,在P區(qū)留下不易擴(kuò)散的帶負(fù)電的電離受主雜質(zhì),結(jié)果使得在結(jié)面的P區(qū)一側(cè)出現(xiàn)負(fù)的空間電荷;同樣地,結(jié)面附近的電子從濃度高的N區(qū)向濃度低的P區(qū)擴(kuò)散,在N區(qū)留下帶正電的電離施主雜質(zhì),使結(jié)面的N區(qū)一側(cè)出現(xiàn)正的空間電荷。由此產(chǎn)生的空穴與電子的擴(kuò)散電流的方向,都是從P區(qū)指向N區(qū)。載流子的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)造成了結(jié)面兩側(cè)一正一負(fù)的空間電荷區(qū),從而形成內(nèi)建電場(chǎng),其方向?yàn)閺膸д姾傻腘區(qū)指向帶負(fù)電荷的P區(qū)。在內(nèi)建電場(chǎng)的作用下空穴與電子會(huì)發(fā)生漂移運(yùn)動(dòng),空穴向P區(qū)漂移,電子向N區(qū)漂移,載流子的漂移方向正好與擴(kuò)散的方向相反,在熱平衡態(tài)下,最終會(huì)達(dá)到漂移運(yùn)動(dòng)與擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)相當(dāng),使得流過(guò)PN結(jié)的凈電流為零,最終內(nèi)建電場(chǎng)強(qiáng)度與空間電荷區(qū)寬度達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定的數(shù)值。

    2)摻雜不均勻產(chǎn)生的內(nèi)建電場(chǎng)

    典型地?fù)诫s不均勻產(chǎn)生的內(nèi)建電場(chǎng)應(yīng)用于緩變基區(qū)雙極晶體管。以NPN緩變基區(qū)雙極晶體管來(lái)說(shuō)明該內(nèi)建電場(chǎng)產(chǎn)生的原因。在緩變基區(qū)中,摻雜不均勻(靠近發(fā)射區(qū)的摻雜濃度高,靠近集電區(qū)的摻雜濃度低)且在室溫下雜質(zhì)會(huì)全電離,因此多子空穴有與受主雜質(zhì)近似相同的濃度分布??昭舛鹊牟痪鶆?qū)е驴昭◤母邼舛忍幭虻蜐舛忍帞U(kuò)散,而電離雜質(zhì)卻固定不動(dòng),于是在雜質(zhì)濃度高的地方空穴濃度低于雜質(zhì)濃度,帶負(fù)電荷;在雜質(zhì)濃度低的地方空穴濃度高于雜質(zhì)濃度,帶正電荷??臻g電荷的分離就形成了內(nèi)建電場(chǎng)。內(nèi)建電場(chǎng)將引起空穴的漂移運(yùn)動(dòng),在平衡狀態(tài)下,基區(qū)中空穴的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)與漂移運(yùn)動(dòng)相互抵消,相反內(nèi)建電場(chǎng)促使注入基區(qū)的少子(電子)向集電結(jié)漂移,與少子原來(lái)的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)的方向相同,對(duì)基區(qū)少子的輸運(yùn)起了加速作用,這將有利于提高BJT的電流增益和頻率特性。

    3) 大注入產(chǎn)生的內(nèi)建電場(chǎng)

    大注入時(shí)注入的少數(shù)載流子不僅濃度大,還有濃度梯度,為了維持半導(dǎo)體的電中性,多數(shù)載流子的濃度分布與少數(shù)載流子有同樣的梯度,即d(Δn)/dx=d(Δp)/dx。由于多數(shù)載流子存在濃度梯度,則與摻雜濃度不均勻的情況一樣,多數(shù)載流子在濃度梯度驅(qū)使下發(fā)生擴(kuò)散,從而產(chǎn)生內(nèi)建電場(chǎng)。大注入所產(chǎn)生的內(nèi)建電場(chǎng)對(duì)少數(shù)載流子的輸運(yùn)有加速作用,在PN結(jié)二極管中使得IV特性在lnI-V的正向特性隨著正向電壓的提高而變緩,在BJT中則如同緩變基區(qū)BJT中基區(qū)的內(nèi)建電場(chǎng)一樣,該電場(chǎng)也會(huì)加速少數(shù)載流子渡越基區(qū)的過(guò)程,有利于提高電流增益和頻率特性。

    2 內(nèi)建電場(chǎng)的教學(xué)實(shí)踐

    由以上分析可知:內(nèi)建電場(chǎng)以及相應(yīng)的內(nèi)建電壓,都是半導(dǎo)體處于熱平衡狀態(tài)時(shí)內(nèi)部出現(xiàn)的一種現(xiàn)象,它們并不能呈現(xiàn)于外表,即若用一根導(dǎo)線(xiàn)把半導(dǎo)體的兩端連接起來(lái),并不產(chǎn)生電流。內(nèi)建電場(chǎng)的作用是阻擋多數(shù)載流子擴(kuò)散,以維持整個(gè)半導(dǎo)體內(nèi)部的平衡。為了全面掌握并運(yùn)用內(nèi)建電場(chǎng)這一知識(shí)點(diǎn),為此建議在教學(xué)活動(dòng)中注意以下幾點(diǎn)。

    1)三種內(nèi)建電場(chǎng)的機(jī)理與作用的對(duì)比

    在課程完成對(duì)這三種內(nèi)建電場(chǎng)相關(guān)知識(shí)點(diǎn)講述后,要及時(shí)從內(nèi)建電場(chǎng)的產(chǎn)生的機(jī)理以及對(duì)載流子的作用等方面進(jìn)行總結(jié),讓學(xué)生在對(duì)比過(guò)程中加深理解各種內(nèi)建電場(chǎng)產(chǎn)生的機(jī)理以及作用的理解??偨Y(jié)與對(duì)比可以采用如表1所示的列表形式。

    2) 內(nèi)建電場(chǎng)的求解思路以及應(yīng)用拓展

    根據(jù)內(nèi)建電場(chǎng)的作用是阻擋多數(shù)載流子擴(kuò)散,使得多數(shù)載流子電流等于零的原則,可以歸納出內(nèi)建電場(chǎng)和內(nèi)建電壓的求解思路為:令多子電流密度等于零,結(jié)合愛(ài)因斯坦關(guān)系,得到電場(chǎng)與摻雜濃度的關(guān)系式,進(jìn)而在內(nèi)建電場(chǎng)作用區(qū)域?qū)ζ浞e分得到內(nèi)建電壓。課堂上嚴(yán)格按照此思路處理三種內(nèi)建電場(chǎng)及內(nèi)建電勢(shì)。在此基礎(chǔ)上,引導(dǎo)學(xué)生采用以上思路,推導(dǎo)線(xiàn)性緩變PN結(jié)、PIN結(jié)的內(nèi)建電場(chǎng)與內(nèi)建電壓表達(dá)式。對(duì)學(xué)有余力的學(xué)生,還可以引導(dǎo)他們把PIN結(jié)與PN結(jié)的內(nèi)建電場(chǎng)等特性相比較,通過(guò)查閱相關(guān)文獻(xiàn)資料,弄清在光電子學(xué)與微波電子學(xué)中PIN結(jié)構(gòu)采用較多的原因,這樣可以拓展學(xué)生的知識(shí)運(yùn)用能力。

    表1 內(nèi)建電場(chǎng)的產(chǎn)生機(jī)理與作用

    3) 強(qiáng)調(diào)內(nèi)建電場(chǎng)是平衡態(tài)下的概念

    既然內(nèi)建電場(chǎng)是半導(dǎo)體處于熱平衡狀態(tài)時(shí),在內(nèi)部因?yàn)檩d流子濃度分布不均勻所自動(dòng)產(chǎn)生出來(lái)的一種電場(chǎng)。在圖1所示的P型半導(dǎo)體中,費(fèi)米能級(jí)處處相等,由于摻雜濃度左高右低,故左端空穴濃度大,右端空穴濃度小,正是這種空穴濃度的不均勻,才造成了內(nèi)建電場(chǎng),進(jìn)而使得能帶不是水平而是傾斜的。

    圖1 內(nèi)建電場(chǎng)對(duì)能帶及費(fèi)米能級(jí)的影響

    由此引出“微電子器件”課程的另一知識(shí)點(diǎn)——BJT的能帶圖講述,如圖2所示。

    理解緩變基區(qū)晶體管能帶傾斜的原因,進(jìn)一步建立能帶彎曲方向與半導(dǎo)體類(lèi)型以及摻雜濃度的關(guān)系,從而更加加深學(xué)生對(duì)緩變基區(qū)晶體管的電流放大系數(shù)比均勻基區(qū)晶體管的電流大的原因的理解。

    (a)均勻基區(qū) (b) 緩變基區(qū)圖2 NPN晶體管的能帶圖

    在教學(xué)過(guò)程中,還可以引導(dǎo)學(xué)生分析這種由于摻雜不均勻引起的高低結(jié)與常規(guī)PN結(jié)的異同,分析為什么高低結(jié)不像PN結(jié)那樣具有單向?qū)щ娦浴?/p>

    4) 引導(dǎo)學(xué)生探索內(nèi)建電場(chǎng)產(chǎn)生的新機(jī)理

    除了摻雜濃度不均勻外,還可以通過(guò)改變半導(dǎo)體的組分使得半導(dǎo)體的禁帶寬度隨位置變化而產(chǎn)生內(nèi)建電場(chǎng),這種方式在異質(zhì)結(jié)類(lèi)微電子器件中經(jīng)常使用[5]。在課堂上告訴學(xué)生異質(zhì)結(jié)雙極晶體管是通過(guò)所謂能帶工程——讓基區(qū)材料的禁帶寬度逐漸變化的技術(shù)產(chǎn)生加速內(nèi)建電場(chǎng)的,讓學(xué)生通過(guò)查閱文獻(xiàn)資料,了解這種新機(jī)理的特點(diǎn),激發(fā)學(xué)生探索新機(jī)理、新功能以及新器件的興趣,為培養(yǎng)學(xué)生舉一反三、觸類(lèi)旁通的進(jìn)一步學(xué)習(xí)、研究及設(shè)計(jì)微電子器件的能力打下基礎(chǔ)。

    3 結(jié)語(yǔ)

    以上介紹我校在“微電子器件”課程中內(nèi)建電場(chǎng)的教學(xué)實(shí)踐,所有這些教學(xué)活動(dòng)除了要讓學(xué)生掌握典型微電子器件的基本原理外,更加注重強(qiáng)調(diào)分析方法的學(xué)習(xí),培養(yǎng)學(xué)生舉一反三、觸類(lèi)旁通的進(jìn)一步學(xué)習(xí)、研究及設(shè)計(jì)微電子器件的能力。

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