彩色濾光片不良基板調(diào)查方法

丁左勇　李海麗

摘 要：液晶面板中有很多薄膜，其中非常重要的一種就是彩色濾光片（Color Filter；CF），其負(fù)責(zé)供給顯示器提供顏色之用，上面有RGB三色區(qū)域，也就是三原色紅、綠、藍(lán)三種顏色組成的區(qū)域，光線透過這些區(qū)域就會形成有色彩的畫面。本文主要針對彩色濾光片在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的不良品進(jìn)行原因調(diào)查，根據(jù)不同的不良狀況來歸納不同的調(diào)查方法及產(chǎn)線良率偏低時的排查方法。

關(guān)鍵詞：PCM（異物檢查機(jī)）；Mapping（繪圖）；直通率

中圖分類號：TN873.93 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A 文章編號：1004-7344（2018）32-0306-01

1 前 言

彩色濾光片占據(jù)面板材料的20%，是非常重要的部件，是顯示器實(shí)現(xiàn)色彩的關(guān)鍵技術(shù)，在制作過程中需要經(jīng)過六道主要制程，每道工序中都會存在產(chǎn)出不良基板的風(fēng)險，因此查找到真因是至關(guān)重要的，它可以及時有效的避免在制品中不良品的發(fā)生，為公司及客戶減少不必要的損失及其物料上的浪費(fèi)。彩色濾光片不良基板調(diào)查方法簡要總結(jié)如下。

2 針對產(chǎn)線不良NG基板的調(diào)查方法

（1）首先確定不良發(fā)生區(qū)間，比如B制程AOI檢出畫素劃傷，第一步確定前制程是否異常，確認(rèn)哪條產(chǎn)線生產(chǎn)時造成畫素劃傷，然后以MURA、PCM（異物檢查機(jī)）、AOI為節(jié)點(diǎn)確認(rèn)是涂布前后還是顯影前后，有針對性的調(diào)查設(shè)備異常是否會產(chǎn)生不良缺陷。

（2）確定基板流動是否正常，是否有停留超時或者設(shè)備異常報警記錄及當(dāng)制程當(dāng)天產(chǎn)線日報記錄設(shè)備是否有異常動作等，比如385 ASV產(chǎn)品PS制程HP停留超時會造成膜面異常，清洗機(jī)EUV下基板停留超時會造成白缺，基板在Buffer上停留時間過長會有基板表面污染風(fēng)險，或者設(shè)備異常宕機(jī)恢復(fù)后前幾枚基板等。

（3）對于AOI檢出爆點(diǎn)判定NG基板要確認(rèn)缺陷分布Mapping是否有規(guī)律，一般TD方向爆點(diǎn)與顯影機(jī)有關(guān)，要確認(rèn)顯影機(jī)是否有基板停滯現(xiàn)象，MD方向爆點(diǎn)要確認(rèn)涂布是否有MURA，爆點(diǎn)呈對角線分布時要確認(rèn)風(fēng)刀是否異常（清洗機(jī)、顯影機(jī)），AOI檢出爆點(diǎn)位置固定或某個CCD鏡頭時系A(chǔ)OI誤檢（CCD線松動或信號線電源線干擾致），爆點(diǎn)無規(guī)律時要確認(rèn)基板停留超時造成基板污染等。

（4）對于異物檢查機(jī)檢出基板表明異物判定NG基板首先要確認(rèn)異物檢查機(jī)是否誤檢（Pattern區(qū)沙漏狀mark、小短線、基板邊緣等），若確有異物時要據(jù)異物坐標(biāo)（PCM NG list）確認(rèn)AOI是否檢出異常（光阻異物或碎片等）。據(jù)NG統(tǒng)計PS制程異物檢查機(jī)檢出基板表面異物判定NG基本占比較多，要確認(rèn)異物產(chǎn)生是否在ITO過程產(chǎn)生，比如ITO靶材末期穿靶或Arcing（放電）等。

（5）異?；錗APPING圖與機(jī)臺點(diǎn)位的對應(yīng)關(guān)系。當(dāng)發(fā)現(xiàn)不良基板時首先借助檢測機(jī)臺的AOI、macro來確認(rèn)異常點(diǎn)的坐標(biāo)，記錄準(zhǔn)確位置，利用點(diǎn)位對比工具進(jìn)行查找問題點(diǎn)產(chǎn)出的機(jī)臺對應(yīng)部件，及時通知相關(guān)工程師進(jìn)行檢修。

3 產(chǎn)線不良直通率異常低的調(diào)查方法

（1）對于當(dāng)制程突發(fā)缺陷首先要根據(jù)缺陷Mapping對照各設(shè)備基板接觸位置，比如Y坐標(biāo)是整百倍數(shù)背污一般是由顯影機(jī)造成，固定位置缺陷要確認(rèn)涂布機(jī)Stage對應(yīng)點(diǎn)位是否有異物等。

（2）分析設(shè)備集中性，根據(jù)缺陷ID確認(rèn)設(shè)備（HP ID、VCD ID、OVEN SLOT）是否有集中性，據(jù)缺陷ID發(fā)生頻率對相應(yīng)設(shè)備進(jìn)行檢擦或者清潔，比如PS1線ASV產(chǎn)品集中爆發(fā)的PS光阻殘經(jīng)調(diào)查HP4占比較大，對HP4禁用后良率提升可反正PS殘發(fā)生于HP有關(guān)；B1線突發(fā)刮傷發(fā)生頻率接近間隔60枚，檢查確認(rèn)port口扎帶脫落造成。

（3）對于調(diào)查無規(guī)律缺陷可采取局部對比實(shí)驗進(jìn)行依次排除，比如G光阻殘產(chǎn)生確定是顯影機(jī)內(nèi)發(fā)生，但不能確定顯影機(jī)哪部分異常導(dǎo)致，可采取此方法進(jìn)行排除后確認(rèn)。

（4）如AOI檢出背污，可根據(jù)AOI檢出的坐標(biāo)確認(rèn)是何機(jī)臺產(chǎn)生，通常整數(shù)的坐標(biāo)為顯影機(jī)的（顯影機(jī)的ROLLER間距為200），單數(shù)的為清洗機(jī)產(chǎn)生（清洗機(jī)的ROLLER間距為115）。

（5）針對AOI檢出光阻殘留，確認(rèn)光阻殘產(chǎn)生的位置及形狀判斷是何機(jī)臺生產(chǎn)，通常集中性的，線狀的光阻殘留為涂布機(jī)產(chǎn)生，此時需要清潔涂布機(jī)ROLLER及NOZZLE，如光阻殘為離散性的應(yīng)為顯影不干凈，需要清潔顯影機(jī)。

（6）對于AOI檢出白缺，可根據(jù)白缺的形狀判斷是何機(jī)臺生產(chǎn)，通常整個畫素掉落應(yīng)為顯影機(jī)流量過大造成，調(diào)整水洗流量后可解決，如是三角型白缺，通常為涂布機(jī)造成，此時需要對涂布機(jī)進(jìn)行重新入液。

4 總 結(jié)

產(chǎn)線NG不良發(fā)生與產(chǎn)線不良直通率偏低歸其原因是由設(shè)備的異?；蚺K污引起，所以在調(diào)查前需要熟悉各機(jī)臺單元設(shè)備結(jié)構(gòu)，并結(jié)合數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析列出初步的懷疑對象，其后進(jìn)入現(xiàn)場一一排查機(jī)臺，找出問題點(diǎn)所在對癥下藥，而不能盲目的大范圍的將機(jī)臺進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，這樣既浪費(fèi)人力物力也不能找到根本原因，致使不良反復(fù)發(fā)生。

2018年以來，通過使用以上的調(diào)查方法，與以前對比產(chǎn)線能夠很快地找到缺陷的發(fā)生區(qū)間、發(fā)生的機(jī)臺、發(fā)生的原因，從而迅速解決，提升了產(chǎn)品的直通率、提高了機(jī)臺的稼動率、提高了產(chǎn)線的產(chǎn)能?？偠灾a(chǎn)線不良NG基板及產(chǎn)線不良直通率異常低的調(diào)查方法需要在工作中不斷的累積與總結(jié)，不斷革新處理方法，使其調(diào)查更加完善，為生產(chǎn)提供更好服務(wù)，為公司創(chuàng)造更高的經(jīng)濟(jì)效益。

參考文獻(xiàn)

[1]何 璇，鄧振波，楊久霞，趙吉生，李 琳.彩色濾光片用光阻劑研究[J].現(xiàn)代顯示，2008（83）：75～78.

收稿日期：2018-9-19

作者簡介：丁左勇（1985-），男，江蘇東臺人，制造部工程師，從事TFT-LCD彩色濾光片的生產(chǎn)技術(shù)管理工作。