尹 磊,唐 軍,陳庭輝
(江西理工大學(xué) 機(jī)電工程學(xué)院,江西 贛州 341000)
微夾持器作為一種末端執(zhí)行器[1-3]廣泛應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、生物醫(yī)療和微納操作等精密工程領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)外眾多學(xué)者對(duì)微夾持器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及應(yīng)用進(jìn)行了大量的研究,尤其在一些微機(jī)電領(lǐng)域,微夾持器可以用來(lái)抓取和裝配微構(gòu)件[4-5]。郝永平等[4]設(shè)計(jì)了一種用于MEMS機(jī)構(gòu)裝配的微夾持器,實(shí)現(xiàn)了夾持器中眾多微小器件的高效裝配保證了夾取的穩(wěn)定性。余大海等[5]設(shè)計(jì)了一種適用于ICF靶夾持的多用微夾持器,實(shí)現(xiàn)了各種不同形狀?yuàn)A口的調(diào)換和不同夾口初始開(kāi)口間距的自由調(diào)整以滿足不同靶件的夾持要求;而在生物工程方面,微夾持器可以用來(lái)抓取移動(dòng)細(xì)胞,對(duì)細(xì)胞進(jìn)行微操作。R Zhang 等[6]提出的用于生物微操作的電熱微夾持器,實(shí)現(xiàn)了一種具有大夾緊范圍和多用途頜骨的電熱夾,其閉合和張開(kāi)顎的響應(yīng)時(shí)間約0.23s,顎間隙71.5μm的大范圍變化能力可作為生物微操操作的多用途機(jī)械手。為了預(yù)測(cè)和控制夾持力的大小,一些學(xué)者也通過(guò)不同的方式對(duì)微夾持器的夾持力作了一定的研究[7-11]。
當(dāng)前,大多數(shù)文獻(xiàn)對(duì)微夾持器的研究仍主要集中在平面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面,且?jiàn)A持形式均為兩點(diǎn)接觸,較好實(shí)現(xiàn)了單自由度方向的夾持。由于微夾持器兩點(diǎn)接觸式的平面夾持易失穩(wěn),容易脫落造成破壞和損傷。為了提高其可靠性,本文采用橋式放大和杠桿放大原理設(shè)計(jì)一種新型的具有平面四點(diǎn)接觸的微夾持器,對(duì)其建立了幾何模型和數(shù)學(xué)模型,并利用有限元軟件Ansysworkbench進(jìn)行有限元仿真,探討多點(diǎn)式微型夾持器的穩(wěn)定性和夾持響應(yīng)速度。
采用橋式放大及杠桿放大原理設(shè)計(jì)一種能實(shí)現(xiàn)四點(diǎn)接觸式的平面夾持微夾持器,且為了提高其剛度和固有頻率,微夾持器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在同一平面且為對(duì)稱結(jié)構(gòu)。
內(nèi)部支鏈采用差動(dòng)式二級(jí)杠桿放大結(jié)構(gòu),外部?jī)蓚€(gè)支鏈采用橋式放大和一級(jí)杠桿放大組合結(jié)構(gòu),整個(gè)結(jié)構(gòu)是完全對(duì)稱,設(shè)計(jì)原理如圖1所示,圖1中各柔性鉸鏈用字母A、B、C、D、E、G、H、J、M、N表示,桿件用Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ、Ⅵ 表示,具體為:桿I的中點(diǎn)I為微夾持器的輸入端,通過(guò)壓電陶瓷進(jìn)行驅(qū)動(dòng),O點(diǎn)為夾持器的夾持端,A、E、M為固定轉(zhuǎn)動(dòng)副,B、C、D、G、H、J、M、N分別表示轉(zhuǎn)動(dòng)副。對(duì)于外部?jī)蓚€(gè)支鏈來(lái)說(shuō),點(diǎn)A與B、C、D、I采用橋式放大原理構(gòu)成了一級(jí)放大,A為固定端,I相當(dāng)于輸入端,則I點(diǎn)位移得到放大后的位移得到N點(diǎn)位移;點(diǎn)M與N、O形成了二級(jí)放大,M為支點(diǎn),輸出端O點(diǎn)的位移是由I點(diǎn)的位移經(jīng)二級(jí)放大得到。對(duì)于中間內(nèi)部?jī)蓷l支鏈來(lái)說(shuō),采用二級(jí)級(jí)杠桿放大結(jié)構(gòu)進(jìn)行位移的放大,首先E為支點(diǎn),將輸入端I的位移放大得到H點(diǎn)的位移,輸出端O點(diǎn)的位移是以J為支點(diǎn)將由H點(diǎn)的位移經(jīng)過(guò)二級(jí)放大得到。其中,柔性鉸鏈M、N、J處的轉(zhuǎn)動(dòng)副采用直角形鉸鏈,其余柔性鉸鏈均采用直圓型柔性鉸鏈。根據(jù)此原理,當(dāng)在驅(qū)動(dòng)端進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí),一個(gè)驅(qū)動(dòng)可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)四個(gè)支鏈實(shí)現(xiàn)目標(biāo)物的夾持動(dòng)作,微夾持器的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)如表1所示。
圖1 微夾持器設(shè)計(jì)原理圖
圖2 微夾持器
參數(shù)數(shù)值參數(shù)數(shù)值參數(shù)數(shù)值l118l212l39l49.5l57l618l742l8118.2l952.3r2.25b10t0.5θ015°
根據(jù)圖1所示的設(shè)計(jì)原理設(shè)計(jì)微夾持器如圖2所示,整個(gè)微夾持器采用結(jié)構(gòu)緊湊的對(duì)稱式結(jié)構(gòu),以提高其整體剛度和固有頻率。
微夾持器的放大倍數(shù)反映了其夾持范圍的大小可以表示為:
A=ΔyI/Δyo
式中,Δyo為輸出端的位移,ΔyI為驅(qū)動(dòng)端的位移。對(duì)于該微夾持器來(lái)說(shuō),有四個(gè)夾持支鏈組成,且兩兩相同,故下面分別對(duì)兩個(gè)支鏈進(jìn)行分析。
微夾持器的內(nèi)部支鏈設(shè)計(jì)原理如圖3所示,桿I的中點(diǎn)I為夾持器的輸入端,桿VI的O點(diǎn)為夾持口,字母E、G、K、H、J分別表示轉(zhuǎn)動(dòng)副。點(diǎn)I與E、G、K、H組成了一級(jí)放大,E為杠桿的支點(diǎn),設(shè)I點(diǎn)位移為yI,則H點(diǎn)位移得到放大,其位移為:
yH=(1+l4/l3)yI
(1)
式中,l3和l4分別為EG和GK段的長(zhǎng)度。
點(diǎn)I與J、H、O形成二級(jí)放大,O點(diǎn)的位移是由H點(diǎn)的位移經(jīng)二級(jí)放大,點(diǎn)O的位移為:
yO=(1+l6/l5)yE=(1+l6/l5)(1+l4/l3)yI
(2)
式中,l5為HJ長(zhǎng)度,l6為點(diǎn)O到點(diǎn)E的距離,l6>l5。由式可知,輸出端O點(diǎn)的位移可得到放大。其放大倍數(shù)A1為:
(3)
圖3 內(nèi)部支鏈結(jié)構(gòu)圖
首先,對(duì)外鏈的第一級(jí)的橋式放大機(jī)構(gòu)的放大倍數(shù)A21進(jìn)行計(jì)算,原理圖如圖4所示。其中A端是固定端,D端是移動(dòng)端(驅(qū)動(dòng)端),BC桿為輸出端,在驅(qū)動(dòng)端施加輸入位移Δx,則在輸出端的輸出位移為Δy,其中,虛線是變形前的位置,實(shí)線是運(yùn)動(dòng)后的位置。
圖4 橋式機(jī)構(gòu)示意圖
由圖4可知,橋式機(jī)構(gòu)變形前后滿足如下幾何關(guān)系。
在x方向上滿足:
2l1cosθ0+l2+Δx=2l1cosθ+l2
(4)
在y方向上滿足:
l1sinθ+Δy=l1sinθ0
(5)
則橋式機(jī)構(gòu)的放大倍數(shù)A21為:
(6)
當(dāng)橋式機(jī)構(gòu)的初始角度為θ0=15°,桿長(zhǎng)l1=18mm時(shí),代入式和式可得當(dāng)驅(qū)動(dòng)端位移從0~0.4mm時(shí)的放大倍數(shù),經(jīng)計(jì)算可以得到放大倍數(shù)約為2。
對(duì)第二級(jí)杠桿放大機(jī)構(gòu)的放大倍數(shù)A22進(jìn)行計(jì)算,原理圖如圖5所示。該部分是杠桿放大機(jī)構(gòu),其中N為輸入端,M為固定端,O為輸出端,在輸入端施加位移Δy2,桿件以M為支點(diǎn)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),則在輸出端O的位移為Δy,虛線為變形前位置,實(shí)線為變形后位置。
圖5 杠桿機(jī)構(gòu)示意圖
由圖5可以求得外鏈二級(jí)杠桿放大機(jī)構(gòu)的放大倍數(shù)A22為:
(7)
由表1可知:A22=(l7+l8)/l7=3.81。
則外部支鏈總的放大倍數(shù)A2為:
A2=A21A22
(8)
將A21和A22代入式可得放大倍數(shù)約為7.62。
有限元法能夠精確反映夾持器指標(biāo)和結(jié)構(gòu)參數(shù)的非線性關(guān)系,尤其是輸入和輸出之間為高度非線性關(guān)系時(shí),采用有限元仿真能夠較為準(zhǔn)確地預(yù)測(cè)分析機(jī)構(gòu)在邊界條件下的響應(yīng),為了驗(yàn)證所建偽剛體模型的準(zhǔn)確性,采用有限元軟件仿真進(jìn)行對(duì)比。
在Ansysworkbench有限元軟件中建立該柔性微夾持器的有限元模型,有限元模型選用solid186單元。為了模擬該柔性微夾持器的真實(shí)運(yùn)動(dòng)情況,需對(duì)該有限元模型施加邊界條件,對(duì)夾持器結(jié)構(gòu)的定位孔施加固定約束條件,對(duì)橋式機(jī)構(gòu)的上部滑塊部分施加豎直方向的位移約束條件。
所設(shè)計(jì)的微夾持器材料選用鋁合金,其具體型號(hào)AL-7075,其彈性模量E為71GPa,泊松比σ為0.3,密度為2770kg/m3。
首先對(duì)該夾持器進(jìn)行放大倍數(shù)的有限元分析,對(duì)有限元模型采用自由網(wǎng)格方式劃分網(wǎng)格后,沿著豎直方向施加0.1mm的輸入位移邊界條件,然后進(jìn)行求解最后得到仿真后的夾持器整體變形云圖結(jié)果如圖6a所示,可以看到在夾持器的輸出端的輸出位移達(dá)到約0.73mm,即說(shuō)明該夾持器實(shí)際放大倍數(shù)約為7.3,與理論放大倍數(shù)7.62相差不大,說(shuō)明設(shè)計(jì)的可行性。由6b圖可知,理論結(jié)果與仿真分析結(jié)果接近,誤差不超過(guò)5%。說(shuō)明了理論模型的合理性。
(a)放大倍數(shù)仿真分析
(b)輸入與輸出位移關(guān)系曲線圖6 放大倍數(shù)分析
微夾持器的響應(yīng)速度能夠用其固有頻率f來(lái)反映,固有頻率越大,表示其響應(yīng)速度越快,可用Ansysworkbench中的模態(tài)分析模塊來(lái)進(jìn)行模態(tài)分析獲得其相應(yīng)振型狀態(tài)下固有頻率f。
在Ansysworkbench中的Modal模塊進(jìn)行夾持器的模態(tài)分析,提取前6階模態(tài)分析結(jié)果,其中只有第三階模態(tài)分析的振型與期望的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)相符,其結(jié)果如圖7所示,其固有頻率為278.63Hz,說(shuō)明該夾持器具有較快的響應(yīng)速度。
圖7 固有頻率仿真分析
為了保證微夾持器在夾持操作的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中,其最大應(yīng)力不超過(guò)材料的屈服強(qiáng)度而導(dǎo)致斷裂等破壞現(xiàn)象,需要對(duì)其進(jìn)行應(yīng)力分析。在Ansys中進(jìn)行應(yīng)力分析,其結(jié)果如圖8所示??梢钥闯鲈搳A持器的最大應(yīng)力發(fā)生在橋式放大機(jī)構(gòu)的中間的一個(gè)柔性鉸鏈部位,其最大應(yīng)力為359.07MPa。而AL-7075的屈服強(qiáng)度為455MPa,故不超過(guò)其許用應(yīng)力,能夠滿足應(yīng)力要求。
圖8 應(yīng)力仿真分析
針對(duì)現(xiàn)有平面夾持器的缺陷,提出了一種平面四點(diǎn)接觸的微夾持器,組合橋式機(jī)構(gòu)和杠桿機(jī)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)設(shè)計(jì)了一種新型的結(jié)構(gòu)緊湊和響應(yīng)快的平面微夾持器。該平面夾持器為四點(diǎn)接觸,且能夠由一個(gè)驅(qū)動(dòng)器同時(shí)驅(qū)動(dòng),提高了夾持操作的夾持穩(wěn)定性,為微夾持器的設(shè)計(jì)提供一種新的思路。采用Ansysworkbench有限元分析軟件對(duì)該夾持器進(jìn)行了仿真分析,其仿真結(jié)果表明,在滿足強(qiáng)度要求的情況下,該夾持器的實(shí)際放大倍數(shù)約為7.3,Ansys模態(tài)分析結(jié)果表明其固有頻率為278.63Hz,具有較快的響應(yīng)速度。說(shuō)明了所設(shè)計(jì)的微夾持器的有效性,同時(shí)能滿足微夾持器的各性能要求。
[參考文獻(xiàn)]
[1] Alogla A, Scanlan P, Shu W M, et al. A scalable syringe-actuated microgripper for biological manipulation [J]. Procedia Engineering, 2012, 47(11): 882-885.
[2] Liu W, Yang Y Y. Multi-objective optimization of sheet metal forming process using pareto based genetic algorithm [J]. Journal of Materials Processing Technology, 2008, 208(1): 499-506.
[3] Jayaram K, Joshi S S. Development of a flexure-based force-sensing microgripper for micro-object manipulation [J]. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010,20(1):548-558.
[4] 余大海, 吳文榮, 羅敏, 等. 適用于ICF 靶夾持的多用微夾持器 [J]. 強(qiáng)激光與粒子束, 2012, 24(1): 115-118.
[5] 郝永平, 董福祿, 張嘉易, 等. 基于MEMS機(jī)構(gòu)裝配的微夾持器研究 [J]. 中國(guó)機(jī)械工程, 2014, 25(5): 596-601.
[6] R Zhang,J Chu,H Wang, et al. A multipurpose electrothermal microgripper for biological micro-manipulation[J]. Microsyst Technol, 2013, 19(1):89-97.
[7] 虞啟凱, 游有鵬, 韓江義. 集成三維力傳感器的微夾持器設(shè)計(jì)與試驗(yàn) [J]. 上海交通大學(xué)學(xué)報(bào), 2012, 46(6): 972-976, 983.
[8] 崔玉國(guó), 朱耀祥, 婁軍強(qiáng), 等. 壓電微夾鉗鉗指位移與夾持力的檢測(cè) [J]. 光學(xué)精密工程, 2015, 23(5): 1372-1379.
[9] 王代華, 楊群. 一種壓電致動(dòng)微夾鉗及其開(kāi)環(huán)位移特性 [J]. 納米技術(shù)與精密工程, 2010, 8(1): 47-53.
[10] Nah S K, Zhong Z W. A microgripper using piezoelectric actuation for micro-object manipulation [J]. Sensors and Actuators A: Physical, 2007, 133(1): 218-224.
[11] Aravind Raghavendra M R, Senthil Kumar A, Bhat Nikhil Jagdish. Design and analysis of flexure-hinge parameter in microgripper [J]. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology , 2010, 49(9): 1185-1193.