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    大面積狹縫式涂布工作臺的設(shè)計(jì)與分析

    2018-05-25 13:55:45李爍
    制造業(yè)自動化 2018年5期
    關(guān)鍵詞:模頭滑臺基片

    0 引言

    狹縫式涂布(Slot Die Coating)作為一種精密涂布方式,其具備涂布效率高,涂布膜層厚度范圍廣,涂布膜層均勻性高,涂布面積大等顯著優(yōu)點(diǎn),現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于膠卷制造、太陽能電池制造、鋰電池電極制造等領(lǐng)域,近年來在平板顯示等大面積基板涂布領(lǐng)域也展現(xiàn)出了明顯的技術(shù)優(yōu)勢[1~4]。相比于傳統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域,平板顯示光阻涂布等大面積基片涂布具有涂布面積極大,涂布效率及膜厚均勻性要求高等特點(diǎn),相對應(yīng)的對涂布設(shè)備工作臺的性能要求較高。目前常規(guī)涂布工作臺的工作行程可以滿足大面積涂布需求,但是動態(tài)運(yùn)動性能較差,導(dǎo)致涂布效率低下,無法滿足大規(guī)模生產(chǎn)涂布要求,因此本文針對平板顯示光阻涂布等大面積基片涂布領(lǐng)域的實(shí)際需求,設(shè)計(jì)了可實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的精密狹縫式涂布工作臺,并利用有限元分析軟件ANSYS Workbench對工作臺的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行了靜力學(xué)與動力學(xué)分析。

    1 工作臺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

    根據(jù)狹縫式涂布的原理,為達(dá)到平板顯示光阻涂布領(lǐng)域所要求的微米尺度膜厚以及高均勻性,高生產(chǎn)效率的涂布要求,涂布工作臺必須具備高的運(yùn)動速度和加速度,同時具備極高速度穩(wěn)定性。為達(dá)到以上指標(biāo),涂布工作臺總體采用雙路直線電機(jī)的驅(qū)動方式和氣浮導(dǎo)軌的導(dǎo)向方式,如圖1所示,涂布工作臺由龍門滑臺組件,直線電機(jī)組件,氣浮導(dǎo)軌組件,基片臺,光柵尺組件,底座等組成。采用直線電機(jī)驅(qū)動方式最大限度地減少了傳動環(huán)節(jié)的遲滯,為到達(dá)高的響應(yīng)速度提供了基礎(chǔ)保證;相比于常規(guī)單路布置形式,采用雙路并聯(lián)的對稱布置形式不僅使驅(qū)動力翻倍,同時使驅(qū)動力的作用位置更接近運(yùn)動部件重心,進(jìn)一步提高了工作臺的響應(yīng)速度。工作臺的龍門滑臺組件和氣浮導(dǎo)軌滑套等全部運(yùn)動部件采用SiC工程陶瓷材料制造。SiC陶瓷材料的比剛度明顯大于大理石、鋁合金等傳統(tǒng)材料,在剛度指標(biāo)相同的情況下,可以最大限度的降低移動部件質(zhì)量,從而獲得極佳的運(yùn)動性能[5]。涂布工作時,基片臺通過真空負(fù)壓將基片固定,龍門滑臺組件由兩側(cè)雙路直線電機(jī)驅(qū)動,帶動涂布模頭對基片進(jìn)行一維掃描運(yùn)動從而完成涂布。涂布工作臺有效涂布面積為1000mm×750mm,最高運(yùn)動速度為500mm/s,最大加速度可達(dá)1g(g=9.8m/s2),最大負(fù)載質(zhì)量為1000kg,可滿足4.5代線TFT-LCD等平板顯示領(lǐng)域的大規(guī)模涂布生產(chǎn)要求,同時可滿足米級尺寸光學(xué)元件光學(xué)膜的涂布要求。

    圖1 工作臺三維結(jié)構(gòu)模型

    2 工作臺龍門滑臺組件靜力學(xué)分析

    龍門滑臺組件作為運(yùn)動部件的主要組成部分,為了保證工作臺具有極高的動態(tài)響應(yīng)能力,其應(yīng)最大程度的減輕自重,因此在設(shè)計(jì)時對龍門滑臺組件的橫梁及兩側(cè)立柱均進(jìn)行了輕量化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),其輕量化結(jié)構(gòu)如圖2所示。另一方面龍門滑臺組件作為涂布模頭的安裝平臺,會受到涂布模頭的重力載荷和自身的重力載荷,從而產(chǎn)生結(jié)構(gòu)變形,進(jìn)而會導(dǎo)致涂布模頭的變形,影響涂布質(zhì)量,因此龍門滑臺組件在減少自重的同時還要保證足夠的靜態(tài)剛度。

    圖2 龍門滑臺組件結(jié)構(gòu)模型

    對于高質(zhì)量狹縫式涂布,要求涂布模頭安裝部件在涂布工作時的變形量應(yīng)小于1微米,為驗(yàn)證龍門滑臺組件輕量化結(jié)構(gòu)的靜態(tài)剛度性能,利用有限元分析軟件ANSYS Workbench對龍門滑臺組件進(jìn)行了靜力學(xué)分析。在分析時,設(shè)定SiC陶瓷材料密度為3200kg/m,彈性模量為400Gpa,泊松比為0.17;對龍門滑臺橫梁與立柱接觸面采用綁定設(shè)定,在龍門橫梁前側(cè)面施加涂布模頭的等效重力載荷,載荷數(shù)值按照750mm長度標(biāo)準(zhǔn)涂布模頭重量計(jì)算,同時整個有限元模型設(shè)定向下的重力加速度并在立柱底面施加固定約束作為邊界條件,經(jīng)求解后得到龍門滑臺組件的最大變形量僅為407.74nm,滿足高質(zhì)量涂布所需的低于1um變形量要求,龍門滑臺組件的變形分布如圖3所示。

    圖3 龍門滑臺組件變形云圖

    3 工作臺運(yùn)動部件模態(tài)分析

    對于平板顯示領(lǐng)域涂布,其對工作臺的定位要求較低,但要求工作臺具備極高的動態(tài)性能,一方面工作臺的勻速運(yùn)動時速度波動應(yīng)低于0.1%@200mm/s,另一方面為保證涂布生產(chǎn)效率,工作臺在額定負(fù)載下要具備極高的加速能力,這樣就要求涂布工作臺具備較高的響應(yīng)速度和伺服控制帶寬,相對應(yīng)的工作臺運(yùn)動部件應(yīng)具有足夠高的固有頻率[6]。考慮到工作臺運(yùn)動時會受到外界振動等擾動,為保證上述動態(tài)運(yùn)動性能指標(biāo),工作臺運(yùn)動部件的一階固有頻率應(yīng)達(dá)到300Hz。

    為驗(yàn)證本涂布工作臺的動力學(xué)特性,利用ANSYS Workbench軟件對工作臺的運(yùn)動部件進(jìn)行了模態(tài)分析。工作臺運(yùn)動部件由龍門滑臺和氣浮導(dǎo)軌滑套組成,整個運(yùn)動部件由氣膜支撐,可視為懸浮狀態(tài),因此在模態(tài)分析時采用自由邊界條件。運(yùn)動部件各零件之間均采用螺栓固定,在ANSYS Workbench軟件中各接觸面采用綁定處理設(shè)定。計(jì)算時,選擇前十二階模態(tài)進(jìn)行分析,其中前六階模態(tài)對應(yīng)自由邊界條件下運(yùn)動部件的六個自由運(yùn)動,第七階至第十二階模態(tài)才是運(yùn)動部件實(shí)際的前六階模態(tài)[7],經(jīng)求解后運(yùn)動部件的前十二階固有頻率為0Hz、0.003Hz、0.008Hz、0.014Hz、0.017Hz、0.020Hz、491.64Hz、666.47Hz、776.32Hz、1043.70Hz、1484.7Hz、1496.3Hz,由此可知運(yùn)動部件實(shí)際的一階固有頻率為491.64Hz,滿足一階固有頻率高于300Hz的要求,圖4給出了運(yùn)動部件實(shí)際的前六階模態(tài)振型。

    圖4 工作臺運(yùn)動部件模態(tài)振型

    4 結(jié)論

    設(shè)計(jì)了應(yīng)用于平板顯示光阻涂布等大面積基片涂布領(lǐng)域的工作臺,對龍門滑臺組件的靜力學(xué)仿真分析顯示,其輕量化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)滿足精密狹縫涂布的形變要求;對運(yùn)動部件的模態(tài)分析結(jié)果顯示,工作臺運(yùn)動部件具有高于300Hz的一階固有頻率,能夠滿足大面積狹縫涂布對工作臺高動態(tài)響應(yīng)的要求。本工作臺靜力學(xué)和動力學(xué)性能均能滿足高精密狹縫式涂布要求,為狹縫式涂布在大面積基板涂布領(lǐng)域的應(yīng)用提供了技術(shù)保證。

    參考文獻(xiàn):

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