一種軟性薄膜壓力傳感器

申請(qǐng)?zhí)? 201710528899.8

【公開號(hào)】CN107340082A

【公開日】2017.11.10

【分類號(hào)】G01L1/16

【申請(qǐng)日】2017.07.01

【申請(qǐng)人】蘇州能斯達(dá)電子科技有限公司

【發(fā)明人】熊作平;張珽;谷文;井華;王冉

【摘 要】本發(fā)明涉及一種軟性薄膜壓力傳感器，可通過(guò)新型納米壓敏材料的電阻率變化及兩壓敏層接觸面積改變的協(xié)同作用來(lái)進(jìn)一步提高傳感器靈敏度，再輔以合適楊氏模量的超薄薄膜襯底從而解決了遲滯效應(yīng)、測(cè)試重復(fù)性差異的問(wèn)題。傳感器包括第一/二軟性襯底層、第一/二電極層、第一/二壓敏層，壓敏層、電極層和軟性襯底依次連接；還包括支撐層，位于兩層軟性襯底之間且兩層壓敏層固定，兩層壓敏層之間存在間隙。