淺談TFT液晶玻璃基板冷端加工Adhered Glass（ADG）缺陷管控辦法

劉東陽 馬 巖 支軍令

（鄭州旭飛光電科技有限公司，鄭州 450016）

隨著國內(nèi)民族產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，由東旭集團(tuán)和國資委共同投資的鄭州旭飛光電科技有限公司5代TFT-LCD液晶玻璃基板生產(chǎn)線已全面投入生產(chǎn)。在向各大用戶面板廠商提供產(chǎn)品的冷端加工工藝當(dāng)中，玻璃基板表面的Particle數(shù)量和Adhered Glass缺陷嚴(yán)重影響了產(chǎn)品最終品質(zhì)。

1 基板加工存在的問題

國內(nèi)冷端生產(chǎn)設(shè)備基板傳送方式普遍采用牛皮材質(zhì)齒型帶傳送，玻璃基板在進(jìn)行精切割時(shí)會(huì)產(chǎn)生玻璃微粉，飛濺至四周空氣中和皮帶表面，因玻璃粉為透明狀，雖然日常都進(jìn)行了清掃，仍會(huì)有許多肉眼不可視的微粉殘留物，導(dǎo)致玻璃基板傳送時(shí)粘附在玻璃表面，形成ADC缺陷，影響產(chǎn)線產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)給下游用戶造成不良影響。

1.1 精切割使玻璃微粉迸濺

從熱端下架的玻璃基板需要按照切割工序，對玻璃基板四邊進(jìn)行精切，切割完成后玻璃基板上會(huì)表面形成約0.06mm的垂直裂紋，然后基板傳送至掰斷工位進(jìn)行掰斷，掰斷刀沿著餌料裂紋位置施力。因掰斷時(shí)玻璃餌料受力，玻璃微粉會(huì)發(fā)生濺射。

1.2 玻璃微粉散落在傳送工作臺(tái)面上

基板餌料掰斷后玻璃微粉在四周空氣中飄浮，而后飄落在設(shè)備和工作臺(tái)傳送帶上，產(chǎn)線雖然進(jìn)行日常清掃、并由工作臺(tái)下方清掃毛刷清掃齒型帶，但仍然會(huì)有部分玻璃微粉在基板傳送過程中粘附在基板表面。

1.3 玻璃基板傳送過程產(chǎn)生靜電吸附玻璃粉塵

因工作臺(tái)齒型帶傳送與設(shè)備下方毛刷摩擦產(chǎn)生靜電，導(dǎo)致齒型帶傳送時(shí)玻璃粉塵被吸附到工作臺(tái)臺(tái)面上，因無除靜電裝置，玻璃粉塵聚集后粘附在基板表面。

1.4 日常停機(jī)除塵維護(hù)作業(yè)單一且無統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)

每月公司根據(jù)生產(chǎn)倒排任務(wù)給予產(chǎn)線定期停機(jī)計(jì)劃，產(chǎn)線停機(jī)以后組織人員對產(chǎn)線進(jìn)行清掃。過去設(shè)備主體和傳送皮帶僅依靠人員使用無塵布擦拭，且對日常打掃效果沒有綜合評定標(biāo)準(zhǔn)，導(dǎo)致產(chǎn)線經(jīng)常發(fā)生因產(chǎn)線停機(jī)打掃造成二次污染的問題。

2 基板加工管控辦法

2.1 玻璃餌料掰斷微粉管控

針對玻璃餌料掰斷時(shí)受力迸濺問題，首先可以在掰斷刀側(cè)面增加阻擋裝置，當(dāng)掰斷后玻璃微粉發(fā)生飛濺時(shí)，有效防止其落到玻璃表面或工作臺(tái)上；其次可以將餌料掰斷下落滑槽通道整體進(jìn)行密閉封裝，并在底部安裝吸塵管路，形成負(fù)壓腔體，將掰斷產(chǎn)生的微粉和餌料下落揚(yáng)塵及時(shí)抽走，避免在產(chǎn)線上形成二次污染。

2.2 基板傳送靜電管控

基板在傳送過程中攜帶靜電經(jīng)過試驗(yàn)基本可以分為兩種形態(tài)：第一種為傳送帶及設(shè)備接觸摩擦產(chǎn)生的靜電；第二種是由于現(xiàn)場溫濕度問題造成設(shè)備產(chǎn)生靜電無法及時(shí)釋放。針對靜電，相關(guān)工作人員可以采取以下兩種對策進(jìn)行處理：第一，在工作臺(tái)傳送皮帶下方20mm位置，增加支架并安裝除靜電離子風(fēng)棒；第二，嚴(yán)格對精切機(jī)設(shè)備掰斷工位溫濕度進(jìn)行管控，保持常年恒溫恒濕狀態(tài)，使設(shè)備產(chǎn)生靜電能夠得到有效釋放。

2.3 產(chǎn)線停機(jī)針對玻璃粉塵清掃作業(yè)管控辦法

對以往產(chǎn)線二次污染原因進(jìn)行分析，可以得知主要問題還是與打掃方式、順序及后續(xù)檢測手段過于粗放有關(guān)。針對產(chǎn)線玻璃微粉清除順序問題，要結(jié)合各工序生產(chǎn)員工及潔凈管控小組人員意見，制定統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)流程，避免因操作方法不當(dāng)引起產(chǎn)線二次污染；另外，對清潔工具順序以及打掃擦拭分區(qū)進(jìn)行了明確區(qū)分。另外，還要對打掃質(zhì)量進(jìn)行確認(rèn)，關(guān)閉現(xiàn)場照明燈，使用10萬照度鹵素?zé)魴z查機(jī)進(jìn)行探測，同時(shí)在開啟設(shè)備后，對不同分區(qū)使用顆、不同產(chǎn)線環(huán)境狀態(tài)進(jìn)行抽測。

3 實(shí)際應(yīng)用效果

經(jīng)過一系列管控手段，冷端后加工產(chǎn)線基板ADG缺陷及擦劃傷檢出率直線下降，目前公司5代基板冷端加工ADG缺陷已降低至0.1%，不僅提升了產(chǎn)品優(yōu)良率，同時(shí)得到產(chǎn)品用戶進(jìn)一步認(rèn)可，市場占有率進(jìn)一步擴(kuò)大。新品認(rèn)證開發(fā)也在多個(gè)用戶群內(nèi)順利開展，為公司5代基板進(jìn)軍高端液晶玻璃基板領(lǐng)域奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

4 結(jié)語

基板冷端ADC缺陷是一個(gè)較綜合性問題，它不僅受設(shè)備自身設(shè)計(jì)缺陷影響，同時(shí)與外圍環(huán)境管控方法、產(chǎn)線日常維護(hù)作業(yè)也有著密切聯(lián)系，只有通過更加標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)和管控檢測手段才能消除上述問題。另外，通過研究也受到了啟發(fā)，要想針對熱切工序ADG進(jìn)行有效管控，只有不斷拓展產(chǎn)線工藝，才能使設(shè)備工藝水平穩(wěn)定提升。