電動(dòng)輪廓儀示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度的評(píng)定

黃榮輝

摘要：表面粗糙度反映的是工件表面微觀幾何形狀的誤差，是幾何測(cè)量的重要領(lǐng)域，在對(duì)表面粗糙度進(jìn)行多參數(shù)定量評(píng)定過(guò)程中，電動(dòng)輪廓儀的使用最為廣泛，本文重點(diǎn)介紹了觸針式電動(dòng)輪廓儀示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度的評(píng)定，對(duì)表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)的推廣及電動(dòng)輪廓儀技術(shù)的發(fā)展有著重大的現(xiàn)實(shí)意義。

Abstract： The surface roughness reflects the error of the microscopic geometry of the workpiece surface， which is an important field of geometric measurement. In the process of multi-parameter quantitative evaluation of surface roughness， electric profiler is the most widely used. It is of great practical significance to evaluate the uncertainty of the surface roughness standard and the development of the electric profiler technology.

關(guān)鍵詞：電動(dòng)輪廓儀；不確定度；誤差

Key words： electric profiler；uncertainty；error

中圖分類號(hào)：TG84 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1006-4311（2017）35-0149-02

1 概述

1.1 測(cè)量方法：參照J(rèn)JF1105-2003《觸針式表面粗糙度測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》。

1.2 測(cè)量環(huán)境：溫度（20±3）℃，平衡溫度時(shí)間不少于4h。

1.3 測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：Ra0.08，Ra0.40，Ra5.5μm多刻線標(biāo)準(zhǔn)樣板，測(cè)量不確定度（5～3）%，包含因子k=3。

1.4 被測(cè)對(duì)象：觸針式電動(dòng)輪廓儀（見圖1），最大允許示值誤差有三種，分別為±7%，±10%，±15%。

1.5 測(cè)量過(guò)程：用一組多刻線樣板，分別依次對(duì)各擋垂直放大率和各行程長(zhǎng)度（切除長(zhǎng)度）進(jìn)行測(cè)量，在樣板工作區(qū)域內(nèi)的三個(gè)不同位置上各測(cè)量三次。取其平均值作為測(cè)量結(jié)果。

2 數(shù)學(xué)模型

3 輸入量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度評(píng)定

3.1 輸入量Ra的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u（Ra）的評(píng)定

輸入量Ra的不確定度來(lái)源主要是電動(dòng)輪廓儀測(cè)量的重復(fù)性，可以通過(guò)連續(xù)測(cè)量得到測(cè)量列，采用A類方法進(jìn)行評(píng)定。

3.2 輸入量Ra0的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u（Ra0）的評(píng)定

參考文獻(xiàn)：

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