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    OEE在晶圓打點(diǎn)工序中的應(yīng)用研究

    2017-07-19 13:03:38劉瑞雨
    卷宗 2017年14期
    關(guān)鍵詞:墨點(diǎn)晶圓機(jī)臺(tái)

    摘 要:全面設(shè)備效率(OEE)是由國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織(SEMI)提出的能準(zhǔn)確計(jì)算設(shè)備效率的方法,其計(jì)算簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確,是產(chǎn)能分析的有效工具,因此在各個(gè)行業(yè)有廣泛的應(yīng)用。半導(dǎo)體測(cè)試產(chǎn)業(yè)屬于技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),其設(shè)備機(jī)器昂貴、更新速度快,因此最大限度的提高設(shè)備效率從而充分挖掘產(chǎn)能顯得尤為重要。本文運(yùn)用OEE方法研究晶圓打點(diǎn)工序機(jī)臺(tái)的設(shè)備綜合效率,確認(rèn)效率損失點(diǎn),從而一步步進(jìn)行改善,達(dá)到提升產(chǎn)能的目的,收到了不錯(cuò)的效果。

    關(guān)鍵詞:OEE;產(chǎn)能提升

    1 研究背景

    企業(yè)經(jīng)營(yíng)的目的是現(xiàn)在和未來(lái)都能獲利,而要達(dá)到這一目的企業(yè)就要不斷滿足顧客在成本、質(zhì)量、交期、服務(wù)等方面的要求,做到客戶滿意和忠誠(chéng),建立起自身的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。充分提高設(shè)備的使用效率,降低消耗、提高靈活性,才能有效的降低生產(chǎn)成本、提高有效產(chǎn)出,達(dá)到利潤(rùn)最大化。打點(diǎn)工序是晶圓測(cè)試產(chǎn)業(yè)中的重要組成部分,但經(jīng)常出現(xiàn)在制品積壓,有效產(chǎn)出不足的問(wèn)題,甚至由于延期供貨而收到客戶抱怨。

    本文針對(duì)該工序的設(shè)備引入運(yùn)用OEE方法,通過(guò)定量分析,建立設(shè)備綜合效率的時(shí)間模型,找到主要的改進(jìn)方向,并一步步提高改進(jìn)。

    2 OEE理論介紹

    綜合設(shè)備效率的英文全稱是:Overall Equipment Effectiveness,簡(jiǎn)稱 OEE,它由全面生產(chǎn)維護(hù)的觀念發(fā)展而來(lái),并在1999年由SEMA提出,用于衡量設(shè)備生產(chǎn)能力的計(jì)算方法標(biāo)準(zhǔn)。OEE是周期內(nèi)用于加工合格產(chǎn)品的理論時(shí)間和負(fù)荷時(shí)間的百分比,它能夠全面地反映單個(gè)臺(tái)設(shè)備的有效利用率。OEE方法將損失分為三類,對(duì)應(yīng)的衡量指標(biāo)為可用性效率、運(yùn)作效率、速度效率和品質(zhì)效率。OEE是這3個(gè)要素百分?jǐn)?shù)的乘積,即:

    瀑布圖是OEE模型分析與建立的常用工具之一。其特點(diǎn)是能夠方便、直觀的展現(xiàn)出OEE的組成以及損失情況。瀑布圖中各因子以時(shí)間的百分比例為單位,并依此排列,形成瀑布一樣的圖形,各個(gè)因子的時(shí)間損失情況以方框表示,通過(guò)查看方框的大小可以直觀的判斷損失情況,并確定最大的損失項(xiàng)目。

    3 OEE在打點(diǎn)工序產(chǎn)能提升中的應(yīng)用

    3.1 收集數(shù)據(jù),計(jì)算OEE

    根據(jù)以上對(duì)設(shè)備狀態(tài)的劃分,對(duì)打點(diǎn)工序全部的8臺(tái)設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。探針測(cè)試車(chē)間是兩班制,分為白班和夜班,工作時(shí)間為12小時(shí)。從ERP系統(tǒng)中抓取過(guò)去一個(gè)月相應(yīng)的數(shù)據(jù),并制作成以下表格。收集過(guò)去一個(gè)月中次品與返工的數(shù)據(jù),用來(lái)計(jì)算良品率和返工時(shí)間。該月返工晶圓數(shù)量為29片,共用時(shí)173分鐘,折合2.88小時(shí)。OEE模型分析與建立

    3.2 建立OEE模型

    圖3-4 OEE瀑布圖

    在得到設(shè)備利用放的數(shù)據(jù)之后,我們開(kāi)始建立模型。將生產(chǎn)過(guò)程的各種時(shí)間損失的項(xiàng)目進(jìn)行總結(jié),歸納到OEE的三種損失類型:時(shí)間損失、性能損失和良品率損失, 并建立打點(diǎn)工序設(shè)備的OEE瀑布圖,如圖3-4所示。

    3.3 建立帕累托圖,找出關(guān)鍵改進(jìn)因素

    瀑布圖模型后,能夠直觀的發(fā)現(xiàn)打點(diǎn)工序的設(shè)備綜合利用率OEE僅僅是68.1%,尚有很大的提升空間。繪制帕累托圖可以看到,調(diào)試時(shí)間、空閑時(shí)間、非計(jì)劃停機(jī)時(shí)間等占據(jù)了太大的份額。在這種情況下,果斷的放棄以購(gòu)買(mǎi)新機(jī)器增加打點(diǎn)工序的產(chǎn)能的方案,集中精力從提升OEE入手,挖掘自身產(chǎn)能。如圖4-5為設(shè)備時(shí)間損失帕累托圖:

    圖4-5 設(shè)備時(shí)間損失帕累托圖

    從圖中我們可以看出調(diào)試時(shí)間占到了整個(gè)損失項(xiàng)目的將近40%,是我們提高的重中之重;其次空閑等待時(shí)間占了五分之一,作為瓶頸工序有這么多的空閑時(shí)間是無(wú)法接受的,需要近一步分析原因并祛除。再次,非計(jì)劃停機(jī)也有不小的份額,占到了將近20%,還有很大的提升空間。最后,工程時(shí)間貢獻(xiàn)了8.4%的占比。綜合考慮,這前四大損失項(xiàng)占到了總損失的87%,成為團(tuán)隊(duì)接下來(lái)的實(shí)施分析和改善的的關(guān)鍵因素。

    4 基于關(guān)鍵影響因素的改進(jìn)

    4.1 調(diào)試時(shí)間的改進(jìn)

    改進(jìn)小組調(diào)查發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程中經(jīng)常換模,而換模之后需要調(diào)試才能重新生產(chǎn)。這是因?yàn)楫?dāng)前生產(chǎn)線上存在兩種墨筆型號(hào),分別是A5型和A8型,給生產(chǎn)加工帶來(lái)了復(fù)雜性,造成不必要的切換,增加了調(diào)試時(shí)間。改進(jìn)小組分析了兩種墨筆的使用范圍,并通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明兩種型號(hào)均可以覆蓋所有產(chǎn)品,因此最終選擇A5墨筆作為唯一的生產(chǎn)資料,徹底解決經(jīng)常換模的問(wèn)題。

    目前有上百種產(chǎn)品類型通過(guò)晶圓打點(diǎn)工序,因此更換產(chǎn)品變得非常頻繁。生產(chǎn)規(guī)定更換不同的產(chǎn)品需要對(duì)機(jī)器進(jìn)行調(diào)試,理由是不同的晶圓有不同的參數(shù),可能會(huì)可能影響墨點(diǎn)的質(zhì)量。針對(duì)這一情況,改進(jìn)小組對(duì)所有產(chǎn)品進(jìn)行分類,總結(jié)出兩個(gè)重要參數(shù),晶圓厚度和晶圓表面鈍化層類型。之后選取不同類型的晶圓設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn),收集數(shù)據(jù)后進(jìn)行多變異源分析,發(fā)現(xiàn)晶圓厚度對(duì)墨點(diǎn)的大小影響不顯著,而不同鈍化層的晶圓,其墨點(diǎn)大小存在明顯差異,但這種差異并不大,相對(duì)于墨點(diǎn)大小控制范圍200um來(lái)說(shuō),是可以接受的。因此換料時(shí)不需要對(duì)機(jī)器做調(diào)試。

    4.2 針對(duì)工程時(shí)間的改進(jìn)

    工程時(shí)間是指工程師調(diào)試新產(chǎn)品,進(jìn)行技術(shù)升級(jí),或者解決質(zhì)量問(wèn)題而占用的機(jī)臺(tái)時(shí)間。其中新品調(diào)試占據(jù)了整個(gè)工程時(shí)間的80%。一個(gè)產(chǎn)品在第一次在打點(diǎn)工序機(jī)器上的調(diào)試時(shí)間大約為1個(gè)小時(shí)??s短工程時(shí)間主要是縮短新品第一次的調(diào)試時(shí)間和之后其他機(jī)臺(tái)的審核時(shí)間,因此,有兩個(gè)方面的改進(jìn)。第一,采用SMED方法,將各個(gè)操作劃分為內(nèi)換模和外換模,最大限度的避免機(jī)臺(tái)閑置造成的生產(chǎn)時(shí)間浪費(fèi)。這樣做可以將新品調(diào)試時(shí)間由原來(lái)的一小時(shí)縮短為35分鐘。第二,改造機(jī)器并實(shí)現(xiàn)所有機(jī)器聯(lián)網(wǎng),使機(jī)器文件自動(dòng)上傳到服務(wù)器,并實(shí)現(xiàn)共享,從而避免了創(chuàng)建文件的工作,節(jié)省了大量的時(shí)間。此項(xiàng)改進(jìn)可以將以前30分鐘的機(jī)臺(tái)審核時(shí)間縮短至10分鐘,大大提升了機(jī)臺(tái)審核的效率,為解決因機(jī)臺(tái)未審核而產(chǎn)生的機(jī)臺(tái)空閑時(shí)間問(wèn)題,打下了基礎(chǔ)。

    5 總結(jié)

    通過(guò)項(xiàng)目成員實(shí)際努力,成功將晶圓打點(diǎn)工序的OEE從68.1%提升到79.83%,而且理論基本達(dá)到了目標(biāo),這是一個(gè)令人興奮的改善,從此晶圓打點(diǎn)工序帶脫了瓶頸工序的頭銜,探針測(cè)試生產(chǎn)線的總體產(chǎn)能至少提高了17.9%。項(xiàng)目實(shí)施后對(duì)效果進(jìn)行確認(rèn),從顯性效益和隱性效益兩方面對(duì)實(shí)際改善效果做分析。顯性效益是指項(xiàng)目實(shí)施后實(shí)際產(chǎn)生的財(cái)務(wù)效益;隱性效益是指項(xiàng)目除了財(cái)務(wù)效益收益以外,對(duì)提升人員能力、增強(qiáng)士氣、構(gòu)筑企業(yè)文化等方面帶來(lái)的提升和改善,這些是用財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)無(wú)法來(lái)衡量的效益。

    參考文獻(xiàn)

    [1]陳榮秋,馬士華,生產(chǎn)與運(yùn)作管理,北京:高等教育出版社,2007,206~230

    [2]張琳娜,鐘品,OEE分析在企業(yè)生產(chǎn)實(shí)踐中的應(yīng)用7[J]。商場(chǎng)現(xiàn)代化2009,(01)。

    [3]鐘品,李躍宇,企業(yè)生產(chǎn)管理的利器--OEE研究[J],現(xiàn)代商貿(mào)工業(yè),2009,(01)

    [4]馬林,何楨。六西格瑪管理,中國(guó)人民大學(xué)出版社,2007,3~28

    作者簡(jiǎn)介

    劉瑞雨(1981-),男,天津市,助理工程師,研究方向:半導(dǎo)體測(cè)試。

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