非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器放電生成物處理技術(shù)

趙建川，王春銳，謝冀江

(1.海軍駐長春地區(qū)航空軍事代表室，吉林 長春 130033；2.中國科學(xué)院 長春光學(xué)精密機械與物理研究所激光與物質(zhì)相互作用國家重點實驗室，吉林 長春 130033；3.中國科學(xué)院 長春光學(xué)精密機械與物理研究所 光電對抗技術(shù)創(chuàng)新研究室，吉林 長春 130033)

非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器放電生成物處理技術(shù)

趙建川1，王春銳2,3*，謝冀江2,3

(1.海軍駐長春地區(qū)航空軍事代表室，吉林 長春 130033；2.中國科學(xué)院 長春光學(xué)精密機械與物理研究所激光與物質(zhì)相互作用國家重點實驗室，吉林 長春 130033；3.中國科學(xué)院 長春光學(xué)精密機械與物理研究所 光電對抗技術(shù)創(chuàng)新研究室，吉林 長春 130033)

非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器放電產(chǎn)生的基態(tài)DF分子對激發(fā)態(tài)DF分子的消激發(fā)作用是影響激光器穩(wěn)定工作的重要原因。為解決這一問題，分別采用3A和5A分子篩作為吸附劑進(jìn)行實驗研究。無分子篩時，激光器重頻運轉(zhuǎn)1 000個脈沖后，輸出功率下降到初始功率的56%。分別使用3A、5A分子篩后，激光器重頻運轉(zhuǎn)脈沖個數(shù)達(dá)到5 000和6 800時，輸出功率下降幅度仍然不超過20%，大大提高了激光器的穩(wěn)定工作時間。實驗結(jié)果表明，5A分子篩的吸附效率大于3A分子篩，且兩種分子篩不僅對基態(tài)DF分子產(chǎn)生吸附，還對工作氣體產(chǎn)生吸附，可通過及時補充工作氣體提高激光器的穩(wěn)定性。

非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器；放電生成物；分子篩吸附；3A分子篩；5A分子篩

1 引 言

氟化氘(DF)激光輸出波段為3.5～4.1 μm，中心波長為3.8 μm，處于3～5 μm中紅外波段。中紅外波段傳輸效率高，衰減小，包含眾多原子和分子的特征吸收譜，被廣泛應(yīng)用于激光雷達(dá)光源、激光光譜學(xué)、大氣監(jiān)測和軍事光電對抗等領(lǐng)域[1-7]。非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器為化學(xué)激光器，其工作氣體通常為SF6和D2或碳氘化合物。工作氣體在高壓放電條件下會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成激發(fā)態(tài)的DF分子，產(chǎn)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。通過能級躍遷，處于振動激發(fā)態(tài)的DF分子產(chǎn)生受激輻射，在諧振腔中振蕩放大從而產(chǎn)生激光輸出。值得注意的是，工作氣體放電過程中還會產(chǎn)生其他放電生成物，如基態(tài)的DF分子和水分子等。這些分子會對激發(fā)態(tài)的DF分子產(chǎn)生碰撞弛豫，形成無輻射躍遷，導(dǎo)致重頻工作下激光輸出能量快速降低，嚴(yán)重影響激光輸出的穩(wěn)定性。為解決激活介質(zhì)的消耗問題，需要利用分子篩材料對放電生成物中的有害污染物(主要為基態(tài)的DF氣體分子)進(jìn)行吸附，從而使激光器在一次充氣條件下，能夠長時間穩(wěn)定工作。因此美[8]、法[9,10]、英[11]、俄[12]等世界各國在開展該類激光器研究伊始，就在激光器中設(shè)計加入各種吸附裝置，填充各種固體吸附劑，以實現(xiàn)對消激發(fā)物質(zhì)的吸附，從而實現(xiàn)激光器的重頻運轉(zhuǎn)。我國也非常重視非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器的研究和應(yīng)用。中國科學(xué)院電子學(xué)研究所柯常軍團(tuán)隊利用堿性分子篩作吸附劑，使DF激光器以 1～3 Hz重頻運轉(zhuǎn)，在單次充氣情況下，累積1 000個激光脈沖后，輸出能量僅下降20%[13-14]。西北核技術(shù)研究所開展了類似的研究，其研究團(tuán)隊采用了3A型分子篩在自行研制的HF激光器中，實現(xiàn)了激光器連續(xù)10余次重復(fù)頻率為50 Hz，出光20 s的激光能量，下降率低于15%，在一定程度上解決了激光能量不穩(wěn)定和激光介質(zhì)使用壽命短的難題[15]。

本文針對基態(tài)DF氣體分子的消激發(fā)問題，開展了非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器的放電生成物處理技術(shù)研究。采用3A和5A分子篩作為吸附劑，開展了對比實驗，并對吸附原理、吸附效果等進(jìn)行了分析。

2 非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器的消激發(fā)作用

非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光通常采用含SF6和D2或碳氘化合物在放電引發(fā)方式下產(chǎn)生。其中工作氣體發(fā)生的反應(yīng)主要包括：

DF(v) →DF(v-1)+hν .

反應(yīng)(1)是利用儲能電路注入能量，使電極釋放大量的高能電子，這些電子與SF6發(fā)生碰撞，使其發(fā)生解離，從而得到激光泵浦所需的F原子。常見的放電引發(fā)技術(shù)包括：電暈預(yù)電離、紫外光預(yù)電離、半導(dǎo)體預(yù)電離和自持體放電等。采用自持體放電技術(shù)，能夠在沒有預(yù)電離的情況下輸出高功率、高能量激光。反應(yīng)(2)表示F原子與D2分子進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成DF分子，反應(yīng)產(chǎn)生的化學(xué)能使DF分子激發(fā)，形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，也稱為激光泵浦反應(yīng)。其中DF(v)表示振動激發(fā)態(tài)，v=1, 2, 3。反應(yīng)(3)表示激發(fā)態(tài)DF分子的消激發(fā)過程，這是影響DF化學(xué)激光器穩(wěn)定工作的重要原因。其中M表示消激發(fā)物質(zhì)，主要是指基態(tài)的DF分子，還可能包括H2O、D2、SF6等粒子。在消激發(fā)過程中，激發(fā)態(tài)DF分子通過碰撞弛豫產(chǎn)生無輻射躍遷，無光子輻射產(chǎn)生，導(dǎo)致激光輸出能量降低。因此必須采用合適的固體吸附劑對基態(tài)DF分子進(jìn)行吸附處理。其中最常用的固體吸附劑就是多孔的分子篩材料。反應(yīng)(4)是形成激光的受激輻射躍遷過程。

3 分子篩吸附的基本原理

在多孔材料中，微孔化合物具有規(guī)則單一的微孔孔道，其孔道尺寸在2 nm以下，對小分子具有一定的篩分功能，因此又被稱為分子篩材料[16]。分子篩吸附現(xiàn)象的基本原理與其他固體類似，都是基于固體的界面(表面)，實際上可以認(rèn)為是與本體性質(zhì)不同的切面，因為暴露在表面受到內(nèi)向力，化學(xué)性質(zhì)活潑，容易對其他分子具有一定的作用力。如果固體的表面存在很多羥基、氨基、羰基、羧基等官能團(tuán)，它們可以成為吸附氣體分子的吸附位點，或者形成氫鍵等相互作用。分子篩材料的吸附行為與分子篩的孔道表面和被吸附分子之間的作用有很大關(guān)系。它們之間的吸附作用可以大致分為:(1)色散力，(2)偶極子相互作用，(3)四極子相互作用，這3種作用通稱為范德華力。吸附作用還有能量較強的電荷相互作用，包括：(4)氫鍵，(5)酸堿相互作用。另外，吸附作用還包括分子篩孔道因為孔徑大小引起的變化，如毛細(xì)管凝聚等。

分子篩的吸附行為有時伴隨著化學(xué)反應(yīng)發(fā)生，或者吸附力很強，已經(jīng)與化學(xué)鍵相當(dāng)，被稱為化學(xué)吸附。化學(xué)吸附由于作用力較強，都是不可逆的吸附。而一般把可逆的吸附和準(zhǔn)可逆的吸附(弱的吸附)稱為物理吸附?？赡嫖绞侵冈谂c吸附相同的物理、化學(xué)條件下，讓被吸附的分子發(fā)生脫附，且脫附量與吸附量相等，處于吸附平衡狀態(tài)。準(zhǔn)可逆吸附是指在作用力不是很強的時候，需要稍微升高溫度就可以完全脫附。對于物理吸附，可以通過高溫低壓處理對分子篩進(jìn)行脫附，從而提高分子篩的再生活化能力[15]。本文將通過分子篩在激光器放電實驗前后的變化，分析其吸附行為和吸附原理。

4 實驗裝置

本實驗采用的放電引發(fā)非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器系統(tǒng)主要包括儲能放電系統(tǒng)、光學(xué)諧振腔系統(tǒng)、氣體循環(huán)冷卻系統(tǒng)、分子篩吸附裝置等，如圖1所示。激光器儲能放電系統(tǒng)采用倍壓式反轉(zhuǎn)電路，放電電極表面尺寸為65 cm×5 cm，電極間距為5 cm，并對陰極表面作噴砂處理，對四周作圓滑處理。光學(xué)諧振腔采用“平-凹”穩(wěn)定腔，其中反射鏡為凹球面全反射鏡，曲率半徑為15 m～20 m，輸出鏡為平面透過反射鏡(CaF2)，反射率為10%～30%。氣體循環(huán)冷卻系統(tǒng)由風(fēng)機、流道、換熱器組成。風(fēng)機選用兩臺德國貝克公司的SV6.250/1-0004型渦輪風(fēng)機并聯(lián)使用，換熱器選用熱交換性能較好的鋁合金板翅式換熱器。分子篩吸附裝置放置在流道的下風(fēng)口處，做成方形漏斗的形狀，使截面積逐漸增大，以降低氣體流速，使分子篩對放電生成物中的基態(tài)DF分子進(jìn)行充分吸附。

圖1 放電引發(fā)非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器主機結(jié)構(gòu)示意圖Fig.1 Schematic diagram of electric-discharge non-chain pulsed DF laser

圖2 分子篩安裝夾具結(jié)構(gòu)圖Fig.2 Schematic diagram of molecular sieve sectional fixture

圖3 分子篩安裝夾具實物圖Fig.3 Photo of molecular sieve sectional fixture

對于分子篩吸附裝置，設(shè)計了一種兩層分子篩交錯填裝的安裝夾具。該安裝夾具放置在氣體流道出口處，下部換熱器的后端。氣體流速在經(jīng)過換熱器后迅速下降，延長了分子篩的吸附時間，同時氣體溫度也大幅下降，進(jìn)一步提升了吸附效果。該夾具的結(jié)構(gòu)如圖2所示。整個夾具分為兩層，兩層之間的間距為60 mm，通過螺柱連接起來。每層平面由方條分割成多個格子，構(gòu)成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。每層厚度為8 mm，兩側(cè)用金屬網(wǎng)封堵，兩層金屬網(wǎng)之間的空間用來填裝分子篩。填裝分子篩時，填充一格空一格。第二層也是填充一格空一格，整體上與第一層交錯布置。這種填裝方式既可以增加腔內(nèi)氣體與分子篩的接觸面積，加強分子篩的吸附作用，又可以降低加入裝置后對循環(huán)氣體風(fēng)速的影響，從而降低其對激光輸出的影響。填裝分子篩的步驟為：(1)在法蘭的一側(cè)用金屬網(wǎng)封堵；(2)按照間隔方式填裝分子篩；(3)在法蘭另一側(cè)用金屬網(wǎng)封堵；(4)用壓條將金屬網(wǎng)與中間的方格壓緊，以阻止分子篩顆粒竄動。因為分子篩對空氣中的水蒸氣等會產(chǎn)生吸收作用，影響其在激光器中的吸附效果，所以在填裝分子篩的過程中，始終用加熱器進(jìn)行烘烤。分子篩填裝完成后，將其放入激光腔體中，如圖3所示。將激光器完全封閉后，反復(fù)多次抽真空，將腔體里的空氣和分子篩物理吸附的氣體抽出。

實驗選用SF6和D2作為工作氣體，設(shè)置總充氣氣壓為8.1 kPa，SF6和D2的比例為8∶1，充電電壓為43 kV。同時分別選用3A和5A分子篩分別作為吸附劑進(jìn)行測試。

3A分子篩又稱KA分子篩，為白色粉狀顆粒，是一種堿金屬硅鋁酸鹽，硅鋁比為SiO2/Al2O3≈2，有效孔徑約為3 ?，可用于吸附水，不吸附直徑大于3 ?的任何分子，適用于氣體和液體的干燥，烴的脫水，可廣泛應(yīng)用于石油裂解氣、乙烯、丙烯及天然氣的深度干燥。5A型分子篩一般稱為鈣分子篩，硅鋁比為SiO2/Al2O3≈2，有效孔徑約為5 ?，可用于吸附小于該孔徑的任何分子，適用于天然氣干燥、脫硫、脫二氧化碳、氮氧分離、氮氫分離、石油脫蠟等。本文擬對直徑為2.98 ?的基態(tài)DF氣體分子進(jìn)行吸附，因而選用孔徑為3 ?和5 ?的3A和5A分子篩作為吸附劑。

5 實驗結(jié)果與分析

5.1 無分子篩吸附情況下激光輸出特性

實驗中，使激光器以10 Hz重頻運轉(zhuǎn)，每次運轉(zhuǎn)6 s，即60個脈沖，測量其輸出功率。激光器重頻運轉(zhuǎn)脈沖個數(shù)與輸出功率之間的關(guān)系如圖4所示。從圖4中可以看出，激光器的輸出功率隨著脈沖個數(shù)的增加迅速下降，當(dāng)脈沖個數(shù)達(dá)到1 000時，輸出功率(P)下降到初始功率(P0)的56%，當(dāng)脈沖個數(shù)達(dá)到1 700時，輸出功率下降到初始功率的31%。由此可知，隨著放電次數(shù)的增加，放電產(chǎn)生的基態(tài)DF氣體分子對激發(fā)態(tài)的DF分子產(chǎn)生了很強的消激發(fā)作用，同時工作氣體的消耗也造成了輸出能量的下降。因此當(dāng)該激光器不使用分子篩進(jìn)行吸附時，其單次充氣的工作壽命十分短暫，工作穩(wěn)定性很差，不能滿足實際應(yīng)用的需求。

圖4 無分子篩時激光器輸出功率隨重頻運轉(zhuǎn)脈沖個數(shù)的變化(P0：初始輸出功率，P：輸出功率)Fig.4 Output power curve versus pulse number without molecular sieve(P0:input power, P:output power)

5.2 3A分子篩材料作吸附劑時激光輸出特性

采用3A分子篩對放電生成物進(jìn)行處理后，激光器重頻運轉(zhuǎn)脈沖個數(shù)與輸出功率之間的關(guān)系如圖5所示。從圖5中可以看出，加入3A分子篩后，激光器的輸出功率下降速度明顯減慢，當(dāng)脈沖個數(shù)小于3 000時，激光器輸出功率(P)幾乎沒有下降。當(dāng)脈沖個數(shù)達(dá)到5 000時，輸出功率(P)下降了初始功率(P0)的20%。與不加分子篩相比，激光器的穩(wěn)定工作時間大大增加，說明3A分子篩對產(chǎn)生消激發(fā)作用的基態(tài)DF分子產(chǎn)生了吸附作用。最終脈沖個數(shù)約9 000時，輸出功率下降到初始功率的40%。

圖5 3A分子篩加入前后激光器輸出功率隨重頻運轉(zhuǎn)脈沖個數(shù)的變化Fig.5 Output power curve versus pulse number with and without using 3A molecular sieve

為檢驗3A分子篩的重復(fù)利用率，又以相同實驗條件先后進(jìn)行了幾次單脈沖和重頻實驗。重頻運轉(zhuǎn)結(jié)果如圖6所示。由圖6可知，3A分子篩在多次使用后，其吸附效果逐漸下降，但是激光器的輸出功率仍然遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于不加分子篩的情況。在第4次使用3A分子篩進(jìn)行重頻實驗時，當(dāng)脈沖個數(shù)達(dá)到4 000時，激光器輸出功率的下降幅度仍不超過20%，這說明3A分子篩的重復(fù)利用率較好。

圖6 多次使用3A分子篩時激光器輸出功率的變化Fig.6 Output power curve versus pulse number with multiple use of 3A molecular sieve

3A分子篩多次使用后仍然具有較好的吸附能力，說明每次實驗前對激光器進(jìn)行抽真空處理時，3A分子篩吸附的部分基態(tài)DF氣體分子發(fā)生了脫附，使3A分子篩重新具備活性，即3A分子篩對DF氣體分子存在物理吸附。而多次實驗后3A分子篩的吸附效果逐漸下降，吸附能力逐漸飽和，也說明簡單的抽真空方式不能使3A分子篩吸附的基態(tài)DF氣體分子完全脫附，即3A分子篩對DF氣體分子存在化學(xué)吸附。

5.3 5A分子篩材料作吸附劑時激光輸出特性

類似地，采用5A分子篩對放電生成物進(jìn)行處理后，激光器重頻運轉(zhuǎn)脈沖個數(shù)與輸出功率之間的關(guān)系如圖7所示。從圖7中可以看出，加入5A分子篩后，當(dāng)脈沖個數(shù)小于6 000時，激光器輸出功率幾乎沒有下降。當(dāng)脈沖個數(shù)達(dá)到約9 000時，輸出功率下降了初始功率的20%。激光器輸出功率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于不加分子篩的情況，說明5A分子篩吸附效果非常明顯。

圖7 5A分子篩加入前后激光器輸出功率隨重頻運轉(zhuǎn)脈沖個數(shù)的變化Fig.7 Output power curve versus pulse number with and without using 5A molecular sieve

為檢驗5A分子篩的重復(fù)利用率，又以相同實驗條件先后進(jìn)行了幾次單脈沖和重頻實驗。重頻運轉(zhuǎn)結(jié)果如圖8所示。由圖8可知，5A分子篩在多次使用后，其吸附效果逐漸下降，但是激光器的輸出功率仍然遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于不加分子篩的情況。在第4次使用5A分子篩進(jìn)行重頻實驗時，當(dāng)脈沖個數(shù)達(dá)到6 800時，激光器輸出功率的下降幅度仍不超過20%。由此可知，5A分子篩的重復(fù)利用率非常好。與3A分子篩類似分析可知，5A分子篩對基態(tài)DF氣體分子同時存在物理吸附和化學(xué)吸附。

圖8 多次使用5A分子篩時激光器輸出功率的變化Fig.8 Output power curve versus pulse number with multiple use of 5A molecular sieve

5.4 3A和5A分子篩在DF激光器中吸附特性的比較

將第一次使用3A和5A分子篩進(jìn)行重頻實驗的結(jié)果進(jìn)行比較，激光器的輸出功率隨脈沖個數(shù)的變化如圖9所示。從圖9中可以看出，5A分子篩的吸附效果要好于3A分子篩。分子篩多次使用后，結(jié)果相似。對于該激光器，放電后儲氣腔內(nèi)的氣體成分主要為SF6，D2、SF4和DF，這4種氣體分子的直徑見表1。3A分子篩的有效孔徑為3 ?，5A分子篩的有效孔徑為5 ?。因為分子篩只能吸附直徑小于其有效孔徑的分子，從理論上講，3A分子篩可以對D2分子和DF分子產(chǎn)生吸附，而SF4、SF6分子由于粒徑大而無法進(jìn)入分子篩孔道。而對于5A分子篩，幾種氣體分子直徑都小于分子篩孔道的有效孔徑，都有可能被吸附。因為影響激光器穩(wěn)定工作的最重要原因是基態(tài)DF分子的消激發(fā)作用，可知相對于3A分子篩，5A分子篩對基態(tài)DF分子的吸附效率更高。這是因為DF氣體分子直徑為2.98 ?，與3A分子篩非常接近，一部分DF氣體分子不能進(jìn)入3A分子篩的孔道，因而不能產(chǎn)生吸附作用。而5A分子篩的有效孔徑較大，DF分子可以全部進(jìn)入孔道，因而吸附效率更佳。

表1 氣體分子直徑

圖9 第1次使用3A和5A分子篩時激光器輸出功率的變化Fig.9 Output power versus pulse number with using 3A and 5A molecular sieve for the first time

5.5 分子篩對工作氣體的吸附

第1次使用3A分子篩進(jìn)行重頻實驗后，測得激光器腔壓下降1.1 kPa，第1次使用5A分子篩進(jìn)行重頻實驗后，測得激光器腔壓下降1.3 kPa，這說明分子篩材料在吸附基態(tài)DF氣體的同時，還吸附了大量的工作氣體。這也是造成激光器輸出功率下降的一個重要原因。使用5A分子篩后，激光器腔壓下降更為明顯，這是因為3A分子篩只對工作氣體D2產(chǎn)生了吸附，5A分子篩對工作氣體D2和SF6都產(chǎn)生了吸附，這是由兩種分子篩的有效孔徑?jīng)Q定的，5.4節(jié)中已有討論。為解決工作氣體的消耗問題，對激光器按原始比例進(jìn)行充氣，補充到原始腔壓，使激光器重新工作。以5A分子篩為例，其實驗結(jié)果如圖10所示?？梢钥闯觯a充氣體前，當(dāng)脈沖個數(shù)達(dá)到11 330時，激光器輸出功率下降到初始功率的39%。而補充氣體后，輸出功率迅速提高了初始功率的50%，說明如能對激光器進(jìn)行實時充氣，系統(tǒng)穩(wěn)定工作時間將進(jìn)一步增強。

圖10 激光器補氣前后輸出功率隨脈沖個數(shù)的變化Fig.10 Output power versus pulse number before and after gas supplement

6 結(jié) 論

本文采用3A分子篩和5A分子篩作為吸附劑，對放電引發(fā)非鏈?zhǔn)矫}沖DF激光器的放電生成物，主要是基態(tài)的DF氣體分子進(jìn)行了吸附處理。通過實驗研究表明，加入分子篩后的DF激光器，其重頻工作脈沖個數(shù)累積達(dá)到5 000和6 800時，激光輸出功率下降不超過20%，大大提高了激光器的穩(wěn)定工作時間。同時，通過重復(fù)實驗表明，3A分子篩和5A分子篩對基態(tài)DF氣體分子既存在物理吸附，又存在化學(xué)吸附，重復(fù)利用率較好。此外，因為有效孔徑的尺寸問題，5A分子篩的吸附效率大于3A分子篩，為未來選取合理的分子篩材料提供了參考。兩種分子篩材料對工作氣體同樣存在吸附，影響激光器的功率輸出，可以通過對激光器的即時充氣解決這一問題。

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Treating technology of discharge products in no-chain pulsed DF laser

ZHAO Jian-chuan1, WANG Chun-rui2,3*, XIE Ji-jiang2,3

(1.AviationCommissaryofNavyinChangchun,Changchun130033,China； 2.StateKeyLaboratoryofLaserInteractionwithMatter,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China； 3.InnovationLaboratoryofElectro-OpticalCountermeasuresTechnology,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China)

*Correspondingauthor,E-mail:crwang@ciomp.ac.cn

The de-excitation effect of ground state DF molecules after dicharge of no-chain pulsed DF laser to excited DF molecules is an important cause for laser′s steady working. In order to solve this problem, molecular sieves of 3A and 5A were respectively used as the adsorbent for experiments. Without molecular sieve, the laser output power decreased to 56% of initial power after 1 000 repetitive pulses. After 3A and 5A molecular sieve being utilized, the decrease of laser power were less than 20% after 5 000 and 6 800 shots respectively, so the stability of the laser has been greatly improved. The results show that the adsorptive efficiency of 5A molecular sieve is higher than that of 3A molecular sieve. And these two molecular sieves adsorbed not only the ground DF molecules, but also reacting gas. So the stability of laser can be improved by supplementing of reacting gas timely.

non-chain pulsed DF laser;discharge product;molecular sieve adsorption;3A molecular sieve;5A molecular sieve

2016-10-07；

2016-11-24

激光與物質(zhì)相互作用國家重點實驗室自主基礎(chǔ)研究課題(No.SKLLIM1310-01)；科技部國際合作專項基金資助項目(No.2011DFR10320) Supported by Basic Research Project of the State Key Laboratory of Laser Interaction with Matter of China(No.SKLLIM1310-01); International Cooperation Special Fund of the Ministry of Science and Technology of China(No.2011DFR10320)

2095-1531(2017)02-0241-08

TN248.5

A

10.3788/CO.20171002.0241

趙建川(1969—)，男，吉林長春人，學(xué)士，工程師，1992年于海軍電子工程學(xué)院獲得學(xué)士學(xué)位，主要從事光電設(shè)備研制與改造方面的研究。E-mail:zaojc@ciomp.ac.cn

王春銳(1983—)，女，吉林長春人，博士，助理研究員，2006年于大連理工大學(xué)獲得學(xué)士學(xué)位，2012年于中科院大連化物所獲得博士學(xué)位，主要從事激光器及其應(yīng)用技術(shù)和激光防護(hù)技術(shù)方面的研究。E-mail:crwang@ciomp.ac.cn