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    水分子對(duì)有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管閾值電壓穩(wěn)定性的影響

    2016-11-10 00:52:11張雪華丁星星
    關(guān)鍵詞:閾值電壓絕緣層柵極

    戚 輝, 郭 鵬, 張雪華, 丁星星, 張 瑩, 李 夢(mèng)

    (中原工學(xué)院, 鄭州 450007)

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    水分子對(duì)有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管閾值電壓穩(wěn)定性的影響

    戚輝, 郭鵬, 張雪華, 丁星星, 張瑩, 李夢(mèng)

    (中原工學(xué)院, 鄭州 450007)

    以重?fù)诫sSi片為襯底,SiO2為柵絕緣層,并五苯為有源層,制備了有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(OFETs),研究了空氣中水汽對(duì)場(chǎng)效應(yīng)性能的影響。實(shí)驗(yàn)表明:當(dāng)器件較長(zhǎng)時(shí)間放置在空氣中時(shí),吸附在并五苯和SiO2接觸面之間的水分子導(dǎo)致閾值電壓漂移,器件的穩(wěn)定性降低;經(jīng)過(guò)熱處理的器件的閾值電壓漂移現(xiàn)象消失。提出了解釋閾值電壓漂移現(xiàn)象的模型,該模型可解釋水分子在這個(gè)過(guò)程中所起的作用。

    有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管;并五苯;閾值電壓漂移;熱處理

    有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(OFET)因材料來(lái)源廣、成本低及可與柔性襯底兼容等優(yōu)點(diǎn)受到廣泛關(guān)注[1],在有機(jī)平板顯示等多領(lǐng)域有潛在的應(yīng)用價(jià)值[2-3]。然而,有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管長(zhǎng)時(shí)間放于空氣中會(huì)受到空氣中水汽的干擾,使其性能發(fā)生改變。近年來(lái),空氣中水汽對(duì)場(chǎng)效應(yīng)晶體管性能的影響已引起許多科研工作者的興趣。器件長(zhǎng)時(shí)間放置,空氣的水汽會(huì)滲透到并五苯有機(jī)層,致使并五苯晶粒邊界形成陷阱[4-6]。Sharma A等提出,在水汽存在的前提下,積累層的空穴和SiO2絕緣層中的質(zhì)子之間存在著動(dòng)態(tài)平衡[7],兩者可以發(fā)生相互轉(zhuǎn)化;還有課題組對(duì)影響OFET穩(wěn)定性的其他因素進(jìn)行分析,Sakai H小組證明了柵極電介質(zhì)的極化可以引起閾值電壓的漂移[8];也有課題組從光照射和分子摻雜濃度等方面研究了場(chǎng)晶體管的穩(wěn)定性[9-10]。

    本文以并五苯為活性層制備OFETs,器件在空氣中放置后,對(duì)樣品的性能進(jìn)行檢測(cè),發(fā)現(xiàn)并五苯接觸面吸附的水分子導(dǎo)致了有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管閾值電壓漂移;通過(guò)真空熱處理可以使閾值電壓漂移現(xiàn)象消失,印證了水分子確實(shí)影響有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的穩(wěn)定性。

    1 實(shí) 驗(yàn)

    器件結(jié)構(gòu)如圖1所示。其中,Au為源漏電極,并五苯是有源層,即空穴傳導(dǎo)層,n型摻雜的Si襯底為柵極,SiO2為絕緣層。

    圖1 器件結(jié)構(gòu)

    把硅片襯底放在丙酮溶液里,用超聲波清洗20 min,并用去離子水沖洗干凈,在紅外干燥箱內(nèi)進(jìn)行烘干,放置在真空干燥箱內(nèi)加熱到120 ℃并保持恒溫2 h,然后自然冷卻至室溫。采用真空度為10-3Pa的真空鍍膜法蒸鍍并五苯作為器件的活性層,蒸發(fā)速度為0.1~0.2 nm/s,使并五苯活性層厚度為80 nm。最后,用掩模的方法蒸鍍溝道,由掩模板形成的溝道長(zhǎng)120 μm、寬14 mm。測(cè)試時(shí),柵源電壓采用可調(diào)穩(wěn)壓電源,通過(guò)Keithley 2400型數(shù)字源表及Keithley485型皮安表組成的測(cè)量系統(tǒng)獲得輸出的特性曲線。

    2 結(jié)果與分析

    2.1實(shí)驗(yàn)結(jié)果

    把制作好的器件在真空狀態(tài)下存放30 min進(jìn)行測(cè)量。圖2為OFETs器件的輸出特性曲線(Ids-Vds曲線)。在不同柵極電壓的調(diào)制下,輸出特性曲線展現(xiàn)出了完好的飽和性。在相同的柵極電壓范圍內(nèi),轉(zhuǎn)移特性曲線幾乎完全重合,如圖3所示。

    圖2 新器件的輸出特性曲線

    圖3 在相同柵極電壓范圍內(nèi)新器件轉(zhuǎn)移特性曲線的比較

    為了檢測(cè)空氣中水汽對(duì)器件不穩(wěn)定性是否造成影響,本文進(jìn)行了對(duì)比。把實(shí)驗(yàn)器件在空氣中放置60 d后,測(cè)量其在不同柵極電壓范圍內(nèi)的轉(zhuǎn)移特性曲線。由圖4可以清楚地觀察到,有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的轉(zhuǎn)移特性曲線出現(xiàn)了明顯的偏移。由圖5可知,閾值電壓發(fā)生了漂移,閾值電壓值分別為-7 V和1 V。

    圖4 器件兩個(gè)月后在不同柵極電壓范圍內(nèi)轉(zhuǎn)移特性曲線的比較圖

    圖5 器件的轉(zhuǎn)移特性曲線

    2.2結(jié)果分析

    閾值電壓漂移可以通過(guò)微觀機(jī)制進(jìn)行解釋。當(dāng)器件放置于空氣中較長(zhǎng)時(shí)間后,空氣中的水汽會(huì)吸附在活性層和SiO2絕緣層之間,吸附的水分子影響了器件的穩(wěn)定性[11-15]。在積累層的空穴和SiO2絕緣層中的質(zhì)子(與體密度有關(guān))之間存在著熱力學(xué)平衡,在水分子存在的條件下,空穴和質(zhì)子之間存在著如下關(guān)系:

    [H+]=α[h+]

    (1)

    其中,α是由反應(yīng)常數(shù)和在絕緣層表面水分子的量決定的[7]。

    在正柵極偏壓從30 V減小至0 V時(shí),SiO2絕緣層中的質(zhì)子密度減小,質(zhì)子擴(kuò)散到SiO2表面轉(zhuǎn)換成空穴,并移向漏極和源極,產(chǎn)生額外的電流,并導(dǎo)致閾值電壓的漂移。

    圖6 真空熱處理后兩次不同柵極電壓范圍內(nèi)轉(zhuǎn)移特性曲線的比較圖

    對(duì)器件進(jìn)行熱處理,即把器件放置于真空干燥箱中160 ℃恒溫保持12 h后冷卻至室溫,然后對(duì)器件的轉(zhuǎn)移曲線進(jìn)行測(cè)量,兩次測(cè)得的器件的轉(zhuǎn)移特性曲線見圖6??梢园l(fā)現(xiàn),轉(zhuǎn)移特性曲線幾乎重合在一起,表明轉(zhuǎn)移特性曲線的漂移在熱處理后消失,不同柵極電壓范圍內(nèi)器件的轉(zhuǎn)移特性曲線是不變的??梢?,絕緣層電介質(zhì)表面吸附的水分子經(jīng)熱處理后被蒸發(fā)掉,閾值電壓漂移被消除。熱處理前后的數(shù)據(jù)證明了水分子對(duì)器件穩(wěn)定性的影響。

    3 結(jié) 語(yǔ)

    對(duì)影響有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管穩(wěn)定性的因素進(jìn)行了研究,吸附在并五苯和SiO2接觸面之間的水汽對(duì)并五苯有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的穩(wěn)定性有重要影響,導(dǎo)致了閾值電壓的漂移。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明, 經(jīng)過(guò)熱處理后,器件的閾值電壓漂移現(xiàn)象消失了。這是因?yàn)榉e累層的空穴和SiO2絕緣層中的質(zhì)子(與體密度有關(guān))之間存在熱力學(xué)平衡,熱處理使水汽被蒸發(fā),閾值電壓漂移也被消除。

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    (責(zé)任編輯:陸俊杰)

    Effect of Water Molecules on Threshold Voltage Stability of Organic Field Effect Transistors

    QI Hui, GUO Peng, ZHANG Xue-hua, DING Xing-xing, ZHANG Ying, LI Meng

    (Zhongyuan University of Technology, Zhengzhou 450007, China)

    Pentacene-based organic field-effect transistors (OFETs) is fabricated with n-doped silicon substrate as the gate electrode and as the dielectric. The influence of ambient atmosphere on the threshold voltage of organic field-effect transistors is studied. The adsorption of the pentacene-interface largely affects the electrical characteristics of the OFETs, where a shift is clearly present. It can be eliminated through the thermal annealing processes, a new model to interpret the shift of threshold voltage is presented, this model also explains the role of water in the device.

    OFETs; pentacene; the threshold voltage shift; the thermal annealing processes

    2016-01-23

    國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11547221)

    戚輝(1981-),男,河南開封人,碩士,主要研究方向?yàn)楣怆姴牧吓c器件。

    1671-6906(2016)04-0033-04

    TN386

    A

    10.3969/j.issn.1671-6906.2016.04.007

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