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    MEMS工藝中氣相腐蝕系統(tǒng)研究現(xiàn)狀

    2016-10-11 07:23:18胡艷琴馮治祺馬宏偉張紅霞王寧寧左顯維甘肅省科學院傳感技術(shù)研究所
    電子制作 2016年16期
    關鍵詞:微結(jié)構(gòu)雙循環(huán)濕法

    胡艷琴 馮治祺 何 欣 馬宏偉 張紅霞 王寧寧 左顯維甘肅省科學院傳感技術(shù)研究所

    MEMS工藝中氣相腐蝕系統(tǒng)研究現(xiàn)狀

    胡艷琴 馮治祺 何 欣 馬宏偉 張紅霞 王寧寧 左顯維甘肅省科學院傳感技術(shù)研究所

    低能氣相腐蝕;腐蝕速率;MEMS

    微電子機械系統(tǒng)(Micro Electro mechanical System, MEMS)是20世紀80年代后期在微電子基礎上發(fā)展起來的一門新興應用技術(shù)。MEMS是一項革命性的新技術(shù),廣泛應用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項關系到國家科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關鍵技術(shù)。對于傳統(tǒng)的“機械學”來說,MEMS技術(shù)對我們的生產(chǎn)生活有深遠的影響[1]。

    而MEMS 實現(xiàn)的核心之一是 MEMS 加工技術(shù)。

    傳統(tǒng)的加工方法的研究重點是超精密機械加工,著重研究機械加工的微型化。而半導體硅微機械加工方法與傳統(tǒng)微電子加工工藝兼容,它對硅基材料進行加工,并利用集成電路的工藝或化學腐蝕方法形成MEMS器件。[2]

    隨著微電子技術(shù)和半導體工業(yè)的迅速發(fā)展,將不同的器件集成在一起成為一種必然趨勢,那必然需要犧牲層腐蝕技術(shù),它是MEMS在各行各業(yè)中得以廣泛的應用的重要考核標準。

    1.犧牲層技術(shù)

    犧牲層技術(shù)是MEMS中的關鍵技術(shù)之一,即在形成微機械結(jié)構(gòu)的空腔或可活動的微結(jié)構(gòu)過程中,先在下層薄膜上用結(jié)構(gòu)材料淀積所需的各種特殊結(jié)構(gòu)件,再用化學刻蝕劑將此層薄膜腐蝕掉,但不損傷微結(jié)構(gòu)件,然后得到上層薄膜結(jié)構(gòu)(空腔或微結(jié)構(gòu)件)。由于被去掉的下層薄膜只起分離層作用,故稱其為犧牲層。利用犧牲層可制造出多種活動的微結(jié)構(gòu),如微型橋、懸臂梁及懸臂塊等。[3]

    2.腐蝕速率

    在犧牲層腐蝕的過程中, 最為關鍵的是腐蝕速率的控制。腐蝕速率對于精確預測腐蝕時間, 避免過腐蝕和節(jié)省時間, 從而可以將MEMS 器件加工的效率提高。影響腐蝕速率的因素特別多, Kern[4]認為溫度影響了腐蝕速率。 Liu[5]認為溫度的升高會加快腐蝕速率,腐蝕液濃度加大,腐蝕速率自然會提高。還有一些因素,摻雜程度、腐蝕液組分、犧牲層種類及厚度等等都將影響腐蝕速率。

    3.腐蝕方法

    3.1 濕法腐蝕

    現(xiàn)有技術(shù)中,通常采用濕法腐蝕的方法去除犧牲層,即通過人工操作將硅片放入到裝有腐蝕液的容器中進行浸泡,再用水對硅片進行清洗,最后進行烘干處理。眾所周知,濕法腐蝕選擇性較差,容易造成粘連現(xiàn)象和表面玷污,且所使用的大量腐蝕液具有劇毒性,極易對環(huán)境帶來污染,對操作人員產(chǎn)生傷害。

    3.2 干法腐蝕

    姜義[6]等在對光刻原理進行研究分析的基礎上,分別對比了干法和濕法腐蝕工藝。研究發(fā)現(xiàn),濕法腐蝕的微表面非常光滑,但垂直刻蝕深度不好。而干法腐蝕的微表面垂直性好,但表面不平整。

    3.3低能氣相腐蝕

    為解決濕法腐蝕中存在的種種問題,低能氣相腐蝕(無需額外能量與離子轟擊的氣相腐蝕)隨之產(chǎn)生。在低能氣相腐蝕中,產(chǎn)品良率、均勻性、產(chǎn)量均大幅度提高。在這項技術(shù)里,最為重要的是控制腐蝕速率。通過速率的控制來推測反應結(jié)束的時間,也可以避免腐蝕過程中經(jīng)常出現(xiàn)的不均勻與過量腐蝕的問題。

    過量腐蝕對多晶硅的結(jié)構(gòu)層會有嚴重的損害作用, 因此控制腐蝕速率可提高所需產(chǎn)品的性能和效率。 Eaton[7]認為在結(jié)構(gòu)復雜的犧牲層腐蝕模型中,擴散系數(shù)是常數(shù)。而Monk[8]認為擴散系數(shù)會變化,但是在實際計算過程當中,他卻賦予了常數(shù)。而實際上, 擴散系數(shù)不僅受到溫度的影響,還受到濃度的影響。

    Hong qinshi[9]等在前人腐蝕理論基礎上提出了一種新穎的雙循環(huán)腐蝕模型,通過內(nèi)外兩個回路的循環(huán)控制腐蝕氣體濃度的一致性,并研究腐蝕速率控制理論,最終獲得理想的腐蝕效果,也可為高效能腐蝕系統(tǒng)的開發(fā)奠定堅實的理論基礎。

    圖1為現(xiàn)有的腐蝕系統(tǒng)原理圖,腐蝕氣體直接與腐蝕腔連接,腐蝕氣體連續(xù)或間斷的進入腐蝕腔,此種方法最大的問題就是導致腐蝕速率不能夠保持恒定,不能保證腐蝕氣體在腐蝕腔內(nèi)循環(huán)流動,腐蝕的晶面中心與邊緣的不均勻性,留有水印,產(chǎn)品良率下降,成本增加。

    圖1單循環(huán)回路腐蝕系統(tǒng)

    文獻中設計了一種新穎的雙循環(huán)模式,如圖2所示,整個裝置分為兩個回路,內(nèi)循環(huán)和外循環(huán)。內(nèi)循環(huán)過程中腐蝕氣體循環(huán)流動,腐蝕氣體在腐蝕腔中非常均勻的分布,而外循環(huán)在檢測器的監(jiān)控下,及時補充新鮮腐蝕氣體,排出腐蝕過程中的其它產(chǎn)物。雙回路的創(chuàng)意,可以在最大程度上減少水印,有效的提高芯片的制作效率。

    圖2 雙循環(huán)回路腐蝕系統(tǒng)

    4.結(jié)語

    近年來,國外在犧牲層腐蝕方面的研究發(fā)展很快,很多研究機構(gòu)紛紛開發(fā)出自己產(chǎn)品,然而,國內(nèi)對此研究幾乎一片空白,幾十年都在使用進口設備,但進口設備價格昂貴,嚴重阻礙國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。對此國內(nèi)一些機構(gòu)和個人也曾提出了很多解決方案,但由于技術(shù)和條件限制,其所作的改進多是差強人意,收效甚微。如今面對MEMS巨大的發(fā)展浪潮,國內(nèi)落后的腐蝕工藝件已經(jīng)無法與之相適應。研究制作高性能的腐蝕系統(tǒng)成為必然的發(fā)展趨勢。

    [1] 李德勝.MEMS技術(shù)及其應用.哈爾濱工業(yè)大學出版社, 2002.

    [2] 張永華, 丁桂甫, 李永海.MEMS的犧牲層技術(shù)[J].微納電子技術(shù), 2005(2): 73-77.

    [3] 吳曉, 周星元.現(xiàn)代制造工程.基于MEMS犧牲層技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀.2007(9): 86-88.

    [4] Werner Kern.Proceedings of the Symposium on Etching for Pattern Def inition.The Electrochemical Society.1976: 1-18.

    [5] Liu J, Tai Y C, Lee J, Pong K C, Zohar Yan d Ho C H.Insitu Monitoring and Universal Modeling of Sacrificial Etching Using Hydro fluoric Acid[C].In: Proceedings of Micro Mechanical Systems, IEEE.1993: 71- 76.

    [6] 姜義.干法和濕法腐蝕制作脊型半導體激光器的比較研究.長春理工大學碩士學位論文.

    [7] Eat on W P, J arecki R L, Smith J H.Prediction of release etchtimes for surface micro machined structures.Internati on al Conference on Solid State Sensors and Actuators, 1997(1):249-251.

    [8] Ouborg W J, Myung N, Nobe K, et al.Effect of etches on the performance of ferromagnetic MEMS.Elect chemical Society Proceedings, 2002(27): 201-203.

    [9] Shi et al, United States Patent Application Publication.Pub.No.: US 2005/0020089 A1.

    甘肅省科學院青年科技創(chuàng)新基金項目(2012QN-05,2014QN-18)

    胡艷琴(1982-)女,山西文水人,碩士,助理研究員,研究方向為物理化學與材料化學。通訊作者:左顯維。

    本文介紹了氣相腐蝕系統(tǒng),著重于低能氣相腐蝕,其新穎的雙循環(huán)模式,可保證腐蝕速率隨時間維持恒定以提高腐蝕質(zhì)量和效率,也可解決低能氣相腐蝕系統(tǒng)中腐蝕不均勻、過腐蝕和表面玷污等關鍵問題。

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