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    電容薄膜真空計(jì)測(cè)量結(jié)果與溫度關(guān)系的實(shí)驗(yàn)研究

    2015-06-18 10:47:20王迪,馮焱,孫雯君
    真空與低溫 2015年4期
    關(guān)鍵詞:薄膜電容測(cè)量

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