微納米加工凈化間的環(huán)境維護(hù)與管理

郭黨委，馮娟娟

(蘭州大學(xué) 磁學(xué)與磁性材料教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,蘭州 730000)

·實(shí)驗(yàn)室建設(shè)與管理·

微納米加工凈化間的環(huán)境維護(hù)與管理

郭黨委，馮娟娟

(蘭州大學(xué) 磁學(xué)與磁性材料教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,蘭州 730000)

隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展，科研工作越來越需要與實(shí)際應(yīng)用相結(jié)合，因此國內(nèi)高校越來越多的建立起用于微納米刻蝕的凈化間，相應(yīng)的其維護(hù)管理操作規(guī)范的建立也很有必要。文中主要從凈化間的環(huán)境控制、運(yùn)行規(guī)范和人員管理等三個(gè)方面，討論和闡述了如何使其安全良好運(yùn)行，進(jìn)而確保制備樣品的質(zhì)量，為高?？蒲谢顒?dòng)提供保障。

高校；凈化間；維護(hù)；管理

近年來隨著我國綜合國力的不斷提高，國家在高科技領(lǐng)域的投入及支持力度逐年加大。高校作為教學(xué)科研的一個(gè)重要基地，越來越受到國家重視和大力支持，從而極大地推動(dòng)了高校學(xué)科建設(shè)和科研水平提升，相應(yīng)的也給高校實(shí)驗(yàn)室建設(shè)帶來了發(fā)展機(jī)遇[1-5]。同時(shí)隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展，科研活動(dòng)也需要更多地與實(shí)際應(yīng)用相結(jié)合，因此用于微納米刻蝕的凈化間也越來越多的高校中建立起來[6-7]。為此，蘭州大學(xué)根據(jù)學(xué)科發(fā)展需要，在學(xué)?！?85工程”經(jīng)費(fèi)的支持下，從2008年開始實(shí)施籌建微納米加工實(shí)驗(yàn)室。僅用三年時(shí)間，凈化間建設(shè)和曝光刻蝕設(shè)備調(diào)試驗(yàn)收完成，目前已對校內(nèi)外正常開放。

凈化間，顧名思義是指空氣經(jīng)過凈化的房間，它的設(shè)計(jì)建造是以減少室內(nèi)塵粒為目的，其他參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按照要求進(jìn)行控制。凈化間以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分潔凈程度，一般常用的為百級間、千級間和萬級間[8-11]。高校建立的微納米刻蝕凈化間主要是用于微納米級圖形及原理性器件的制備。一般來說，樣品刻蝕的質(zhì)量決定其特性表現(xiàn)，即樣品的制備是科研的基礎(chǔ)和關(guān)鍵，因此加強(qiáng)對凈化間的環(huán)境維護(hù)和管理，以保證其環(huán)境和功能良好運(yùn)行至關(guān)重要。

1 凈化間的環(huán)境控制

凈化間的潔凈環(huán)境主要是通過空氣的“過濾”來逐步實(shí)現(xiàn)和維持的，因此環(huán)境的控制管理是基礎(chǔ)，主要包含四個(gè)方面。

(2) 保持衛(wèi)生清潔。凈化間內(nèi)每天做完實(shí)驗(yàn)后應(yīng)該把實(shí)驗(yàn)桌面整理干凈，各種實(shí)驗(yàn)藥品和儀器記錄本按照規(guī)定擺放整齊；凈化間的衛(wèi)生應(yīng)該每天打掃一次，每月徹底打掃一次，盡可能地保持室內(nèi)衛(wèi)生潔凈。

(3)用于清洗基片的化學(xué)用實(shí)驗(yàn)臺應(yīng)與用于曝光和刻蝕的實(shí)驗(yàn)儀器放于不同的房間，以減少環(huán)境的變化對儀器尤其是曝光儀器的影響。

(3)定期對凈化間進(jìn)行空氣質(zhì)量檢測，針對檢測結(jié)果來進(jìn)一步確定維護(hù)程序。

2 運(yùn)行規(guī)范

(1)凈化間內(nèi)物品要擺放合理，便于操作；盡量減少室內(nèi)物品種類和個(gè)數(shù)，嚴(yán)格控制物品出入次數(shù)，要求物品在放入凈化間前一定要擦洗干凈，盡可能地減少外來物品引起的污染。

(2)凈化間內(nèi)工作要制定嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)流程和操作規(guī)范，同時(shí)明確區(qū)分潔污區(qū)域。

(3)凈化間的空調(diào)和過濾系統(tǒng)最好每天24 h運(yùn)行，這樣可以保持良好的室內(nèi)潔凈度。如果空調(diào)和過濾系統(tǒng)不能每天24 h連續(xù)運(yùn)行，那么就需要：每次進(jìn)入凈化間前30 min打開空調(diào)和過濾系統(tǒng)，使其連續(xù)運(yùn)行，盡可能地排盡污染顆粒，達(dá)到要求，保證空氣質(zhì)量[12-13]。

(4)要定期檢測空調(diào)和過濾系統(tǒng)的運(yùn)行情況，做好儀器的維護(hù)保養(yǎng)工作。每周要對抽風(fēng)和回風(fēng)口進(jìn)行清潔，要定期地對過濾器進(jìn)行檢查，一般情況下，初效和中效過濾器每六個(gè)月更換一次，高效過濾器每1～2年更換一次，以確?；覊m過濾效果，從而達(dá)到凈化間的潔凈度[7-8,10]。

3 人員管理

(1)嚴(yán)格控制人員進(jìn)出，盡可能地減少人員進(jìn)出次數(shù)。

(2)工作人員應(yīng)首先做到保持個(gè)人清潔衛(wèi)生，進(jìn)入凈化間內(nèi)不允許帶貴金屬、裝飾品及一切化妝品；凈化間內(nèi)嚴(yán)禁飲食；進(jìn)入凈化間時(shí)需要換鞋，穿戴整齊：超凈服、口罩、手套、鞋和帽子，尤其是長發(fā)女性，一定要用網(wǎng)套把頭發(fā)盤起來，然后戴上帽子，以免頭發(fā)暴露在凈化空氣中[7-8, 13]。

(3)凈化間內(nèi)所用記錄紙應(yīng)選用無塵紙，記錄用圓珠筆。

(4)工作人員進(jìn)出凈化間要隨手關(guān)門，凈化間的門要時(shí)刻保持關(guān)閉狀態(tài)。

(5)加強(qiáng)凈化間工作人員理論和技能培訓(xùn)，明確凈化間工作原理和環(huán)境維護(hù)要求，熟悉其維護(hù)基本知識，嚴(yán)格規(guī)范工作人員的行為和各項(xiàng)操作規(guī)章制度[7-8, 13-14]。

4 結(jié)束語

凈化間是采用空氣過濾凈化措施將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣和細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫度、濕度、壓力和氣流速度等控制在某一需求范圍內(nèi)而所特別設(shè)計(jì)和建造的房間?？諝鈨艋闹饕康木褪浅タ諝庵袘腋〉膲m埃微粒，從而創(chuàng)造一個(gè)干凈的工作環(huán)境，以保證制備出高質(zhì)量的產(chǎn)品。空氣凈化的程度取決于全過程和全方位的控制管理，因此做好其清潔管理和維護(hù)保養(yǎng)工作是非常必要的。同時(shí)唯有持續(xù)做好這方面的工作，使其保持良好的環(huán)境和功能，才能發(fā)揮其作用價(jià)值，制備出高品質(zhì)的產(chǎn)品，從而為高校的科研工作提供堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

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Environment Maintenance and Management of Cleaning Room for Micro-nano Fabrication

GUO Dangwei, FENG Juanjuan

(Key Laboratory for Magnetism and Magnetic Materials of the Ministry of Education, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China)

With the development of modern science and technology, more and more scientific research need to keep combined with practical application. Therefore, there are more and more cleaning rooms built for micro-nano fabrication in universities. Furthermore, it is necessary to formulate the operational regulations and management. In this article, it is discussed that how to make it operate normally and safely by the three aspects of environmental control, operational specification and personal management. Sequentially, it ensures the quality of samples and guarantees for scientific research in colleges and universities.

university; cleaning room; maintenance; management

2014-03-04

國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51202102)。

郭黨委(1982-)，男，博士，工程師，主要從事實(shí)驗(yàn)教學(xué)管理和微納米刻蝕過程研究工作。

G482

A

10.3969/j.issn.1672-4550.2015.01.056