常用新型柔性傳感器的研究進(jìn)展*

段建瑞，李 斌，李帥臻

(昆明理工大學(xué) 化學(xué)工程學(xué)院，云南 昆明650500)

0 引 言

目前，許多智能化的檢測(cè)設(shè)備已經(jīng)大量地采用了各種各樣的傳感器，其應(yīng)用早已滲透到諸如工業(yè)生產(chǎn)、海洋探測(cè)、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)學(xué)診斷、生物工程、宇宙開(kāi)發(fā)、智能家居等方方面面。傳感器在某種程度上可以說(shuō)是決定一個(gè)系統(tǒng)特性和性能指標(biāo)的關(guān)鍵部件［1］。隨著信息時(shí)代的應(yīng)用需求越來(lái)越高，對(duì)被測(cè)量信息的范圍、精度和穩(wěn)定情況等各性能參數(shù)的期望值和理想化要求逐步提高。針對(duì)特殊環(huán)境與特殊信號(hào)下氣體、壓力、濕度的測(cè)量需求，對(duì)普通傳感器提出了新的挑戰(zhàn)。

面對(duì)越來(lái)越多的特殊信號(hào)和特殊環(huán)境，新型傳感器技術(shù)已向以下趨勢(shì)發(fā)展:開(kāi)發(fā)新材料、新工藝和開(kāi)發(fā)新型傳感器;實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化和智能化;實(shí)現(xiàn)傳感技術(shù)硬件系統(tǒng)與元器件的微小型化;與其它學(xué)科的交叉整合的傳感器［2］。同時(shí)，希望傳感器還能夠具有透明、柔韌、延展、可自由彎曲甚至折疊、便于攜帶、可穿戴等特點(diǎn)。隨著柔性基質(zhì)材料的發(fā)展，滿(mǎn)足上述各類(lèi)趨勢(shì)、特點(diǎn)的柔性傳感器在此基礎(chǔ)上應(yīng)運(yùn)而生。

本文重點(diǎn)介紹新型柔性氣體、壓力、濕度傳感器的結(jié)構(gòu)、工藝與性能等的研究進(jìn)展。

1 常用柔性傳感器的特點(diǎn)與分類(lèi)

1.1 柔性傳感器的特點(diǎn)

柔性材料是與剛性材料相對(duì)應(yīng)的概念，一般，柔性材料具有柔軟、低模量、易變形等屬性。常見(jiàn)的柔性材料有:聚乙烯醇(PVA)、聚酯(PET)、聚酰亞胺(PI)、聚萘二甲酯乙二醇酯(PEN)、紙片、紡織材料等。而柔性傳感器則是指采用柔性材料制成的傳感器，具有良好的柔韌性、延展性、甚至可自由彎曲甚至折疊，而且結(jié)構(gòu)形式靈活多樣，可根據(jù)測(cè)量條件的要求任意布置，能夠非常方便地對(duì)復(fù)雜被測(cè)量進(jìn)行檢測(cè)［3］。新型柔性傳感器在電子皮膚、醫(yī)療保健、電子電工、運(yùn)動(dòng)器材、紡織品、航天航空、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域受到廣泛應(yīng)用［4］。

1.2 柔性傳感器的分類(lèi)

柔性傳感器種類(lèi)較多，分類(lèi)方式也多樣化。按照用途分類(lèi)，柔性傳感器包括柔性壓力傳感器、柔性氣體傳感器、柔性濕度傳感器、柔性溫度傳感器、柔性應(yīng)變傳感器、柔性磁阻抗傳感器和柔性熱流量傳感器等;按照感知機(jī)理分類(lèi)，柔性傳感器包括柔性電阻式傳感器、柔性電容式傳感器、柔性壓磁式傳感器和柔性電感式傳感器等［5］。

現(xiàn)針對(duì)技術(shù)相對(duì)成熟，使用范圍較廣的常用柔性氣體傳感器、柔性壓力傳感器和柔性濕度傳感器三類(lèi)研究進(jìn)展做出概括介紹。

2 常用新型柔性傳感器

2.1 柔性基底

常用柔性傳感器大多采用PI，PET，或者PEN 作為器件的柔性基底。

PI 是綜合性能最佳的有機(jī)高分子材料之一，有很好的機(jī)械性能，抗張強(qiáng)度均在100 MPa 以上，其介電常數(shù)不高于3.5，特殊處理后，可以低于2.5，介電強(qiáng)度保持在100 ～300 kV/mm。耐溫點(diǎn)可達(dá)到250 ℃且可長(zhǎng)期使用，無(wú)明顯熔點(diǎn)。PI 還具有優(yōu)良的耐輻射性能、耐化學(xué)藥品性，一般不溶于有機(jī)溶劑，對(duì)稀酸穩(wěn)定，耐水解性能稍差。

PET 是一種飽和的熱塑性聚合物，使用溫度在－70～150 ℃，長(zhǎng)期使用溫度可達(dá)120 ℃，具有很好的光學(xué)性，耐油、脂肪、稀酸、稀堿，耐大多數(shù)溶劑，優(yōu)良的耐磨耗摩擦性、尺寸穩(wěn)定性和電絕緣性，價(jià)格低、產(chǎn)量大、機(jī)械性能好、表面平滑且有光澤。

PEN 是一種新興的優(yōu)良聚合物，其化學(xué)結(jié)構(gòu)與PET 相似，不同之處在于，PEN 分子鏈中用剛性更大的萘環(huán)代替了苯環(huán)。萘環(huán)結(jié)構(gòu)使PEN 比PET 具有更高的物理機(jī)械性能、氣體阻隔性能(對(duì)水汽的阻隔性是PET 的3～4 倍，對(duì)氧氣和二氧化碳的阻隔性是PET 的4～5 倍，對(duì)水的阻隔性是PET 的3.5 倍)，分子中萘環(huán)的引入提高了大分子的芳香度，使得PEN 比PET 表現(xiàn)出更為優(yōu)良的耐熱性能(熔點(diǎn)為265 ℃，玻璃化溫度為120 ℃以上，長(zhǎng)期使用溫度高達(dá)160 ℃)，同時(shí)具備耐紫外線、耐輻射性能(PEN 可阻隔小于380 nm 的紫外線，真空中和氧氣中耐放射線的能力分別可達(dá)PET 的10 倍和4 倍)等優(yōu)良的特點(diǎn)［6］。

2.2 薄膜材料

常用柔性傳感器敏感材料通常以薄膜的形式應(yīng)用在傳感器上。根據(jù)被測(cè)量信息的不同需求，常用薄膜材料有金屬薄膜、導(dǎo)電氧化物薄膜、納米復(fù)合薄膜等。

金屬薄膜既可保留基底柔軟、易彎曲等特性，還可明顯改變其表面特性，賦予其各種新的功能，例如:纖維傳感器、隔熱膜、導(dǎo)電膜和增透膜等各種高技術(shù)與高性能的功能薄膜。在柔性基底上沉積金屬膜制備各式功能薄膜法主要集中在化學(xué)電鍍法、真空蒸鍍法和磁控濺射法［7］。

透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜，既具有可見(jiàn)光范圍光學(xué)透明性，又具有良好的導(dǎo)電性，有可折疊、重量輕、不易碎、便于運(yùn)輸、易于大面積生產(chǎn)及設(shè)備投資少等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于光電領(lǐng)域。銦錫氧化物(ITO)薄膜是最常用的透明導(dǎo)電氧化物薄膜，其具有高可見(jiàn)光透射率(80%)和高紅外反射率，低電阻率(可低達(dá)10－4Ω·cm)。最近，鎵或鋁摻雜ZnO(GZO 或AZO)薄膜也已被廣泛地研究和應(yīng)用在如平板顯示器、太陽(yáng)能電池、觸摸屏和LED 等器件。

納米材料在傳感器上的使用最初是以超微顆粒為主，近年來(lái)，低維材料、陣列材料及其它組裝材料的使用比重逐漸增大，如碳納米粉復(fù)合膜［8］、碳納米管復(fù)合膜［9］、碳納米管/炭黑/硅橡膠復(fù)合陣列［10］等。

除少部分柔性傳感器薄膜材料與電極為一體外，組成常用柔性傳感器的主要構(gòu)件還有電極材料，根據(jù)柔性傳感器的使用要求，它們有著不同的材料及其制作工藝，下文將會(huì)分別介紹。常用柔性傳感器有著相似的典型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原理，如圖1 所示。

圖1 柔性傳感器典型設(shè)計(jì)Fig 1 Typical design of flexible sensor

2.3 柔性氣體傳感器

柔性氣體傳感器在電極表面布置對(duì)氣體敏感的薄膜材料，其基底是柔性的，具備輕便、柔韌易彎曲，可大面積制作等特點(diǎn)，薄膜材料也具備更高的敏感性和相對(duì)簡(jiǎn)便的制作工藝而備受關(guān)注。這很好地滿(mǎn)足了特殊環(huán)境下氣體傳感器的便攜、低功耗等需求，打破了以往氣體傳感器不易攜帶、測(cè)量范圍不全面、量程小、成本高等不利因素，可對(duì)NH3、NO2、乙醇?xì)怏w進(jìn)行簡(jiǎn)單精確的檢測(cè)，從而引起了人們的廣泛關(guān)注。

詹爽等人采用PI 做為柔性基底，在該基底的表面用電子束蒸發(fā)的方法制作電極，分別以SnO2—PDDAC(聚二甲基二烯丙基氯化銨)作為敏感材料，該材料在常溫下即能達(dá)到使用需求，打破了以往傳感器需要加熱的束縛，制備出了室溫柔性乙醇?xì)怏w傳感器，該SnO2—PDDAC 傳感器在室溫下對(duì)乙醇具有較好的響應(yīng)特性，對(duì)乙醇濃度的檢出限為10×10－6，對(duì)150×10－6的乙醇?xì)怏w，SnO2—PDDAC 傳感器的響應(yīng)為71.6%，SnO2傳感器的響應(yīng)靈敏度為15.5%，SnO2—PDDAC 傳感器比SnO2傳感器具有更高的響應(yīng)［11］。

王振平等人利用印制式技術(shù)制作出電阻型半導(dǎo)體的氮氧化合物傳感器，該傳感器的敏感薄膜是將Ag 納米粒子分散在氧化石墨烯(RGO)中，采用濕化學(xué)法制備出Ag—S—RGO 復(fù)合物。其長(zhǎng)、寬和高分別為50，48，500 nm。制作好的印制式石墨烯基NO2氣體感器，彎曲半徑為1 cm，測(cè)試彎次數(shù)1 000 次時(shí)，當(dāng)NO2濃度為500×10－6時(shí)，靈敏度為3.4%，當(dāng)濃度為50×10－6時(shí)，靈敏度增加到74.6%。此時(shí)該傳感器依舊表現(xiàn)出良好的工作性能，說(shuō)明其具有非常好的柔韌性［12］。

Ryu G S 等人利用PEN 作為基底，研制出了基于P 型半導(dǎo)體聚合物柔性NH3氣體傳感器，該傳感器在彎曲半徑為8.3 mm，連續(xù)彎曲1 200 次依舊保持較好的靈敏度和穩(wěn)定性，具有成本低、可大面積加工、柔性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)［13］。Pi—Guey Su 等人用多層自組裝的多壁碳納米管為敏感材料制備了柔性NO2氣體傳感器，在室溫下對(duì)NO2氣體進(jìn)行檢測(cè)，最低可以檢測(cè)到1×10－6的NO2氣體［14］。Rizzo G 等人用全有機(jī)的十二烷基苯磺酸摻雜聚苯胺做為敏感膜，制備了柔性NH3傳感器，在室溫下對(duì)氨氣進(jìn)行檢測(cè)，這種全有機(jī)電子元件的可印染性滿(mǎn)足了大規(guī)模制造的要求，而且制造成本低廉［15］。Arena A 等人用光面紙作為柔性襯底，制備了室溫柔性乙醇?xì)怏w傳感器，這種柔性傳感器在未來(lái)可以固定在汽車(chē)的方向盤(pán)上，為自動(dòng)檢測(cè)酒駕提供了可能性［16］。

2.4 柔性壓力傳感器

柔性壓力傳感器在智能服裝、智能運(yùn)動(dòng)、機(jī)器人“皮膚”等方面有廣泛運(yùn)用。聚偏氟乙烯、硅橡膠、聚酰亞胺等作為其基底材料已廣泛用于柔性壓力傳感器的制作，它們有別于采用金屬應(yīng)變計(jì)的測(cè)力傳感器和采用n 型半導(dǎo)體芯片的擴(kuò)散型普通壓力傳感器，具有較好的柔韌性、導(dǎo)電性及壓阻特性。

余建平等人提出了一種能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)z 向壓力與x，y向剪切力測(cè)量的新型三維柔性電容觸覺(jué)傳感陣列?；谌嵝杂∷㈦娐钒?FPCB)的感應(yīng)電極層和基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)的浮動(dòng)電極層，將脆弱的接口電路加工在底部的感應(yīng)電極層上，大幅提高傳感陣列的撓曲剛度。所設(shè)計(jì)的柔性電容觸覺(jué)傳感陣列在x，y，z 方向上的理論靈敏度分別為1.0，0.8%/nm［17］。衣衛(wèi)京等人將碳系導(dǎo)電復(fù)合材料涂覆到針織面料后形成的導(dǎo)電針織面料，其具有明顯的壓阻性能。在0～3 kPa 的壓力范圍內(nèi)該導(dǎo)電針織面料的壓力與電阻關(guān)系呈現(xiàn)良好的線性關(guān)系，且具有良好的重復(fù)性。該面料可以用于智能服裝、柔性人臺(tái)等的壓力測(cè)量，對(duì)于可穿戴設(shè)備的研究具有一定意義［18］。

Sekitani T 等人利用PEN 作為柔性襯底，有機(jī)材料作為導(dǎo)電層制作得到的浮柵型存儲(chǔ)器具有良好的性能，制作的柔性壓力感知陣列也具有較高的分辨率［19］。So H M 等人在垂直排列的碳納米管排列中嵌入PDMS 電極層制作出柔性壓力傳感器，能模擬觸覺(jué)傳感功能，可用于機(jī)器人“皮膚”研究［20］。

2.5 柔性濕度傳感器

濕度傳感器主要有電阻式、電容式兩大類(lèi)。濕敏電阻器特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸汽吸附在感濕膜上時(shí)，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化，利用這一特性即可測(cè)量濕度。濕敏電容器一般是用高分子薄膜制成，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪酸醋酸纖維等。

濕度傳感器正從簡(jiǎn)單的濕敏元件向集成化、智能化、多參數(shù)檢測(cè)的方向迅速發(fā)展，傳統(tǒng)的干濕球濕度計(jì)或毛發(fā)濕度計(jì)已無(wú)法滿(mǎn)足現(xiàn)代科技發(fā)展的需要。柔性濕度傳感器以低成本、低能耗、易于制造和易集成到智能系統(tǒng)制造等優(yōu)點(diǎn)已被廣泛研究。制作該類(lèi)傳柔性濕度傳感器的基底材料與其他柔性傳感器類(lèi)似，制造濕度敏感膜的方法也有很多，包括浸涂［21］、旋轉(zhuǎn)涂料［22］、絲網(wǎng)印刷和噴墨印刷［23］等。

Mahadeva S K 等人用纖維素—聚吡咯納米復(fù)合材料制得了柔性溫濕度傳感器，該傳感器的敏感膜是利用吡咯在纖維素膜表面聚合生長(zhǎng)的方法制得的，對(duì)溫濕度的檢測(cè)具有良好的響應(yīng)—恢復(fù)特性和可重復(fù)性［24］。Reddy A S G 等人研制了一種印制式柔性濕度傳感器濕度傳感器，其采用叉指電容器(IDC)印刷銀納米顆粒在油墨上，采用印刷工藝成功制備了以柔性PET 作為柔性襯底的新型電容式柔性濕度傳感器，其濕程測(cè)范圍30%～80%RH［25］。Su Pi—Guey 等人利用鎵摻雜氧化鋅(GZO)作為電極，透明有機(jī)共聚物(聚甲基丙烯酸甲酯/MAPTAC)作為敏感膜，制作出一種新型全透明的濕度傳感器，該傳感器具有較高的透光率和良好的柔韌性，響應(yīng)時(shí)間、恢復(fù)時(shí)間良好，具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性(最少55 天)。對(duì)于未來(lái)有源或無(wú)源器件、透明傳感器等集成的透明電路發(fā)展是一個(gè)新的趨勢(shì)［26］。同時(shí)，該團(tuán)隊(duì)最近采用溶膠凝膠法制備出一種柔性阻抗式濕度傳感器。該傳感器基于金納米離子/氧化石墨烯/巰基氧基硅的敏感膜新型阻抗式濕度傳感器，以PET 作為柔性基底。濕程測(cè)范圍達(dá)能達(dá)到20%～90%RH。其中金納米粒子的自組裝提高了電導(dǎo)率，從而提高了靈敏度和線性度，使?jié)穸葴y(cè)量又到達(dá)了一個(gè)新的高效、精確水平［27］。

3 普通傳感器與柔性傳感器對(duì)比分析

普通傳感器與柔性傳感器對(duì)比分析如表1 所示。普通傳感器其硬脆的性質(zhì)使電子器件難以進(jìn)行彎曲或延展，一旦有較大變形將導(dǎo)致電子器件損壞，因此，測(cè)量范圍也受到較大影響。碳納米管、石墨烯、高分子膜、高分子電解質(zhì)和有機(jī)聚合物等更多性能優(yōu)越的材料將被逐漸應(yīng)用于已經(jīng)成熟的柔性傳感器，其延展性和其他性能將會(huì)有較大程度的提高。利用這些新材料制作的柔性傳感器將能適應(yīng)更復(fù)雜的不平整表面，擴(kuò)大了傳感器的應(yīng)用范圍。

表1 普通傳感器與柔性傳感器比較Tab 1 Comparison of ordinary and flexible sensors

4 結(jié)束語(yǔ)

柔性傳感器結(jié)構(gòu)形式靈活多樣，可根據(jù)測(cè)量條件的要求任意布置，能夠非常方便地對(duì)特殊環(huán)境與特殊信號(hào)進(jìn)行精確快捷測(cè)量，解決了傳感器的小型化、集成化、智能化發(fā)展問(wèn)題，這些新型柔性傳感器在電子皮膚、生物醫(yī)藥、可穿戴電子產(chǎn)品和航空航天中有重要作用。但目前對(duì)于碳納米管和石墨烯等用于柔性傳感器的材料制備技術(shù)工藝水平還不成熟，也存在成本、適用范圍、使用壽命等問(wèn)題。常用柔性基底存在不耐高溫的缺點(diǎn)，導(dǎo)致柔性基底與薄膜材料間應(yīng)力大、粘附力弱。柔性傳感器的組裝、排列、集成和封裝技術(shù)也還有待進(jìn)一步提高［33］。

［1］ 孫圣和.現(xiàn)代傳感器發(fā)展方向［J］.電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào)，2009，23(1):1－10.

［2］ 陸 遙.傳感器技術(shù)的研究現(xiàn)狀與發(fā)展前景［J］.科技信息，2009(19):31－32，35.

［3］ 王 鈺，李 斌.柔性觸覺(jué)傳感器主要技術(shù)［J］.傳感器與微系統(tǒng)，2012，31(12):1－4，8.

［4］ 劉 敏，莊勤亮.智能柔性傳感器的應(yīng)用及其發(fā)展前景［J］.紡織科技進(jìn)展，2009(1):38－40，42.

［5］ 李龍飛.基于信息纖維的柔性傳感器理論與應(yīng)用研究［D］.上海:東華大學(xué)，2010.

［6］ 劉 丹，黃友奇.可用于沉積透明導(dǎo)電氧化物薄膜的柔性襯底研究進(jìn)展［J］.材料導(dǎo)報(bào)，2012，26(23):43－46.

［7］ 江 強(qiáng)，周細(xì)應(yīng)，毛秀娟，等.柔性基底沉積金屬薄膜及其應(yīng)用［J］.熱加工工藝，2013，42(8):18－20，23.

［8］ 王 鵬，徐 峰，丁天懷，等.柔性壓阻碳復(fù)合膜的制備及其特性［J］.清華大學(xué)學(xué)報(bào):自然科學(xué)版，2003，43(11):1480－1482.

［9］ 馬 璀，鄭志祥，柳娟娟，等.原位聚合法制備高導(dǎo)電石墨烯－碳納米管/聚酰亞胺柔性復(fù)合膜［J］.寧夏大學(xué)學(xué)報(bào):自然科學(xué)版，2014(3):235－240.

［10］郭小輝，黃 英，袁海濤，等.柔性復(fù)合傳感器陣列信號(hào)采集及溫度補(bǔ)償系統(tǒng)［J］.電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào)，2014(11):1254－1261.

［11］詹 爽.室溫柔性氣體傳感器及相關(guān)材料的研究［D］.青島:青島科技大學(xué)，2013.

［12］王振平.印制式石墨烯基氮氧化物氣體傳感器的研究［D］.上海:上海師范大學(xué)，2014.

［13］Ryu G S，Park K H，Park W T，et al.High－performance diketopyrrolopyrrole－based organic field－effect transistors for flexible gas sensors［J］.Organic Electronics，2015(23):76－81.

［14］Su Pi－Guey，Lee Chi－Ting，Chou Cheng－Yi，et al.Sensors by layerby－layer self－assembly of multi－walled carbon nanotubes and their gas sensing properties［J］.Sensors＆Actuators B:Chemical，2009，139(2):488－493.

［15］Rizzo G，Arena A，Donato N，et al.Flexible，all－organic ammonia sensor based on dodecylbenzene sulfonic acid－doped polyaniline films［J］.Thin Solid Films，2010，518(23):7133－7137.

［16］Arena A，Donato N，Saitta G，et al.Flexible ethanol sensors on glossy paper substrates operating at room temperature［J］.Sensors＆Actuators B:Chemical，2010，145:488－494.

［17］余建平，張玉良，周兆忠，等.浮動(dòng)電極式三維柔性電容觸覺(jué)傳感陣列設(shè)計(jì)［J］.儀表技術(shù)與傳感器，2015(5):11－13，41.

［18］衣衛(wèi)京，鄭 嶸，顧遠(yuǎn)淵，等.導(dǎo)電針織面料在微小壓力下的壓阻性能研究［J］.針織工業(yè)，2014(9):12－14.

［19］Sekitani T，Yokota T，Zschieschang U，et al.Organic nonvolatile memory transistors for flexible sensor arrays［J］.Science，2009，326(5959):1516－1519.

［20］So H M，Jin W S，Kwon J，et al.Carbon nanotube－based pressure sensor for flexible electronics［J］.Materials Research Bulletin，2013，48(12):5036－5039.

［21］Yamazoe N，Shimizu Y.Humidity sensors:Principles and applications［J］.Sensors＆Actuators，1986，10(86):379－398.

［22］Su P G，Chen I C，Wu R J.Use of poly(2－acrylamido－2－methylpropane sulfonate)modified with tetraethyl orthosilicate as sensing material for measurement of humidity［J］.Analytica Chimica Acta，2001，449(1/2):103－109.

［23］Lee C W，Nam D H，Han Y S，et al.Humidity sensors fabricated with polyelectrolyte membrane using an ink－jet printing technique and their electrical properties［J］.Sensors ＆ Actuators B:Chemical，2005，109(2):334－340.

［24］Mahadeva S K，Yun S，Kim J.Flexible humidity and temperature sensor based on cellulose－polypyrrole nanocomposite［J］.Sensors＆Actuators A:Physical，2011，165(2):194－199.

［25］Reddy A S G，Narakathu B B，Atashbar M Z，et al.Fully printed flexible humidity sensor［J］.Procedia Engineering，2011，25(35):120－123.

［26］Su P G，Tseng J Y，Huang Y C，et al.Novel fully transparent and flexible humidity sensor［J］.Sensors＆Actuators B:Chemical，2009，137(2):496－500.

［27］Su Pi－Guey，Shiu Wei－Luen，Tsai Meng－Shian.Flexible humidity sensor based on Au nanoparticles/graphene oxide/thiolated silica sol－gel film［J］.Sensors＆Actuators B:Chemical，2015，261:467－475.

［28］尹福炎，王成林.金屬電阻材料的物性及其在應(yīng)變片和傳感器技術(shù)中的應(yīng)用(1)［J］.金屬材料研究，2002(1):20－27.

［29］劉海軍，蔣洪川，吳 勐，等.陶瓷基Pt/ITO 薄膜熱電偶的制備與性能研究［J］.傳感器與微系統(tǒng)，2015，34(3):18－20.

［30］李 成.陶瓷材料的發(fā)展［J］.科技與創(chuàng)新，2015(1):40－41.

［31］Forrest Stephen.The path to ubiquitous and low－cost organic electronic appliances on plastic［J］.Nature，2004，428(6986):911－918.

［32］Li C，Wu P M，Shutter L A，et al.Dual－mode operation of flexible piezoelectric polymer diaphragm for intracranial pressure measurement［J］.Applied Physics Letters，2010，96(5):053502—2－053502—3.

［33］劉 旭，呂延軍，王龍飛，等.可延展柔性電子技術(shù)研究進(jìn)展［J］.半導(dǎo)體技術(shù)，2015(3):161－166，226.