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    MgAl/PbPc/Cu有機(jī)薄膜二極管的制備與氣敏特性分析
    
                
    2015-01-04 13:42:37王東興等
    
                
    關(guān)鍵詞：肖特基酞菁氣敏
    
                    
    王東興等
    摘要：選用酞菁鉛作為有機(jī)半導(dǎo)體氣敏材料，用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件，所制備薄膜二極管的結(jié)構(gòu)為MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半導(dǎo)體測試儀與氣敏測量系統(tǒng)分析器件肖特基二極管的氣敏特性，通過對電流一電壓特性的實測數(shù)據(jù)進(jìn)行深入的理論分析，比較出器件對不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint
    摘要：選用酞菁鉛作為有機(jī)半導(dǎo)體氣敏材料，用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件，所制備薄膜二極管的結(jié)構(gòu)為MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半導(dǎo)體測試儀與氣敏測量系統(tǒng)分析器件肖特基二極管的氣敏特性，通過對電流一電壓特性的實測數(shù)據(jù)進(jìn)行深入的理論分析，比較出器件對不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint
    摘要：選用酞菁鉛作為有機(jī)半導(dǎo)體氣敏材料，用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件，所制備薄膜二極管的結(jié)構(gòu)為MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半導(dǎo)體測試儀與氣敏測量系統(tǒng)分析器件肖特基二極管的氣敏特性，通過對電流一電壓特性的實測數(shù)據(jù)進(jìn)行深入的理論分析，比較出器件對不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint
    

    
                        
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