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    微納光纖耦合應(yīng)變傳感器

    2021-07-02 09:29:06彭保進(jìn)李連琴馬倩倩王夢(mèng)嬌王增輝
    光學(xué)精密工程 2021年5期
    關(guān)鍵詞:譜線靈敏度線性

    彭保進(jìn),李連琴,馬倩倩,王夢(mèng)嬌,王增輝

    (浙江師范大學(xué)信息光學(xué)研究所,浙江金華321004)

    1 引 言

    光纖耦合器是一種對(duì)光波長(zhǎng)、偏振光和光功率的比例分配與合成的重要無源器件。在波導(dǎo)中傳輸?shù)墓庑盘?hào)在耦合區(qū)域發(fā)生交替轉(zhuǎn)移,首先在纖芯內(nèi)傳輸?shù)墓鈺?huì)向包層擴(kuò)散,然后通過包層耦合到旁邊的光纖內(nèi),即光信號(hào)從直通臂耦合到耦合臂中[1-2]。光纖耦合應(yīng)變傳感器具有體積小、靈敏度高、抗電磁干擾、可遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)和成本低等優(yōu)點(diǎn),相比傳統(tǒng)體積較大的光學(xué)儀器更易于實(shí)現(xiàn)小型化和便攜化[3-6],因此,近年來成為研究熱點(diǎn)。

    應(yīng)變測(cè)量在大型建筑結(jié)構(gòu)的安全控制和航空航天領(lǐng)域起到非常重要的作用[7-9]。目前,研究人員已經(jīng)開發(fā)了各種類型的光纖結(jié)構(gòu)用于應(yīng)變傳感,如光纖布拉格光柵(Fiber Bragg Grating,F(xiàn)BG)[10-11]、長(zhǎng)周期光柵[12-13]、光子晶體光纖(Photonic Crystal Fiber,PCF)[14]。Kuwahara 等人將多根多模光纖纏繞在一起,同時(shí)把耦合區(qū)浸沒在匹配液中,通過這種方法成功研制出世界上第一個(gè)光纖耦合器[15]。Yamamoto 等人利用化學(xué)腐蝕的方法,完成了錐形結(jié)構(gòu)光纖耦合器的制作[16]。Kawasaki 和Hill 把熔融和拉伸兩種工藝結(jié)合在一起,首次成功制作了熔錐型耦合器[17]。Sun 等人提出了一種自動(dòng)電弧放電技術(shù),通過使用商業(yè)融合成螺旋形地扭曲的長(zhǎng)周期光纖光柵(H-LPFGs)[18],結(jié)構(gòu)的軸向應(yīng)變靈敏度大約為1.88 pm/με,而拉伸應(yīng)變?chǔ)苔?從0 提高到480。Dash 等人報(bào)道一個(gè)緊湊的石墨烯氧化物(去)涂覆PCF干涉儀,基于簡(jiǎn)單的裂開和拼接SMF 和PCF 的應(yīng)變傳感器[19],這種傳感器的靈敏度為3.1 pm/με。Duan 等人證明了全光纖光學(xué)FPI 應(yīng)變傳感器的腔是一個(gè)微小的氣泡,應(yīng)變靈敏度約為4 pm/με[20]。陳劍等人研究了一種玻璃纖維封裝的FBG 應(yīng)變傳感器[21],這種傳感器的靈敏度為1.195 pm/με。2020 年,郝子鑒等人提出一種基于拉錐FBG 的法布里-珀羅應(yīng)變傳感器的仿真研究[22],在0~300 με 內(nèi)應(yīng)變傳感靈敏度為7.05 pm/με。

    然而,上述傳感器的靈敏度較低,并且制作工藝復(fù)雜。本文提出一種高靈敏度的微納光纖耦合應(yīng)變傳感器,采用拉錐技術(shù)和光電技術(shù),利用拉錐后的強(qiáng)倏逝場(chǎng)特性,探究其傳光特性,并進(jìn)行實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)。該傳感器性能良好,具有制作工藝簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性好和集成度高等特點(diǎn),在安全檢測(cè)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值。

    2 傳感器制作及原理分析

    2.1 傳感器的制備

    采用光纖拉錐機(jī)制作微納光纖,將一根單模光纖(型號(hào):G652D)與光源和光譜儀連接,剝掉中間部分約2 cm 長(zhǎng)的涂覆層,用無塵紙蘸取少量酒精搽拭干凈,將單模光纖放置在拉錐平移臺(tái)上。再取用一段單模光纖(長(zhǎng)度約為9 cm),同樣將光纖中間剝掉約2 cm 長(zhǎng)的涂覆層,將兩根光纖放在拉錐平臺(tái)的通道中并進(jìn)行打結(jié)(如圖1(a)所示)。利用微納光纖以及常規(guī)光纖3 dB 耦合器研制技術(shù),制作出微光纖耦合器,其結(jié)構(gòu)示意圖如圖1(b)所示。微光纖耦合器的組成部分可分為兩個(gè)錐形過渡區(qū)和一個(gè)中間均勻腰區(qū),并帶有4個(gè)尾纖端口。該傳感器的制作是在長(zhǎng)度為2.5 cm 左右的范圍內(nèi)纏繞2~3 圈,光纖具有較好的抗拉性。

    2.2 傳感原理

    圖1 光纖拉錐耦合結(jié)構(gòu)示意圖Fig. 1 Schematic diagram of fiber optic tapering coupling structure

    微納光纖耦合傳感器如圖1(b)所示,拉錐后的耦合器可分為強(qiáng)耦合區(qū)和弱耦合區(qū)。運(yùn)用模式耦合理論進(jìn)行分析,兩根光纖中傳輸?shù)墓鈺?huì)在錐區(qū)部分進(jìn)行能量耦合交換。隨著耦合區(qū)的加長(zhǎng),能量的耦合交換呈現(xiàn)周期性變化[23]。

    耦合模理論廣泛地應(yīng)用于光波導(dǎo)和波導(dǎo)器件的分析和設(shè)計(jì)中[24-26]。在逐漸拉錐光纖的過程中,光的模場(chǎng)耦合非常劇烈,此時(shí)可以忽略光纖纖芯。在耦合部分將原光纖包層視為纖芯,周圍環(huán)境視為包層,形成一個(gè)新的復(fù)合波導(dǎo),此時(shí)強(qiáng)融合系數(shù)的表達(dá)式為[27-28]:

    其次,在弱融模式下,熔錐形單模光纖耦合器的耦合系數(shù)表示式可以簡(jiǎn)化成[27]:

    強(qiáng)耦合系數(shù)和弱耦合系數(shù)沿z軸的積分在耦合區(qū)可以確定入射光通過的光纖與耦合光通過的光纖之間的相位差,并表示為[27]:

    對(duì)于測(cè)試傳感器的應(yīng)變響應(yīng)性能,不同應(yīng)變參數(shù)使耦合器的耦合區(qū)產(chǎn)生應(yīng)變,進(jìn)而導(dǎo)致耦合器的耦合長(zhǎng)度和折射率發(fā)生變化。考慮耦合區(qū)長(zhǎng)度Leff的變化對(duì)耦合輸出的影響。應(yīng)變后傳感器的耦合輸出可以表示為[29-31]:

    2.3 實(shí)驗(yàn)裝置

    首先,將兩端單模光纖通過光纖熔接機(jī)進(jìn)行放電熔接,然后將兩根單模光纖置于拉錐平臺(tái)(型號(hào):IPCS-5000-SMT)上,圖2 是制備的微納光纖操作圖。通過電腦控制步進(jìn)電機(jī),觀察電腦上設(shè)置的氫氣流量參數(shù)是否與氫氣發(fā)生器一致,點(diǎn)燃?xì)錃?,在電腦端設(shè)置所需數(shù)據(jù)參數(shù),待火焰穩(wěn)定后啟動(dòng)光纖拉錐機(jī)。

    圖2 微納光纖拉制系統(tǒng)示意圖Fig. 2 Schematic diagram of micro-nano fiber drawing system

    圖3 為高靈敏度光纖耦合應(yīng)力傳感器的實(shí)驗(yàn)裝置。將制作好的光纖耦合器采用M-Bond 600型黏結(jié)劑粘在楊氏模量?jī)x的鋼絲上,將傳感器的兩端分別連接寬帶光源和光譜儀。待楊氏模量?jī)x的鋼絲達(dá)到平衡后,依次增加砝碼質(zhì)量,觀察光譜儀的譜線變化并記錄數(shù)據(jù)。砝碼質(zhì)量與光纖應(yīng)變的關(guān)系表示為[32]:

    式中:m是砝碼的質(zhì)量,g是重力常數(shù),S是鋼絲的橫截面積,Y是鋼絲的楊氏模量,ε是光纖應(yīng)變。

    圖3 高靈敏度光纖耦合應(yīng)力傳感器實(shí)驗(yàn)裝置示意圖Fig. 3 Schematic diagram of experimental devices for high-sensitive optical fiber coupled stress sensor

    3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及數(shù)據(jù)分析

    圖4 所示是在顯微鏡下拉錐后的光纖圖像,從圖中可以看出均勻腰區(qū)已基本熔錐成一根微光纖。圖4(a)的拉錐長(zhǎng)度為40 mm,耦合直徑為18.961 μm;圖4(b)的拉錐長(zhǎng)度為41 mm,耦合直徑為13.343 μm。圖5 所示是光纖拉錐前后的干涉光譜,當(dāng)拉錐長(zhǎng)度為40 mm 時(shí),自由光譜范圍為13.485 nm,消光比分別為15.777,12.986 dBm;拉錐長(zhǎng)度為41 mm 時(shí),自由光譜范圍分別為9.259 7,8.450 6 nm,消光比分別為12.869,10.866 dBm。實(shí)驗(yàn)表明,通過減小耦合器耦合部分的尺寸,提高了傳感器的靈敏度。錐區(qū)長(zhǎng)度越長(zhǎng),干涉譜的自然光譜范圍和消光比越小,得到[7]:

    式中:Δλ是兩個(gè)相鄰波谷之間的距離,Δneff是纖芯和包層之間的有效折射率之差,L是干涉儀的干涉長(zhǎng)度。

    圖4 不同拉錐長(zhǎng)度的光纖顯微鏡圖像Fig. 4 Microscope images of optical fiber with different pulling cone lengths

    圖6(a)所示是不同應(yīng)變?cè)诶F長(zhǎng)度為40 mm 時(shí)的透射光譜。當(dāng)傳感器的縱向應(yīng)變逐漸增加時(shí),干涉譜線發(fā)生藍(lán)移。當(dāng)應(yīng)變?yōu)?09.860 με~559.287 με 時(shí),對(duì)干涉譜中的波谷進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,3 個(gè)波谷的線性擬合結(jié)果如圖7(a)所示。從圖中可以看出,傳感器dip1 的靈敏度為16.2 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)為99.9%;傳感器dip2 的靈敏度為15.7 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)為99.84%;傳感器dip3 的靈敏度為18.9 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)為99.98%。由此可知,該傳感器具有線性度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。

    圖5 不同拉錐長(zhǎng)度光纖的透射光譜Fig. 5 Transmission spectra of optical fiber with different pulling cone lengths

    圖6 不同應(yīng)變下光纖的透射光譜Fig. 6 Transmission spectrogram of optical fiber under different strains

    圖7 應(yīng)變與波長(zhǎng)的擬合關(guān)系Fig. 7 Fitting curves of strain and wavelength

    圖6(b)所示是不同應(yīng)變?cè)诶F長(zhǎng)度為41 mm 時(shí)的透射光譜。當(dāng)傳感器的縱向應(yīng)變逐漸增加時(shí),干涉譜線發(fā)生藍(lán)移。當(dāng)應(yīng)變?cè)?09.860 με~559.287 με 變化時(shí),譜線發(fā)生明顯的漂移,該傳感器具有很好的響應(yīng)性。數(shù)據(jù)處理結(jié)果如圖7(b)所示,傳感器dip1 的靈敏度為19.9 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)為99.9%;傳感器dip2 的靈敏度為18.85 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)為99.7%;傳感器dip3 的靈敏度為19.84 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)為99.9%;傳感器dip4 的靈敏度為20.35 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)為99.9%。

    圖8(a)所示是不同應(yīng)變?cè)诶F長(zhǎng)度為40 mm 的透射光譜,當(dāng)傳感器的縱向應(yīng)變逐漸增加時(shí),干涉譜線發(fā)生紅移。當(dāng)應(yīng)變?cè)?59.287 με~109.860 με 變化時(shí),對(duì)干涉光譜進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,3個(gè)波谷的線性擬合結(jié)果如圖9(a)所示。dip1,dip2,dip3 的靈敏度分別為14.53,14.34,15.59 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)分別為 99.816%,99.957%,99.869%。

    圖8 不同應(yīng)變下光纖的透射光譜Fig. 8 Transmission spectrogram of optical fiber under different strains

    圖9 應(yīng)變與波長(zhǎng)的擬合關(guān)系Fig. 9 Fitting curves of strain and wavelength

    圖8(b)所示是不同應(yīng)變?cè)诶F長(zhǎng)度為41 mm 的透射光譜,當(dāng)傳感器的縱向應(yīng)變逐漸增加時(shí),干涉譜線發(fā)生紅移。當(dāng)應(yīng)變?cè)?59.287 με~109.860 με 變化時(shí),對(duì)干涉光譜進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,4個(gè)波谷的線性擬合結(jié)果如圖9(b)所示,dip1,dip2,dip3,dip4 的靈敏度分別為19.96,19.15,19.65,20.14 pm/με,相關(guān)線性系數(shù)分別為99.675%,99.893%,99.909%,99.9%。通過對(duì)不同直徑的傳感器進(jìn)行反復(fù)測(cè)量,實(shí)驗(yàn)結(jié)果得出該傳感器具有較好的可逆性與穩(wěn)定性。

    圖10 不同溫度下譜線漂移的變化Fig. 10 Variation of spectral line drift at different temperatures

    圖11 不同波谷下溫度與波長(zhǎng)的線性擬合Fig. 11 Linear fitting of temperature and wavelength at different troughs

    圖10 為不同溫度下光纖的透射光譜,在38~82 ℃內(nèi),隨著溫度的不斷升高,譜線發(fā)生藍(lán)移。如圖11 所示,dip1,dip2,dip3 特征波長(zhǎng)的漂移量的線性擬合度分別為0.963 22,0.956 51,0.949 44,dip1,dip2,dip3 的溫度靈敏度分別為235.1,230.86,224.26 pm/℃。因干涉波谷對(duì)應(yīng)變和溫度具有不同的敏感特性,利用雙參量系數(shù)矩陣可以解決溫度影響的交叉敏感問題。

    4 結(jié) 論

    本文提出一種基于高靈敏度微納光纖耦合器應(yīng)變傳感器。采用微納光纖拉制平臺(tái),通過在線監(jiān)測(cè)及光譜分析手段,對(duì)微光纖耦合器不同拉制階段的傳輸損耗特性、波長(zhǎng)選擇特性和模式耦合特性等進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。制作出具有良好光學(xué)特性、以耦合器為連接端口的“微納光纖”,并開展了應(yīng)變傳感的理論與實(shí)驗(yàn)研究。結(jié)果表明,當(dāng)微納光纖耦合器的直徑為13.343~18.961 μm時(shí),傳感器的應(yīng)變靈敏度會(huì)隨著耦合直徑的減小而增大。通過熔融拉錐法制備了直徑為13.343 μm 的光纖耦合器,得到了20.35 pm/με 的高靈敏度傳感器,并解決了溫度對(duì)應(yīng)變引起的交叉敏感問題。該傳感器穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊且成本較低,在高靈敏度大型建筑結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。

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