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    基于FPGA的高速多通道AD采樣系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn)

    2014-03-08 03:47:55徐加彥張之萬陳興林張廣瑩
    自動化與儀表 2014年9期
    關(guān)鍵詞:采樣系統(tǒng)雙口光刻機

    徐加彥,張之萬,陳興林,張廣瑩

    (哈爾濱工業(yè)大學 航天學院,哈爾濱 150001)

    光刻機作為集成電路芯片的制造設(shè)備,是超高精度的控制系統(tǒng)。國家在2006年十二五規(guī)劃發(fā)布的《國家中長期科學和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020)》中將“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”明確為重大專項。通過這一專項的實施,攻關(guān)60 nm光刻機的關(guān)鍵技術(shù),為下一步研制更高分辨率光刻機打下堅實基礎(chǔ)。在光刻機控制系統(tǒng)中,其環(huán)境因素,如溫度、濕度等對高精度的控制有著重要的影響[1]。因此需實時反饋溫度、濕度等環(huán)境因素。多通道AD采樣系統(tǒng)作為光刻機信號采集板卡的核心部分,其采樣速度、精度對提高整個光刻機控制系統(tǒng)的精度有著重要影響[2]。

    有限狀態(tài)機FSM(finite-state machine)又稱有限狀態(tài)自動機,簡稱狀態(tài)機,是表示有限個狀態(tài)以及在這些狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)移和動作等行為的數(shù)學模型。它可應(yīng)用在硬件電路系統(tǒng)設(shè)計、軟件工程、網(wǎng)絡(luò)協(xié)議等。就其速度而言,F(xiàn)SM并行同步完成許多運算和控制操作。這樣,由狀態(tài)機構(gòu)成的硬件系統(tǒng)比對應(yīng)的CPU所能完成同樣功能的軟件系統(tǒng)的工作速度要高出3~5個數(shù)量級。因此在超高速串行或并行AD、DA器件的控制,硬件并行通信模塊RS232等實現(xiàn)有著廣泛的應(yīng)用[3]。

    本文采用AD7606作為采樣芯片,設(shè)計采樣電路,并充分利用狀態(tài)機高速性、穩(wěn)定性、高效性的特點,采用FPGA作為可編程邏輯器件,設(shè)計采樣芯片的控制時序和讀寫時序。傳統(tǒng)的采樣系統(tǒng)使用UART方式傳輸采樣結(jié)果,處理器需采用中斷方式或查詢方式讀取采樣結(jié)果,占用了處理器資源。本文將采樣結(jié)果實時儲存在雙口RAM里,處理器可實時讀取采樣結(jié)果,不占用處理器資源,提高了處理器的效率。實驗表明,穩(wěn)定性和控制性能良好。

    1 總體設(shè)計框架

    高速多通道AD采樣控制系統(tǒng)框圖如圖1所示,信號采集板卡采用雷莫頭接口的方式同外界模擬信號相連接,其抗干擾、穩(wěn)定性強。AD4505功放模塊作為外界模擬輸入信號和AD7606模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片的隔離芯片,避免外界輸入的模擬電壓過大而導(dǎo)致燒毀AD芯片。AD采樣芯片采用AD7606作為模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片,具有8通道同時采樣,16位輸出的特點,是一款高分辨率、雙極性輸入、同步采樣的高性能模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片。采用Altera公司的EP2C35F672可編程邏輯控制器件對AD7606進行時序控制。并在FPGA里設(shè)置一塊雙口RAM,存儲AD7606的數(shù)字輸出結(jié)果。DSP作為信號采集板卡的主控處理器,可任意時刻讀取雙口RAM里的采樣數(shù)據(jù)。

    圖1 采樣控制系統(tǒng)框圖Fig.1 Block diagram of sampling control system

    2 FPGA控制AD7606的軟件實現(xiàn)

    2.1 AD7606的硬件電路圖

    AD7606是AD公司生產(chǎn)的一款高分辨率、雙極性輸入、多通道同步采樣的高速模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片。內(nèi)置二階抗混疊模擬濾波器對輸入信號進行濾波,內(nèi)置數(shù)字濾波器,提供過采樣功能;可以靈活地實現(xiàn)并行/串行輸出;本課題設(shè)計的AD7606采用并行輸出方式。通過FPGA硬件,采用狀態(tài)機的編程方式,實現(xiàn)對AD7606的時序控制。

    2.2 有限狀態(tài)機

    圖2為有限狀態(tài)機模型,下一個狀態(tài)和輸出由當前狀態(tài)和輸入所決定。有限狀態(tài)機數(shù)學模型為(Σ,Γ,S,s0,δ,ω)。 其中:Σ 是輸入字母表;Γ 是輸出字母表;S是狀態(tài)的集合;s0是初始狀態(tài);δ是狀態(tài)轉(zhuǎn)移函數(shù);ω 是輸出函數(shù)。其中 δ:S×Σ→S ω:S×Σ→Γ。

    圖2 有限狀態(tài)機模型Fig.2 Model of finite state machine

    在數(shù)字電路中,狀態(tài)機可用可編程邏輯控制器件來建造,通過寄存器來儲存狀態(tài)變量,確定狀態(tài)轉(zhuǎn)移的一塊組合邏輯和確定狀態(tài)機輸出的另一塊組合邏輯。

    2.3 時序程序的設(shè)計

    有限狀態(tài)機的設(shè)計對系統(tǒng)的高速性能、高可靠性、穩(wěn)定性都具有決定性作用。采用狀態(tài)機的形式,在每個狀態(tài)中,狀態(tài)機可并行同步完成許多運算和控制操作,相比于CPU按照指令逐條運行的方式,一般有狀態(tài)機構(gòu)成的硬件系統(tǒng)比對應(yīng)的CPU完成同樣功能的軟件系統(tǒng)的工作速度要高出3~5個數(shù)量級。在可靠性能方面,狀態(tài)機是在FPGA通過純硬件電路構(gòu)成,其運行不依賴軟件指令逐條執(zhí)行,因此不存在CPU運行軟件過程中的許多缺陷[3]。

    如圖3所示為采用狀態(tài)機形式的結(jié)構(gòu)框圖,程序分為寫配置模塊和讀取數(shù)據(jù)模塊2個模塊。

    圖3 采樣狀態(tài)機的結(jié)構(gòu)框圖Fig.3 Block diagram of the sampling state machine

    在寫配置模塊里配置AD7602的控制信號,比如串行模式/并行模式的選擇,輸入電壓的范圍、待機模式還是省電模式,過采樣倍率的倍數(shù)等。

    讀取數(shù)據(jù)模塊是整個采樣系統(tǒng)的關(guān)鍵,采用狀態(tài)機的形式,設(shè)置CS和RD信號線的時序。程序要根據(jù)BUSY信號產(chǎn)生中斷信號,來確定轉(zhuǎn)換是否完成。

    根據(jù)AD7606的工作原理和寫時序,設(shè)計接口邏輯模塊,圖4為狀態(tài)機輪轉(zhuǎn)狀態(tài)圖。

    圖4 狀態(tài)機輪轉(zhuǎn)狀態(tài)圖Fig.4 State machine cycle state diagram

    AD7606轉(zhuǎn)換控制信號為CONVSTA和CONVSTB。 CONVSTA 控制 V1,V2,V3,V4 通道,CONVSTB 控制 V5,V6,V7,V8 轉(zhuǎn)換通道,本文將 CONVSTA和CONVSTB短接在一起,8通道同時轉(zhuǎn)換。S0是空閑狀態(tài),CS為高電平,RD為高電平;通過邊沿檢測是否有BUSY信號,若有則進入S1狀態(tài),否則等待。由于等待CS穩(wěn)定下來(CS到RD設(shè)置時間t8),需要插上延時狀態(tài) S2,到 S3 穩(wěn)定,在 S4,S5 狀態(tài)將RD拉低,讀取第一通道V1的轉(zhuǎn)換結(jié)果,之后依次重復(fù)7個脈沖序列,可使各通道的轉(zhuǎn)換結(jié)果按升序逐個輸出到并行總線DB[15:0]上,在狀態(tài)機里可方便地設(shè)置各種狀態(tài)。

    圖5為程序框圖,通過Verilog HDL硬件語言,基于狀態(tài)機的思想,通過硬件實現(xiàn)對采樣芯片的控制時序和讀取時序,并將讀取的數(shù)據(jù)實時存儲在雙口RAM里,這樣DSP可實時讀取RAM里的數(shù)據(jù),和通過中斷方式或者查詢方式讀取采樣數(shù)據(jù)相比,減小了對DSP資源的占用,提高了DSP的效率。硬件的兩部分:控制時序和讀取時序并行執(zhí)行。在控制時序和讀取時序中通過狀態(tài)機方式并行執(zhí)行程序,提高了采樣速率和穩(wěn)定性。

    圖5 程序流程圖Fig.5 Program flow chart

    3 結(jié)果測試

    3.1 多通道采樣系統(tǒng)的實時采樣測試

    通過邏輯探測儀實時測量的數(shù)據(jù),給定第二通道3.3 V的電壓,其他通道給定0 V電壓,測得的信號如圖6、圖7所示。

    圖6 AD7606控制時序結(jié)果圖Fig.6 Figure of control timing results

    圖7 AD7606讀輸出結(jié)果圖Fig.7 Figure of reading the output

    AD7606的輸出編碼方式為二進制補碼,傳遞函數(shù)為:CODE=

    當?shù)诙ǖ垒斎?.3 V時,理論值為2A3Dh;圖7所示實際值為28E7h,對應(yīng)3.195 V,存在一定誤差,是因為施加的激勵電源有一定的諧波,采樣系統(tǒng)采集了此時波形。 FDB7h,F(xiàn)D7Eh,F(xiàn)E27h,F(xiàn)E17h,F(xiàn)CEFh,F(xiàn)F0Fh,分別對應(yīng)實際值為-0.17 V,-0.18 V,-0.144 V,-0.148 V,-0.21 V,-0.07 V。

    通過實驗實時測量表明,通過狀態(tài)機編寫的對AD7606實現(xiàn)時序邏輯控制的硬件電路,其實驗結(jié)果如圖6、圖7所示,和AD7606芯片手冊上的讀寫時序圖一致,表明實驗結(jié)果準確。

    3.2 采樣系統(tǒng)準確率測試

    實驗采用Altera公司EP2C35F672型FPGA作為可編程邏輯控件,TI公司的TMS320F2812作為處理器[4],設(shè)計的采樣系統(tǒng)其采樣周期為4 μs。如圖8所示采用Tektronixs公司的AFG3052C型波形發(fā)生器產(chǎn)生幅值為-10 V~+10 V,周期為4 ms的鋸齒波形。在FPGA里按照時序依次存儲100個AD采樣輸出結(jié)果于雙口RAM里。通過DSP讀取雙口RAM數(shù)據(jù),在軟件程序里將數(shù)據(jù)保存,然后通過Matlab軟件繪出曲線[5]和理論值比較,其結(jié)果如圖9所示。

    圖8 實驗采樣的鋸齒波Fig.8 Experimental sampled waveform

    圖9 采樣系統(tǒng)的輸出結(jié)果Fig.9 Output of the sampling system

    通過實驗表明,采樣系統(tǒng)采樣的結(jié)果和理論值誤差很小,最大誤差為0.1%,整體采樣系統(tǒng)穩(wěn)定性、誤差性達到要求[6]。

    4 結(jié)語

    本文利用狀態(tài)機在高速、高可靠性、穩(wěn)定性方面的特點,采用FPGA作為可編程邏輯控件,以狀態(tài)機的形式,編程設(shè)計多通道高速AD采樣系統(tǒng)的控制時序和讀寫時序。將采樣結(jié)果實時存儲在雙口RAM里,這樣處理器可實時讀取采樣結(jié)果,相比于通過UART方式傳輸采樣結(jié)果給處理器,處理器采用SCI串口中斷方式讀取采樣結(jié)果,本文設(shè)計的采樣系統(tǒng)減少了對處理器資源的占用。對提高處理器的效率具有很大意義。實驗表明,系統(tǒng)的穩(wěn)定性、高速型、誤差均達到要求,具有很強的工程實用價值。

    [1]Boonman M,van de Vin C,Tempelaars S,et al.The performance advantages of a dual stage system[J].SPIE,2004,5377:742-757.

    [2] 谷林.光刻機工件臺和掩膜臺同步控制研究[D].哈爾濱:哈爾濱工業(yè)大學,2013.

    [3] 潘松,黃繼業(yè).EDA技術(shù)與Verilog HDL[M].2版.北京:清華大學出版社,2010.

    [4] 蘇奎峰,呂強,常天慶,等.TMS320X281xDSP原理及C程序開發(fā)[M].北京:北京航空航天大學出版社,2008.

    [5] 王正林,王勝開.MATALAB/Simulink與控制系統(tǒng)仿真[M].北京:電子工業(yè)出版社,2008.

    [6] 齊紅濤,蘇濤.基于FPGA的高速AD采樣設(shè)計[J].航空兵器,2010(1):35-39.

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