集成電路制造工藝課程中的微課教學(xué)

【摘 要】在信息化程度不斷提高的當(dāng)今社會(huì)，微課這種新型教學(xué)資源開(kāi)始嶄露頭角并越來(lái)越多地被運(yùn)用在日常教學(xué)中。本文在介紹了微課的概念特點(diǎn)的基礎(chǔ)上，具體說(shuō)明了其在集成電路制造工藝課程中的應(yīng)用及取得的效果，以期對(duì)微課在微電子專業(yè)其他課程中的應(yīng)用帶來(lái)一些啟示。

【關(guān)鍵詞】集成電路制造工藝 微課 微電子專業(yè)課程

【中圖分類號(hào)】G642 【文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼】A 【文章編號(hào)】1674-4810（2014）32-0086-01

在高速發(fā)展的信息化社會(huì)，隨著無(wú)線網(wǎng)絡(luò)、移動(dòng)通訊網(wǎng)絡(luò)和移動(dòng)終端設(shè)備的發(fā)展，各種微信平臺(tái)也迅猛發(fā)展。微信、微博、微視頻等成為當(dāng)下人際交流、信息分享的主要方式。除了日常生活方面受到信息化時(shí)代的巨大影響外，在教學(xué)領(lǐng)域也帶來(lái)了很多的變化。微課、翻轉(zhuǎn)課堂、移動(dòng)學(xué)習(xí)等新的學(xué)習(xí)方式成為當(dāng)前信息化教學(xué)發(fā)展的新理念。

一 微課的概念

微課是一種新型的信息化教學(xué)手段，其具有主題突出、短小精悍、交互性好、應(yīng)用面廣等特點(diǎn)。在全國(guó)高校微課教學(xué)比賽的推動(dòng)作用下，微課這種新穎的教學(xué)方式也在各大高校中廣泛展開(kāi)。

由于專業(yè)及應(yīng)用背景的不同，關(guān)于微課的設(shè)置、實(shí)施等都有很多不同的意見(jiàn)，但大體上，微課應(yīng)要能在較短的時(shí)間內(nèi)，針對(duì)某個(gè)教學(xué)環(huán)節(jié)的重點(diǎn)難點(diǎn)進(jìn)行分析，并應(yīng)配合多種信息化教學(xué)手段，使得最終呈現(xiàn)出來(lái)的作品能盡可能地形象生動(dòng)，吸引學(xué)生利用課余時(shí)間觀看學(xué)習(xí)。

二 微課教學(xué)的意義

快節(jié)奏的社會(huì)使人們?nèi)粘Ｉ钭兊每旃?jié)奏，如何更好地利用平日通勤、吃飯、課間休息等時(shí)間對(duì)于現(xiàn)在的教育教學(xué)也非常重要。為了使學(xué)生可以在課間、課余、校園休息時(shí)，不占用過(guò)多的時(shí)間，獲取足夠多的知識(shí)，微課教學(xué)的重要性就凸顯出來(lái)了。學(xué)生可以利用教師準(zhǔn)備的微課視頻，在課前或課后觀看，對(duì)課程進(jìn)行預(yù)習(xí)或復(fù)習(xí)。

目前，社會(huì)各門(mén)學(xué)科專業(yè)之間的聯(lián)系緊密，教師在教學(xué)過(guò)程中還需要不斷汲取新知識(shí)新理論和各種經(jīng)驗(yàn)。微課有利于同行交流借鑒，促進(jìn)教師專業(yè)發(fā)展，促進(jìn)優(yōu)質(zhì)教學(xué)資源共建共享，提高教師的課堂教學(xué)水平，提高教師的教育技術(shù)綜合應(yīng)用能力，提升教師的反思能力與研究水平。

三 集成電路制造工藝課程中的微課教學(xué)

集成電路制造工藝是微電子專業(yè)的一門(mén)重點(diǎn)核心課程，通過(guò)該課程的學(xué)習(xí)可以使學(xué)生了解集成電路的制造方法，各類集成電路的一般制造流程和制造過(guò)程中各核心工藝步驟的原理及方法等。

在傳統(tǒng)的教學(xué)過(guò)程中，一般是結(jié)合相應(yīng)的圖片音頻等資料對(duì)學(xué)生展開(kāi)教學(xué)，結(jié)合每一個(gè)工藝步驟，向?qū)W生說(shuō)明工藝的原理、操作過(guò)程、注意事項(xiàng)等。在這個(gè)過(guò)程中，一方面學(xué)生要接觸到一些以往不太接觸到的新名詞和概念，另一方面還要在本身不太熟悉的情況下掌握這些名詞概念對(duì)應(yīng)的原理或操作，所以接受及掌握的情況就不很理想。即使有一些多媒體資料可以給學(xué)生展示，但是對(duì)于學(xué)生來(lái)說(shuō)，仍會(huì)產(chǎn)生比較大的距離感，不能產(chǎn)生實(shí)際體會(huì)。如果直接把學(xué)生帶到實(shí)訓(xùn)場(chǎng)所，雖然可以讓學(xué)生近距離地觀看操作并動(dòng)手，但實(shí)訓(xùn)場(chǎng)地大小的限制和設(shè)備儀器的噪音，又會(huì)使得現(xiàn)場(chǎng)的教學(xué)效果受到影響。

而通過(guò)在教學(xué)過(guò)程中加入微課教學(xué)方式，這種情況就有了很大的改善。在教學(xué)準(zhǔn)備時(shí)，教師選取了典型的工藝，預(yù)先在實(shí)訓(xùn)場(chǎng)地拍攝微課視頻。不同于一般的教學(xué)視頻，微課制作過(guò)程中，本身還引用了大量的信息化手段。如在“光刻曝光”的微課視頻制作的過(guò)程中，制作者除了現(xiàn)場(chǎng)的操作講解之外，還在后期制作時(shí)，配用了大量的視頻、圖片及PPT課件。在初始時(shí)就通過(guò)學(xué)生比較熟悉的電腦CPU芯片的分解來(lái)給大家展示集成電路芯片的形貌，解說(shuō)時(shí)配合機(jī)械相機(jī)膠卷的沖印過(guò)程，讓學(xué)生能更形象地理解光刻曝光的原理。

在理論教學(xué)前，讓學(xué)生先行觀看相應(yīng)的微課視頻，這樣在講到相應(yīng)工藝工序時(shí)，學(xué)生已經(jīng)對(duì)這道工藝的操作、基本的原理方法等都有了一個(gè)初步的印象，當(dāng)教師在課堂上再提到相應(yīng)名詞概念時(shí)，學(xué)生就能有一個(gè)清晰的想法，不至于在懵懂狀態(tài)接受“填鴨式”教學(xué)。而且微課的精華還在于其微型化，在十分鐘左右的視頻中，把相關(guān)理論的要點(diǎn)、操作的重點(diǎn)形象生動(dòng)地展現(xiàn)出來(lái)，學(xué)生觀看時(shí)無(wú)須花費(fèi)太長(zhǎng)的時(shí)間，不會(huì)輕易導(dǎo)致注意力的分散。如在介紹濺射這道工序時(shí)，薄膜濺射本身所需的時(shí)間較長(zhǎng)，不管是在課堂中播放完整的操作過(guò)程還是帶學(xué)生去實(shí)訓(xùn)場(chǎng)地操作都不太現(xiàn)實(shí)。而在微課視頻制作時(shí)，可以把抽真空、加熱等需要長(zhǎng)時(shí)間等待的過(guò)程截取掉，只保留基本關(guān)鍵的操作步驟和最終的成品結(jié)果，這樣就可以讓學(xué)生在較短的時(shí)間內(nèi)觀看到操作過(guò)程和成品了。

四 結(jié)束語(yǔ)

微課作為社會(huì)發(fā)展進(jìn)入微時(shí)代后在教育領(lǐng)域產(chǎn)生的一種新型教學(xué)資源，以其主題突出、短小精悍的特點(diǎn)，改變了傳統(tǒng)的教育教學(xué)方式。在微電子專業(yè)傳統(tǒng)的核心理論課程集成電路制造工藝中采用微課教學(xué)資源，可以進(jìn)一步豐富教學(xué)內(nèi)容、活躍教學(xué)形式，使學(xué)生可以更好地來(lái)學(xué)習(xí)專業(yè)知識(shí)，獲得更生動(dòng)、深入的體會(huì)。

參考文獻(xiàn)

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[2]李尊朝.集成電路工藝課程教學(xué)改革探析[J].實(shí)驗(yàn)科學(xué)與技術(shù)，2010（4）

〔責(zé)任編輯：林勁〕