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    一種電容式微加速度計(jì)偏置電壓和標(biāo)度因數(shù)自動(dòng)標(biāo)定方法

    2013-10-22 07:25:28耿賽柳徐大誠郭述文
    傳感器與微系統(tǒng) 2013年7期
    關(guān)鍵詞:電容式標(biāo)度加速度計(jì)

    耿賽柳,徐大誠,郭述文

    (蘇州大學(xué)微納傳感器研究中心,江蘇蘇州 215100)

    0 引言

    電容式微加速度計(jì)已廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車工業(yè)和航天領(lǐng)域。在不同領(lǐng)域的應(yīng)用中,其測(cè)量精度、測(cè)量范圍、零偏穩(wěn)定性等參數(shù)是決定性能的關(guān)鍵。國內(nèi)外有大量報(bào)道改善這些參數(shù)性能的文獻(xiàn)[1~3],測(cè)量范圍這一性能指標(biāo),可以通過標(biāo)度因數(shù)的標(biāo)定來確定。

    電容式微加速度計(jì)標(biāo)度因數(shù)的標(biāo)定,一般采用與MS3110配套的MS3110DPC測(cè)試板[4]或者是采用單片機(jī)搭建的測(cè)試系統(tǒng)[5],手動(dòng)調(diào)整MS3110片內(nèi)EEPROM的值來實(shí)現(xiàn)傳感器標(biāo)度因數(shù)(SF)的標(biāo)定。傳統(tǒng)方法存在以下主要問題:

    1)擴(kuò)展性差,滿足不了加速度計(jì)多項(xiàng)性能指標(biāo)的測(cè)試;

    2)受敏感元件安裝誤差和溫度漂移困擾,從而影響SF標(biāo)定精度;

    3)傳統(tǒng)標(biāo)定都為手動(dòng),操作復(fù)雜、精度不高,而且增加生產(chǎn)成本,不適應(yīng)于批量生產(chǎn)。

    電容式微加速度傳感器一般采用差分電容輸出,零偏電壓取決于差分電容的對(duì)稱性,而SF則與電容的變化量靈敏度有關(guān)。由于微細(xì)加工工藝的誤差不可避免地造成差分電容的非對(duì)稱性誤差和靈敏度誤差,這些誤差需要通過外圍電路的電容來校準(zhǔn)。傳統(tǒng)的方法是通過手工標(biāo)定,然后再外接電容來進(jìn)行補(bǔ)償。MS3110是一種數(shù)?;旌想娐穬?nèi)置了1只傳感器接口電路,含有2個(gè)衛(wèi)星電容開關(guān)陣列,一個(gè)用于差分電容進(jìn)行補(bǔ)償校準(zhǔn);另一個(gè)用于對(duì)傳感器的SF進(jìn)行校準(zhǔn)標(biāo)定。這2個(gè)電容開關(guān)陣列可以通過內(nèi)置EEPROM來進(jìn)行控制調(diào)整。

    本文將介紹一種三點(diǎn)靜態(tài)標(biāo)定法,利用虛擬儀器作為控制單元和MS3110作為電容檢測(cè)電路來實(shí)現(xiàn)加速度計(jì)SF的自動(dòng)標(biāo)定。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:通過多次自動(dòng)定標(biāo),傳感器SF的相對(duì)誤差為0.79%。

    1 三點(diǎn)靜態(tài)標(biāo)定法

    在正常工作溫度-40~80℃范圍內(nèi),MS3110輸出電壓在0.5~4V之間,可以讀取低至4.0aF/Hz1/2的電容變化,它既可以測(cè)量單電容的變化,也可以測(cè)量差動(dòng)電容的變化,在整個(gè)感應(yīng)電容范圍內(nèi)輸出信號(hào)線性度比較好[6],片內(nèi)電容Cs1,Cs2為可調(diào)補(bǔ)償電容陣列,用于調(diào)節(jié)由于輸入電容不對(duì)稱而引起的偏置。電容Cf為電荷放大器的可調(diào)積分電容,通過調(diào)節(jié)可以設(shè)置前端積分器的增益,決定加速度計(jì)SF,因此,確定電容Cf的值是自動(dòng)標(biāo)定法的關(guān)鍵。

    1.1 三點(diǎn)靜態(tài)標(biāo)定法原理

    根據(jù)MS3110的傳遞函數(shù)可以推導(dǎo)出SF的數(shù)學(xué)模型

    其中,SF的單位為mV/gn,Gain一般為2 V或者4 V,V為參考電壓,一般為 2.25 VDC,ΔC1g和 ΔC0g分別是加速度計(jì)處于90°和180°位置時(shí)的電容差。由SF的數(shù)學(xué)模型可以得出:SF只取決于其中積分電容Cf的大小,因此,先確定積分電容Cf的值,最后再根據(jù)SF和偏置電壓(bias voltage)預(yù)設(shè)值確定補(bǔ)償電容Cs1和Cs2的值。

    首先通過上位機(jī)軟件給SF和bias voltage設(shè)定預(yù)值,并將其存儲(chǔ)在內(nèi)存中,然后使得電容式微加速度計(jì)依次經(jīng)過1,0,-1gn3個(gè)標(biāo)準(zhǔn)位置,測(cè)量加速度計(jì)的電壓輸出并通過虛擬儀器調(diào)整MS3110片內(nèi)Cs1,Cs2,Cf3個(gè)電容值,計(jì)算SF和bias voltage的極值,使其無限接近預(yù)設(shè)值,從而得出最佳Cs1,Cs2,Cf的值,最后將其3個(gè)電容值寫入 MS3110片內(nèi)EEPROM中,自動(dòng)標(biāo)定完成。

    1.2 三點(diǎn)靜態(tài)標(biāo)定法實(shí)現(xiàn)

    此方法以預(yù)設(shè) SF為 -66.7 mV/gn和 bias voltage為2.25 V為例,通用電容讀取芯片MS3110的電壓輸出范圍為0.5~4 V,那么,電容式微加速度計(jì)的理論測(cè)量范圍為±26gn。

    1.2.1 標(biāo)定環(huán)境

    由于加速度計(jì)會(huì)受到角度基準(zhǔn)精度和溫度漂移的影響,所以,在標(biāo)定之前需要將加速度計(jì)固定在分度臺(tái)上并放置于恒溫箱內(nèi)進(jìn)行標(biāo)定,來減小標(biāo)定誤差。

    1.2.2 電容差測(cè)量

    分度臺(tái)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí),即加速度為1gn。調(diào)節(jié)Cf值,通過采集卡測(cè)量出2組加計(jì)電壓輸出值分別記為V1g1,V1g2,根據(jù)傳遞函數(shù)得

    根據(jù)式(1)和式(2)計(jì)算(取Cs1=0 pF,Cs2=0.209 pF,Cf1=0.38 pF,Cf2=3.8 pF)得

    1.2.3 積分電容Cf測(cè)定

    分度臺(tái)轉(zhuǎn)到180°位置時(shí),即加速度為0gn,調(diào)節(jié)Cf電容值來確定SF。根據(jù)Vref和ΔC1g計(jì)算出V1g

    通過數(shù)據(jù)采集卡測(cè)量出0gn時(shí)的加計(jì)輸出V0g,由標(biāo)度因數(shù)的數(shù)學(xué)模型求SF的極限得

    Cf的范圍從 0~19.437 pF,當(dāng)SF的值在(-66.7 ±3)mV/gn之內(nèi),記錄下積分電容Cf的值。

    1.2.4 補(bǔ)償電容Cs1與Cs2測(cè)定

    分度臺(tái)轉(zhuǎn)到270°位置時(shí),加速度為-1gn,調(diào)節(jié)Cs1,Cs2值來確定(bias voltage),通過數(shù)據(jù)采集卡測(cè)出-1gn時(shí)加計(jì)輸出V-1g,這時(shí)對(duì)bias voltage求極值

    Cs1和Cs2的取值范圍分別為 0~9.709 pF,0~1.197 pF,當(dāng)bias voltage的值在(2.25±0.05)V范圍之內(nèi),記錄下補(bǔ)償電容Cs1,Cs2的值。

    1.2.5 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

    最后將Cs1,Cs2,Cf3個(gè)電容值通過數(shù)據(jù)采集卡寫入MS3110的EEPROM中,實(shí)現(xiàn)加速度計(jì)SF的自動(dòng)標(biāo)定。

    2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果

    在恒溫條件下,通過對(duì)電容式微加速度計(jì)SF多次自動(dòng)標(biāo)定,測(cè)得一組實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如表1所示,從表中數(shù)據(jù)中可以得出SF 為(-66.7±3)mV/gn,bias voltage為(2.25±0.05)V。

    表1 多次自動(dòng)標(biāo)定數(shù)據(jù)Tab 1 Several automatic calibration data

    利用最小二乘原理來取擬合直線可保證加速度計(jì)標(biāo)定數(shù)據(jù)的殘差平方和最小,擬和曲線如圖1所示,加速度計(jì)SF相對(duì)誤差為0.79%,在高鐵應(yīng)用領(lǐng)域,滿足SF標(biāo)定精度的要求。

    3 結(jié)論

    圖1 SF擬合直線Fig 1 Fitting straight line of SF

    基于MS3110微電容檢測(cè)電路和虛擬儀器,通過三點(diǎn)靜態(tài)標(biāo)定法,對(duì)傳感器補(bǔ)償電容陣列和積分電容的調(diào)整,實(shí)現(xiàn)了電容式微加速度計(jì)SF的自動(dòng)標(biāo)定,并能滿足高鐵領(lǐng)域的標(biāo)定要求。但因MS3110內(nèi)部補(bǔ)償電容Cs1,Cs2只能調(diào)節(jié)0.019 pF的步進(jìn)值,所以,標(biāo)定的精度會(huì)受到一定的影響。針對(duì)這個(gè)問題,可以嘗試使用ASIC電容檢測(cè)電路,具有更小的電容調(diào)節(jié)步進(jìn)值和閉環(huán)系統(tǒng)的設(shè)計(jì),能進(jìn)一步提高標(biāo)定的精度。

    [1] 劉民杰,董景新.電容式微加速度計(jì)零偏的補(bǔ)償方法[J].中國慣性技術(shù)學(xué)報(bào),2008,16(1):86 -89.

    [2] Farahani H.Mills J K,Cleghorn W L.Design,fabrication and analysis of micromachined high sensitivity and 0%cross-axis sensitivity capacitive accelerometers[J].Microsystem Technologies,2009,15:1815 -1826.

    [3] 黃小凱,陳云霞,張叔農(nóng),等.基于模糊理論的加速度計(jì)標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性分析[J].北京航空航天大學(xué)學(xué)報(bào),2012,38(1):133-137.

    [4] Chang S P,Allen M G.Demonstration for integrating capacitive pressure sensors with read-out circuitry on stainless steel substrate[J].Sensors and Actuators A,2004,116:195 -204.

    [5] 劉民杰,劉云峰,董景新,等.基于MS3110電容讀取芯片的MEMS 加速度計(jì)[J].中國慣性技術(shù)學(xué)報(bào),2010,18(2):231 -240.

    [6] 凌 靈,陳文元,李 凱,等.微機(jī)械電容式加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)及檢測(cè)技術(shù)研究[J].儀表技術(shù)與傳感器,2008(8):3-5.

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