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    盲孔填孔電鍍銅添加劑的研究

    2013-02-17 09:24:28雷華山肖定軍劉彬云
    電鍍與涂飾 2013年12期
    關(guān)鍵詞:孔率盲孔整平

    雷華山*,肖定軍,劉彬云

    (廣東東碩科技有限公司,廣東 廣州 510245)

    隨著電子產(chǎn)品小型化、功能多樣化的發(fā)展,要求作為承載電子元器件載體的印刷線路板的布線密度及孔密度會(huì)越來越高,傳統(tǒng)的印刷線路板技術(shù)工藝難以滿足其要求。高密度互連技術(shù)(HDI)、積層技術(shù)以及微盲孔技術(shù)的發(fā)展[1]有效地解決了線路板高密度布線技術(shù)問題。HDI板中大量微盲、埋孔的出現(xiàn),給電子電鍍藥水供應(yīng)商帶來巨大的機(jī)遇和挑戰(zhàn),其中微盲孔電鍍銅填孔技術(shù)又是實(shí)現(xiàn)高密度互連板層間電氣導(dǎo)通的最佳選擇之一[2],目前這一技術(shù)被國(guó)外藥水供應(yīng)商所掌握,國(guó)內(nèi)研究多側(cè)重于工藝應(yīng)用方面,有關(guān)電鍍銅填孔添加劑研究的報(bào)道較少。結(jié)合筆者所在公司的研究實(shí)際,本文探討了填孔電鍍添加劑中 3種組分對(duì)盲孔填孔效果及性能的影響。

    1 實(shí)驗(yàn)

    1. 1 填孔樣板的制備

    將一定規(guī)格的盲孔板(材質(zhì)為 FR-4,盲孔孔徑為100 ~ 125 μm,介質(zhì)層厚度為70 μm)進(jìn)行磨板后進(jìn)入水平化學(xué)沉銅工藝線,隨后通過水平電鍍線閃鍍得到5 ~ 8 μm厚的銅層,為盲孔填孔試驗(yàn)作準(zhǔn)備,具體流程為:磨板─膨脹─水洗─除膠─水洗─預(yù)中和─水洗─中和─水洗─除油─水洗─微蝕─水洗─預(yù)浸─活化─水洗─加速─水洗─沉銅─水洗─鍍銅─水洗─烘干─出板。

    1. 2 填孔電鍍銅

    電鍍銅在直流電源下進(jìn)行,鍍槽容積為3 L,采用可溶性磷銅球作陽(yáng)極,鍍液配方經(jīng)大量赫爾槽試驗(yàn)、填孔槽試驗(yàn)所得。其中,抑制劑C是一種非離子表面活性劑乙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯單丁醚,整平劑L為含氮雜環(huán)化合物,是聯(lián)吡啶類與烷基化試劑的反應(yīng)產(chǎn)物,加速劑 B為 N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸鈉(DPS),具體工藝參數(shù)如下:

    CuSO4·5H2O 200 g/L

    H2SO475 g/L

    Cl-55 mg/L

    抑制劑C 30 mL/L

    整平劑L 3 mL/L

    加速劑B 2 mL/L

    θ 23 °C

    Jk1.4 A/dm2

    v(陰極搖擺) 16回/min

    攪拌方式 空氣攪拌

    1. 3 性能測(cè)定

    1. 3. 1 鍍液填孔性能

    填孔電鍍添加劑的填孔性能主要是通過其對(duì)盲孔的填孔效果來衡量,習(xí)慣上用填孔率、銅厚、凹陷值(dimple)表征[3]。填孔率= (B × 100%)/A,dimple = A -B。其中A為盲孔孔底到板面銅層的表面厚度,B為盲孔孔底到孔表面鍍銅層最凹處的厚度,C為銅箔至板面銅層表面的厚度(即銅厚),具體見圖1。根據(jù)填孔電鍍后盲孔是否填滿、孔內(nèi)有無孔眼、孔洞等缺陷以及填孔率是否在85%以上,判斷填孔效果良好與否。

    圖1 盲孔填孔能力表征示意圖Figure 1 Schematic diagram showing blind via filling performance

    1. 3. 2 鍍層性能

    采用CMT6502微機(jī)控制電子萬能試驗(yàn)機(jī)[優(yōu)鴻測(cè)控技術(shù)(上海)有限公司]進(jìn)行銅鍍層延展性及抗拉強(qiáng)度測(cè)試,具體操作參照IPC-TM-650《印制電路協(xié)會(huì)試驗(yàn)方法手冊(cè)》。采用浸錫熱沖擊試驗(yàn)法考察鍍層的可靠性,具體步驟為:將填孔后的樣板放置在DHG-9075A烘箱(蘇州江東精密儀器有限公司)中,150 °C恒溫烘烤6 h后冷卻至室溫,隨后置于WKD-561無鉛錫爐(深圳偉科達(dá)電熱設(shè)備有限公司)中,在288 °C下進(jìn)行熱沖擊性能測(cè)試,連續(xù)熱沖擊4次,每次10 s,最后研磨,做金相顯微切片分析,觀察銅層是否存在斷銅、開裂、銅壁分離等現(xiàn)象。電化學(xué)測(cè)試在CHI660電化學(xué)工作站(上海辰華儀器有限公司)上進(jìn)行,采用三電極體系,研究電極為直徑2.0 mm的Cu電極,輔助電極為Pt電極,參比電極為飽和甘汞電極(SCE),掃速為0.5 mV/s。

    2 結(jié)果與討論

    2. 1 抑制劑C對(duì)填孔效果的影響

    根據(jù)填孔鍍液配方,改變鍍液中抑制劑C的含量,考察其對(duì)填孔效果的影響,結(jié)果見圖2和圖3。

    圖2 抑制劑用量對(duì)填孔率及銅厚的影響Figure 2 Influence of inhibitor dosage on via-filling ratio and thickness of copper coating

    圖3 抑制劑用量對(duì)填孔效果的影響(×200)Figure 3 Influence of inhibitor dosage on via-filling effectiveness (×200)

    從圖2、圖3可知,抑制劑C的體積分?jǐn)?shù)對(duì)填孔效果的影響較大,其用量較低(10 mL/L)時(shí),dimple值較大,表銅較厚(>40 μm),填孔效果較差,填孔率只有82%。隨抑制劑C含量的增大,填孔效果逐漸改善,銅厚減小,dimple值逐漸減小,填孔率增大至98%左右。抑制劑C的含量增大至55 mL/L時(shí),盲孔填孔效果變差,填孔過程中易產(chǎn)生空洞。原因是抑制劑C是一種吸附性極強(qiáng)的大分子表面活性劑,極易吸附在板銅表面,抑制該處的電沉積速率[4]。抑制劑 C含量太低時(shí),不足以在銅表面形成完整的吸附薄膜,抑制效果差;含量太高則在強(qiáng)烈空氣攪拌下會(huì)產(chǎn)生過多的泡沫,這些泡沫極易進(jìn)入孔內(nèi)卻難以及時(shí)排出,從而形成孔洞,故抑制劑C的用量以30 ~ 40 mL/L較為合適。

    2. 2 加速劑B對(duì)填孔效果的影響

    加速劑B的用量對(duì)盲孔填孔效果的影響如圖4和圖5所示。

    圖4 加速劑用量對(duì)填孔率及銅厚的影響Figure 4 Influence of accelerator dosage on via-filling ratio and thickness of copper coating

    圖5 加速劑用量對(duì)填孔效果的影響(×200)Figure 5 Influence of accelerator dosage on via-filling effectiveness (×200)

    從圖4、圖5可知,加速劑B對(duì)盲孔的填孔效果影響很大。加速劑B的體積分?jǐn)?shù)較低(如1.2 mL/L)時(shí),盲孔填孔效果差,導(dǎo)致孔壁銅厚由孔口向孔內(nèi)逐漸減小以及填孔時(shí)有嚴(yán)重封口,表銅較厚(在35 μm左右);隨加速劑B含量增大,盲孔填孔效果改善,填孔率增大,盲孔基本被填滿,表銅稍有降低,無任何填孔不良現(xiàn)象出現(xiàn),填孔率達(dá) 97%;繼續(xù)增大加速劑含量至4.8 mL/L時(shí),填孔效果反而變差,填孔率僅50%左右。原因是加速劑B是一種含S的小分子化合物,含量太低時(shí),分子擴(kuò)散到孔底處的幾率較低,含量分布由孔口向孔底逐漸遞減,不能加快孔底沉積,呈亞等角沉積模式。增大加速劑B的含量就增加了其分子到達(dá)孔底的機(jī)率,加速了孔底銅的沉積,沉積方式轉(zhuǎn)變?yōu)槌冉浅练e模式。但過量的加速劑B反而會(huì)破壞添加劑組分在盲孔處的分布規(guī)律,從而影響填孔效果[5]。

    2. 3 整平劑L對(duì)填孔效果的影響

    圖6和圖7是整平劑L對(duì)盲孔填孔效果的影響。

    圖6 整平劑用量對(duì)填孔率及銅厚的影響Figure 6 Influence of leveling agent dosage on via-filling ratio and thickness of copper coating

    圖7 整平劑用量對(duì)填孔效果的影響(×200)Figure 7 Influence of leveling agent dosage on via-filling effectiveness (×200)

    從圖6和圖7可知,整平劑L對(duì)盲孔填孔效果的影響并沒有抑制劑C和加速劑B那么明顯。整平劑L用量從2 mL/L增至5 mL/L時(shí),盲孔填孔效果都很好,盲孔基本被填滿,銅厚無太大變化(保持在27 ~ 30 μm范圍內(nèi)),無任何填孔不良品質(zhì)出現(xiàn)。根據(jù)整平劑在盲孔填孔中的作用機(jī)理分析,整平劑L是一種含氮雜環(huán)類大分子聚合物,帶有明顯的正電荷性,填孔電鍍時(shí)主要吸附在高電流密度的孔口處,抑制孔口處的沉積,防止因孔口銅厚增長(zhǎng)較快而堵住孔口[6]。其含量較低時(shí)即能有效地吸附在孔口處,抑制該處的電沉積速率,又因?yàn)檎絼㎜是大分子帶電物質(zhì),擴(kuò)散速率比小分子硫化合物慢,其含量增大時(shí),擴(kuò)散到孔內(nèi)的概率也相對(duì)較低,對(duì)盲孔填孔效果的影響不是很顯著。

    2. 4 鍍液的極化曲線

    圖8是填孔電鍍液的陰極極化曲線。

    圖8 加入不同添加劑后鍍液的陰極極化曲線Figure 8 Cathodic polarization curves for the plating bath with different addictives

    從圖 8可知,填孔電鍍添加劑的加入極大地改善了填孔電鍍液性能。抑制劑C對(duì)鍍液產(chǎn)生明顯的陰極極化作用,基礎(chǔ)液中加入抑制劑C后,沉積電位由基礎(chǔ)鍍液的0 V負(fù)移至-0.17 V,沉積速率明顯放緩,沉積電流降低,抑制效果明顯;再加入整平劑 L,極化作用進(jìn)一步加強(qiáng),只是增加的幅度不大,極化電位負(fù)移至-0.2 V。抑制劑C和整平劑L有極強(qiáng)的協(xié)同作用,陰極吸附能力強(qiáng),能明顯抑制吸附在板面及孔口高電流密度處的電沉積;在含抑制劑C和整平劑L的鍍液中加入加速劑B后,沉積電位正移,正移幅度為0.1 V,說明加速劑B起促進(jìn)低電流密度區(qū)電沉積銅的作用。因此,上述 3種添加劑的協(xié)同配合作用保證了孔底向上填充電鍍機(jī)制的形成。

    2. 5 鍍層的延展性和可靠性

    銅鍍層的內(nèi)應(yīng)力和脆性與鍍層含硫量有關(guān)。為了考察填孔銅鍍層的可靠性,保持抑制劑C和整平劑L的含量分別為30 mL/L及3 mL/L不變,研究加速劑B含量不同時(shí)鍍層的延展性、抗拉強(qiáng)度及熱沖擊性能,結(jié)果見表1。

    表1 鍍液中加速劑B含量不同時(shí)銅層的延展性和可靠性Table 1 Ductility and reliability of copper coatings obtained with different contents of accelerator B in bath

    從表 1可知,鍍層具有較好的延展性,延伸率都在 15%以上,抗拉強(qiáng)度都高于 248 MPa,符合IPC-TM-50的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。鍍層的性能并沒有因?yàn)榧铀賱┯昧康脑龃蠖儾?,其原因?yàn)椋阂环矫驺~鍍層純度高,基本不含硫,鍍層的脆性及內(nèi)應(yīng)力低;另一方面銅鍍層結(jié)晶細(xì)膩,晶粒較小,晶格錯(cuò)位幾率低,鍍層晶格有序。從熱沖擊試驗(yàn)后的金相顯微切片(圖9)看,銅鍍層的耐熱沖擊性能良好,熱沖擊 4次后并未在銅層發(fā)現(xiàn)氣泡、孔壁分離等不良現(xiàn)象,銅鍍層可靠性良好。

    圖9 采用不同加速劑含量填孔的銅層經(jīng)熱沖擊試驗(yàn)后的金相照片(×200)Figure 9 Metallographs of vias filled by copper coating after thermal shock test (×200)

    3 結(jié)論

    抑制劑C、加速劑B對(duì)盲孔填孔效果的影響較大,整平劑L的影響較小。三者的適宜用量為:抑制劑C 30 ~ 40 mL/L,加速劑 B 2.4 ~ 3.6 mL/L,整平劑 L 2 ~5 mL/L。鍍液中加入適宜含量的上述3種添加劑時(shí),填孔率在 95%以上,填孔效果良好;鍍層的延伸率高于15%,抗拉強(qiáng)度大于248 MPa,熱沖擊4次均無銅皮鼓泡、孔壁分離等現(xiàn)象,滿足工業(yè)PCB應(yīng)用要求。

    [1] 龍發(fā)明, 何為, 陳苑明, 等. HDI剛撓結(jié)合板微埋盲孔研究進(jìn)展[J]. 印制電路信息, 2010 (增刊): 190-194.

    [2] 蔡積慶. 電鍍銅導(dǎo)通孔填充工藝[J]. 印制電路信息, 2006 (8): 28-30.

    [3] 陳世金, 徐緩, 羅旭, 等. 影響印制線路板電鍍填盲孔效果的因素[J].電鍍與涂飾, 2012, 31 (12): 33-37.

    [4] 李亞冰, 王雙元, 王為. 印制線路板微孔鍍銅研究現(xiàn)狀[J]. 電鍍與精飾, 2007, 29 (1): 32-35, 39.

    [5] 崔正丹, 謝添華, 李志東. 電鍍填孔超等角沉積(Super Filling)影響因素探討[J]. 印制電路信息, 2010 (增刊): 92-97.

    [6] 竇維平. 利用電鍍銅填充微米盲孔與通孔之應(yīng)用[J]. 復(fù)旦學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版), 2012, 51 (2): 131-138, I-II.

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