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    不同過渡層對ZnO薄膜的影響

    2012-07-06 00:21:06李敏君趙祥敏趙文海
    科技視界 2012年29期
    關(guān)鍵詞:失配磁控濺射牡丹江

    李敏君 趙祥敏 趙文海 張 偉

    (1.牡丹江師范學(xué)院工學(xué)院 黑龍江 牡丹江 157012;2.牡丹江師范學(xué)院新型碳基功能與超硬材料省級重點實驗室 黑龍江 牡丹江 157012;3.黑龍江商業(yè)職業(yè)學(xué)院 黑龍江 牡丹江 157011)

    0 引言

    目前,人們己經(jīng)探索了多種生長ZnO薄膜的技術(shù),但是,在薄膜生長技術(shù)中,襯底的選擇是極其重要的一個環(huán)節(jié),如果沒有合適的襯底材料,外延薄膜的質(zhì)量也會受到影響。大量研究表明,在Si襯底上生長ZnO薄膜具有重要的意義[1],然而由于ZnO和Si之間的晶格失配度大,而且兩者熱膨脹系數(shù)相差很大,所以在Si襯底上直接生長出高質(zhì)量的ZnO薄膜不是很理想。為了解決以上問題,在Si襯底和ZnO外延層之間引入過渡層是目前被廣泛采用的方法。過渡層不僅可以阻止襯底的氧化,而且也能緩解由于晶格失配和熱失配而引起的張應(yīng)力[2]。

    從經(jīng)濟角度和ZnO與各種基片的晶體結(jié)構(gòu)是否相同、晶格失配率大小和熱膨脹系數(shù)是否相近等各種因素考慮,我們選用AlN和Al2O3為過渡層,采用射頻磁控濺射[3]技術(shù),通過對薄膜生長工藝的摸索,研究總結(jié)不同過渡層對ZnO薄膜的影響,完善其制備工藝,提高ZnO薄膜質(zhì)量,從而改善實用化器件的光電性能。

    1 實驗

    實驗分三大組,各組最佳具體參數(shù)如表1所示。

    在表1(A)組和表1(B)組得到的樣品上,利用表1(C)組實驗參數(shù)制備了兩塊ZnO薄膜。樣品編號分別為樣品1和樣品2。

    表1 制備ZnO/AlN(Al2O3)復(fù)合膜的工藝參數(shù)

    圖1 不同過渡層下ZnO薄膜的AFM圖像

    2 結(jié)果與討論

    2.1 表面形貌分析

    使用CSPM4000型的原子力顯微鏡對樣品表面形貌進行觀測。圖1為不同過渡層下ZnO薄膜的AFM三維圖像,其中樣品1和樣品2分別為AlN過渡層和Al2O3過渡層下ZnO薄膜的AFM三維圖像。

    從圖1中可以看出,以AlN為過渡層的ZnO薄膜粗糙度更小,結(jié)晶更致密,晶粒呈圓球密堆結(jié)構(gòu),膜面更光滑。而以Al2O3為過渡層的ZnO薄膜粗糙度較大,結(jié)晶較稀疏,晶粒大小不均勻,可見引入AlN過渡層后,在AlN過渡層表面,濺射分子更易成核,更易于形成優(yōu)質(zhì)的ZnO薄膜。

    我們還研究了不同過渡層下ZnO薄膜的粗糙度,其中樣品1的平均表面粗糙度(Sa)為15.5nm,均方根粗糙度(Sq)為18.9nm;樣品2的平均表面粗糙度(Sa)為16nm,均方根粗糙度(Sq)為20.2nm。由分析結(jié)果可知,以AlN為過渡層的ZnO薄膜樣品的Sa和Sq均小于以Al2O3為過渡層的ZnO薄膜,這與AFM圖像得到的結(jié)論相符。

    2.2 XRD測試分析

    所有ZnO薄膜樣品的X射線衍射(XRD)測試均是利用D/MAX-2200型X射線衍射儀測試的。圖2為ZnO薄膜的XRD衍射圖譜。

    圖2 不同過渡層下ZnO薄膜的XRD衍射圖譜

    由圖2可見,在2θ=30°~60°掃描范圍內(nèi),兩種樣品的ZnO薄膜都只有一個衍射峰,由PDF卡片庫可知,此峰是ZnO(002)取向的衍射峰。這說明,在此條件下,無論是以AlN/Si為過渡層,還是以Al2O3/Si為過渡層,ZnO都會有高度的C軸擇優(yōu)取向。

    為了進一步討論不同過渡層對ZnO薄膜的影響,我們測試了兩種樣品ZnO薄膜(002)衍射峰的衍射角(2θ)和半峰寬(FWHM)。樣品1(ZnO/AlN/Si)的 2θ 為 34.4°,F(xiàn)WHM 為 0.315°;樣品 2(ZnO/Al2O3/Si)的2θ 為 34.5°,F(xiàn)WHM 為 0.317°

    由此可見,以AlN為過渡層的ZnO薄膜的衍射峰位更接近ZnO體材料的衍射峰位34.421°,半峰寬越小,根據(jù)Scherrer方程D=0.9λ/Δθcosθ(式中,D為晶粒的尺寸,λ為X-ray波長,Δθ為衍射峰的半高寬,θ為此衍射峰所對應(yīng)的衍射角)可見,半峰寬越小,結(jié)晶質(zhì)量越高[2]。因此,可以說明在該生長條件下,引入AlN過渡層比引入Al2O3過渡層,樣品的晶粒更大,結(jié)晶質(zhì)量更高,ZnO薄膜的結(jié)晶質(zhì)量得到明顯改善[4]。

    2.3 霍爾測試分析

    本實驗中樣品的霍爾測試均采用范德堡方法,在HL5550霍爾測試儀上完成。表2為由霍爾測試儀測試不同過渡層下ZnO薄膜樣品的電學(xué)參數(shù)及導(dǎo)電類型。

    表2 不同過渡層下ZnO薄膜樣品的電學(xué)參數(shù)及導(dǎo)電類型

    從表2中可以看出,兩種樣品ZnO薄膜的導(dǎo)電類型也都是N型,而且以AlN為過渡層的ZnO薄膜,其電阻率明顯低于以Al2O3為過渡層的ZnO薄膜。這是由于ZnO和AlN的晶格失配度比和Al2O3的小,熱膨脹系數(shù)比和Al2O3的更相近,所以以AlN為過渡層外延生長的ZnO薄膜結(jié)晶質(zhì)量更高,薄膜內(nèi)部的應(yīng)力減小,位錯、晶界缺陷等缺陷濃度低,電阻率減小。

    3 結(jié)論

    以上研究表明,以AlN為過渡層制備的ZnO薄膜比以Al2O3為過渡層制備的ZnO薄膜結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能要好。而且通過以上研究發(fā)現(xiàn),過渡層是影響ZnO薄膜結(jié)構(gòu)和電學(xué)特性的一項重要因素。

    [1]趙祥敏,李敏君,張偉,等.不同濺射時間下AlN緩沖層對ZnO薄膜的影響[J].哈爾濱理工大學(xué)學(xué)報,2012,4(17):114-115.

    [2]趙祥敏,李敏君,張偉,等.磁控濺射制備AlN過渡層ZnO薄膜及其性能研究[J].科技信息,2011(1):52.

    [3]李爽,王鳳翔,付剛,等.射頻磁控濺射制備ZnO光波導(dǎo)薄膜[J].山東建筑大學(xué)學(xué)報,2010,25(1):10-11.

    [4]向嶸,王新,姜德龍,等.基于氧化鋁緩沖層的Si基ZnO薄膜研究[J].兵工學(xué)報,2008(8):1064-1066.

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