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    退火溫度對化學水浴沉積CdS薄膜性能的影響

    2012-07-02 03:26:18薛鈺芝管玉鑫
    大連交通大學學報 2012年2期
    關(guān)鍵詞:禁帶形貌薄膜

    薛鈺芝,管玉鑫

    (大連交通大學 材料科學與工程學院,遼寧 大連 116028)*

    0 引言

    近年來,銅銦硒(CIS)薄膜太陽能電池在新能源領(lǐng)域發(fā)展很快,其結(jié)構(gòu)是多層膜的形式,一般為:玻璃/Mo/CIS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al.其中,作為緩沖層的CdS薄膜對整個電池的輸出效率影響較大.CdS薄膜是直接帶隙的半導(dǎo)體材料,在CuInSe2(簡稱CIS)太陽能薄膜電池中,作為緩沖層材料.在CIS薄膜電池中,吸收層CIS和窗口層ZnO的禁帶寬度分別為1.02 eV和3.37 eV,兩者的帶隙以及晶格常數(shù)相差較大,晶格匹配不好,若直接接觸形成p-n結(jié),影響太陽電池的輸出性能.因此,在CIS和ZnO之間增加一層很薄的CdS薄膜作為緩沖層(約為2.42 eV),形成CIS/CdS/ZnO 結(jié)構(gòu)[1].

    CdS薄膜的制備方法主要分為化學和真空沉積方法,化學方法包括:化學水浴沉積(CBD)、和電沉積(ED).真空沉積方法包括:分子束外延(MBE),金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)和物理氣相沉積(PVD)等,此外還有噴涂方法(SP)等[2-7].在眾多的方法中,CBD法因為其成本低、效率高、適合大面積生產(chǎn)等優(yōu)點而得到廣泛的應(yīng)用.

    CBD法制備出的CdS薄膜為微晶或非晶結(jié)構(gòu),通常表面存在較多的缺陷,致密度也較差,性能上還達不到最優(yōu)化,所以,利用CBD法制備出CdS薄膜后,還要對其進行退火處理.薄膜的晶粒尺寸、晶體結(jié)構(gòu)以及禁帶寬度在退火后就會有所變化,從而提高電池的輸出性能[8-10].本文以醋酸鎘為鎘鹽溶液,配以硫脲提供硫離子,并以氨水作為絡(luò)合劑以及醋酸銨為緩沖劑,采用CBD法制備了CdS薄膜;并研究了不同加熱溫度對CdS薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、表面形貌、薄膜成分的影響;并通過檢測可見光透過率,計算相應(yīng)的能帶間隙.

    1 樣品制備

    實驗中,采用去離子水配制各種溶液,各組分的濃度分別為:0.004 mol/L醋酸鎘,0.02 mol/L硫脲,0.02 mol/L 醋酸銨,0.5 mol/L 氨水,其中所有的藥品均為分析純試劑.

    實驗中,基底采用普通鈣鈉玻璃的載玻片,先將載玻片在清洗劑中清洗,然后在丙酮、無水乙醇和去離子水中超聲清洗10 min.

    室溫配置好溶液之后,將玻璃基底豎直浸入裝有溶液的燒杯中,再把燒杯放入溫度為75℃的恒溫水浴槽中,開始攪拌沉積,沉積時間為20 min.沉積結(jié)束后,將樣品放入去離子水中超聲清洗5 min,以除去表面比較大的顆粒.

    將得到的4塊CdS薄膜(呈淡黃色)分成兩組,其中1塊不作任何處理,另外3塊分別在200℃、300℃和400℃進行真空退火,退火時間為1 h,真空度為(4~6)×10-2Pa.

    而后采用掃描電鏡(SEM,JSM-6360LV型)觀察薄膜形貌,用能譜儀(EDS,INCA型)分析其成分,分光光度計(721型)檢測薄膜的光透過率,X射線衍射分析儀(XRD,D/max-r A型)表征薄膜結(jié)構(gòu).

    2 實驗結(jié)果與討論

    2.1 表面形貌測試

    采用SEM觀察由CBD方法制備出的CdS薄膜.由圖1可知,薄膜連續(xù)且致密,由直徑為幾十到幾百納米的顆粒結(jié)合組成,而每個顆粒又由更小的晶粒團聚形成.

    圖1 不同退火溫度對CdS薄膜表面形貌的影響

    圖1(a)中為未經(jīng)退火的CdS薄膜,其表面比較致密,但均勻性差,有幾處出現(xiàn)了團簇現(xiàn)象,顆粒尺寸較小.圖1(b)、(c)、(d)分別為在 200、300 和400℃退火后得到的CdS薄膜.從宏觀上看,經(jīng)退火后的薄膜,呈淡黃色的透明狀,表面質(zhì)量有所提高.從SEM表面形貌看,顆粒明顯,缺陷減少,均勻性也有進一步的改善,而且隨著退火溫度的提高,顆粒尺寸變大.但是,值得注意的是,300℃退火后,薄膜的顆粒尺寸最大,退火溫度升至400℃時,顆粒尺寸反而變小,S/Cd原子比隨著退火溫度的升高而變小,原因有待于進一步研究.

    圖2 Cd薄膜的截面形貌

    運用稱重法測得CdS薄膜的厚度為160 nm左右.圖2是未退火的CdS薄膜的截面SEM形貌像,厚度范圍大約在120~295 nm,與稱重法測得的厚度基本相符.同時從圖2可以明顯看出,薄膜表面薄厚不太均勻.

    2.2 退火溫度對薄膜組分的影響

    實驗檢測了不同退火溫度下CdS薄膜的元素比例.圖3為200℃退火后的CdS薄膜表面的能譜分析,其中(a)為能譜分析區(qū)域、(b)為區(qū)域能譜曲線、(c)為組分表.但是由于CdS薄膜很薄,所以從圖3的(b)和(c)中可以看到,能譜檢測到的多是玻璃的成分,而Cd與S原子只占很少的一部分.成分表的結(jié)果說明,400℃退火后,S/Cd原子比為0.92;而在400℃退火后,成分表的結(jié)果與圖3(c)類似,S/Cd 原子比為0.89.

    圖3 200℃退火后CdS薄膜的能譜分析線

    從上面的分析可以看到,退火后以及在不同的退火溫度下,CdS薄膜的原子比有所變化,但總體比值接近于1.

    通常,富Cd的CdS薄膜為n型,富S的CdS薄膜為p型[11],可見表1中的CdS薄膜都是n型的.所以可以在銅銦硒薄膜電池中與CIS化合物層有效地形成p-n結(jié).

    表1 退火溫度對S/Cd原子比的影響

    2.3 退火溫度對薄膜晶相結(jié)構(gòu)的影響

    本實驗使用X射線衍射儀分析了試樣的晶體結(jié)構(gòu),結(jié)果顯示所有的試樣顯示類似的衍射類型,即衍射譜呈現(xiàn)一個波包以及其上是有尖峰的峰型,區(qū)別是主衍射峰峰強的不同.圖4為CdS薄膜在不同退火溫度下得到的XRD曲線.對于未退火的CdS薄膜,沒有明顯的衍射峰,可見薄膜為非晶或微晶態(tài).退火溫度為200℃時,結(jié)晶現(xiàn)象依舊不明顯,但在26.5°位置出現(xiàn)一個非常微弱的CdS衍射峰,根據(jù)PDF根據(jù)PDF65-2887號卡片和PDF41-1049號卡片的數(shù)據(jù)分析,此峰為CdS薄膜的主衍射峰,對應(yīng)六方晶的(002)或者立方晶的(111)晶面,但尚未能確定是立方晶格還是六方晶格.隨著退火溫度的升高,主衍射峰峰強明顯提高,300℃時,衍射峰強度最高.另外,在21.5°和23.8°兩個位置出現(xiàn)了比較明顯的衍射峰,原因可能是:由于薄膜厚度很小(120~295 nm),所用玻璃襯底造成了較為強烈的衍射背景,其物相還有待于研究.

    圖4 不同退火溫度條件下CdS薄膜的XRD曲線

    2.4 退火溫度對薄膜透光性能的影響

    在薄膜電池中,透光率對整個電池的輸出性能是一項很重要的參數(shù),作為緩沖層的CdS薄膜也不例外.

    圖5給出了CdS雙層膜在不同退火溫度下透過率與波長之間的關(guān)系.可以看出,雖然不同的退火溫度會使薄膜的光透過率產(chǎn)生差異,但是4條曲線的趨勢大致相同,即在波長小于500 nm的范圍內(nèi)透過率較低,而波長在500~600 nm之間時,透過率升高明顯,隨后趨于穩(wěn)定.在短波長范圍內(nèi)較低的光透過率說明CdS薄膜能夠盡量吸收此范圍內(nèi)的可見光,并且能夠讓長波長的可見光被CIS所吸收,這一特性符合CIS薄膜電池對窗口層和緩沖層材料在光學特性上的要求.

    圖5 退火溫度對CdS薄膜光透過率的影響

    未退火的CdS薄膜,其透過率(曲線a)最高,而再結(jié)晶退火后,隨著退火溫度的提高,透過率逐漸減小(曲線(b、c、d)).原因可能是也由于薄膜的透過率與致密度和厚度有關(guān),在厚度大致相同的情況下,隨著退火溫度的升高,薄膜更加致密(由圖1SEM像說明),導(dǎo)致透過率的減小.

    對于直接帶隙材料的CdS半導(dǎo)體薄膜,其禁帶寬度與吸收系數(shù)之間具有以下關(guān)系[12]:

    在式(2)中,結(jié)合透光率數(shù)據(jù)T和薄膜的厚度d可以得到薄膜的吸收系數(shù)α,再將 α帶入式(1)中,得到(αhν)2~hν關(guān)系式.根據(jù)此關(guān)系式作圖,可得到如圖6的曲線,將曲線的直線部分延長至與橫軸相交,得到的截距即為薄膜的禁帶寬度Eg.

    圖6 不同退火溫度條件下CdS薄膜的禁帶寬度

    表2為不同退火溫度下得到CdS薄膜的禁帶寬度值,可以看到,在未退火情況下,薄膜的禁帶寬度值最大,為2.59 eV,在200℃時的禁帶寬度值為2.42 eV,而隨著退火溫度的升高,禁帶寬度值增加,400℃時的禁帶寬度值為2.51 eV.

    表2 退火溫度對CdS薄膜禁帶寬度值的影響

    3 結(jié)論

    在玻璃片基底上,以醋酸鎘、硫脲、醋酸銨、氨水溶液為原料,采用CBD方法制備出CdS薄膜,并研究了不同退火溫度對CdS薄膜表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)、成分和光學性能的影響.

    (1)SEM分析表明,CdS薄膜在未退火的情況下,表面均勻性較差,而且有團簇現(xiàn)象,隨著退火溫度的升高,表面變的較為光滑,顆粒長大,300℃退火開始有結(jié)晶現(xiàn)象,顆粒尺寸最大,但在400℃退火后,薄膜顆粒又變小;用稱重法和截面SEM形貌像測量的結(jié)果,厚度范圍在120~295 nm;

    (2)能譜分析表明,所制備的CdS薄膜的原子比在0.8左右,隨著溫度的升高,薄膜的S/Cd原子比略微下降;

    (3)微觀結(jié)構(gòu)XRD分析表明,CdS薄膜為非晶或是微晶結(jié)構(gòu),隨著退火溫度的升高,主衍射峰峰強稍有增加,顯現(xiàn)薄膜沿著立方(111)或是六方(002)晶面擇優(yōu)取向較為明顯;

    (4)分光光度計檢測結(jié)果表明,退火溫度對CdS薄膜的光學性能的影響較為明顯,隨著退火溫度的升高,薄膜的光透過率下降,經(jīng)計算,相應(yīng)的禁帶寬度Eg增大,變化范圍在2.40~2.51 eV之間.200℃退火時,禁帶寬度最接近本征值2.42 eV,未經(jīng)退火的薄膜,其禁帶寬度為2.59 eV.

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