高純磷烷的凈化和分析
2012-04-11 08:49:09
化學(xué)分析計(jì)量 2012年3期
高純磷烷的凈化和分析
公開(kāi)號(hào)：CN102398898A 公開(kāi)日：2012.04.04
申請(qǐng)人：武峰
高純磷烷研制的工藝過(guò)程分為兩步，第一步為磷烷氣體的生成，即用起始原料亞磷酸生產(chǎn)出約2N純度的磷烷；第二步是采用低溫真空分離、吸附干燥、精餾和鎵-銦合金或催化劑深吸附脫水、氧。最后純度為5N5。過(guò)濾除顆粒(常見(jiàn)金屬)以及高純氣體灌裝，生產(chǎn)出適合我國(guó)電子行業(yè)需要的5N5高純氣體。高純磷烷分析內(nèi)容包括：痕量氧+氬、氮、總烴、一氧化碳、二氧化碳、水和砷烷雜質(zhì)分析(濃縮或DID色譜)。雜質(zhì)分析靈敏度分別為（0.1～0.2）× 10-6。
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