Crossing Automation獲得四項關(guān)鍵半導(dǎo)體生產(chǎn)自動化專利

Crossing Automation公司(www.crossinginc.com)，一個為半導(dǎo)體設(shè)備制造商提供靈活、低成本和有效的前段及后段制造程序自動化解決方案及工程服務(wù)領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商日前宣布，該公司已經(jīng)獲得四項新專利。這些專利涉及晶圓生產(chǎn)設(shè)備前端的Loaport(晶圓裝載端口)，晶圓輸送機(jī)器手臂和晶圓輸送機(jī)器手臂的終端操作器，進(jìn)一步拓展了Crossing在晶圓輸送環(huán)節(jié)自動化技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。

這些重要專利為Crossing的Express ConnectTM產(chǎn)品系列增添了新的功能，并將被Crossing主要的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備市場采用。展望未來，Crossing已經(jīng)開始把這些專利應(yīng)用于其它市場的生產(chǎn)設(shè)備，包括發(fā)光二極管(LED)和光伏(PV)等綠色技術(shù)以及生命科學(xué)領(lǐng)域。

下列關(guān)于這些新授予專利的簡要介紹顯示出了Crossing作為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)解決方案戰(zhàn)略供應(yīng)商的地位：

Wafer EngineTM(晶圓機(jī)器手臂)專利號：7648327

這項專利涉及Crossing's Wafer EngineTM(晶圓機(jī)器手臂)。這是一個高速和高效率的晶圓輸送機(jī)器手臂。它用于設(shè)備前端工序,能服務(wù)2～6個或更多的裝載端口。Wafer EngineTM采用了一種經(jīng)過現(xiàn)場驗證、占地少、質(zhì)量輕的折疊型垂直移動軸，以及一個可執(zhí)行高速雙晶圓交換的雙滑動線性機(jī)器手臂裝置。該專利還描述了在機(jī)器手臂滑動體上配置晶圓對準(zhǔn)和環(huán)境調(diào)節(jié)裝置的功能。Wafer Engine?是Crossing的ExpressConnect系統(tǒng)中的一個重要子系統(tǒng)，同時也是目前被眾多300mm半導(dǎo)體晶圓廠采用的SpartanTMEFEM and Sorter(設(shè)備前端和晶圓分揀機(jī))產(chǎn)品系列取得成功的主要原因之一。

Variable Lot Size LoadportTM(可變批量設(shè)備前端工序晶圓裝載端口)，專利號：7585144和 7597523

這項專利涉及一種符合BOLTS標(biāo)準(zhǔn)的晶圓裝載端口。該裝載端口配備了一個可垂直索引的容器支承裝置和一個可控的環(huán)境屏蔽罩。這些功能有助于實現(xiàn)晶圓處理設(shè)備的裝載端口與不同容量和/或構(gòu)造的晶圓容器之間靈活的接口連接。也適用于不同規(guī)格的前開式晶圓盒(FOUP)，簡化其運輸器和處理設(shè)備之間的交接和兼容。

Ultra Low Contact Area End-EffectorTM(超小面積接觸的機(jī)器手臂的終端操作器)，專利號：7669903

這項專利適用于一種機(jī)器手臂的終端操作，支承與處理半導(dǎo)體晶圓或其他薄面基板的方法。它能夠最大限度地減低晶圓背面與機(jī)器手支承/夾持表面之間的關(guān)鍵接觸處粒子的產(chǎn)生和/或轉(zhuǎn)移。此外，這種終端操作器上的支承部件能夠適應(yīng)可能因表面應(yīng)力或重力而造成變形的非平面晶圓。此支承部件的晶圓接觸單元還可以在無需移除或調(diào)整終端操作器的情況下進(jìn)行處理或替換。

CROSSING AUTOMATION簡介

Crossing Automation是一家為半導(dǎo)體設(shè)備制造商提供靈活、低成本和有效的前段及后段制造程序自動化解決方案及工程服務(wù)領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商。該公司獨有的自動化解決方案使其客戶能夠縮短產(chǎn)品上市時間、降低開發(fā)成本，并減少生產(chǎn)總成本。通過其前段及后段制造過程自動化解決方案，Crossing為設(shè)備制造商和集成電路制造商提供了極大的生產(chǎn)靈活性。